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2. 发明专利

TW200900668A 在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF A GAS IN A MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF A GAS IN A MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW200900668A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW097107298
申请日：2008-03-03
申请人：先驅能源工業公司 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：伊藤裕之 ITO, HIROYUKI , 麥可約翰索拉克 ZOLOCK, MICHAEL JOHN
IPC分类号： G01K , G01N
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F15/043 , G01K7/42 , G01K13/02 , G05D7/0635
摘要：本案描述一種用於在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置。一實施例無需根據個別的溫度感測器便可自一質量流量控制器的質量流量感測器推導出氣體-溫度資訊。此實施例供應一道實質固定的電流給質量流量控制器的熱質量流量感測器,熱質量流量感測器被設計用於測量氣體的質量流動率;測量熱質量流量感測器之一輸入電壓以取得一當前輸入電壓(present input voltage),輸入電壓隨著熱質量流量感測器的一對感測元件之間的溫度差而變動;藉由說明當前輸入電壓中一項根據氣體質量流動率而定的成分來計算調整後的輸入電壓;並根據調整後的輸入電壓計算氣體溫度。在某些實施例中,計算所得的氣體溫度被用來補償熱質量流量感測器的輸出電壓在一零-流動狀況下隨著溫度變化所產生的變動。
简体摘要：本案描述一种用于在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备。一实施例无需根据个别的温度传感器便可自一质量流量控制器的质量流量传感器推导出气体-温度信息。此实施例供应一道实质固定的电流给质量流量控制器的热质量流量传感器,热质量流量传感器被设计用于测量气体的质量流动率;测量热质量流量传感器之一输入电压以取得一当前输入电压(present input voltage),输入电压随着热质量流量传感器的一对传感组件之间的温度差而变动;借由说明当前输入电压中一项根据气体质量流动率而定的成分来计算调整后的输入电压;并根据调整后的输入电压计算气体温度。在某些实施例中,计算所得的气体温度被用来补偿热质量流量传感器的输出电压在一零-流动状况下随着温度变化所产生的变动。

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