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    • 3. 发明专利
    • 閥
    • TW201632771A
    • 2016-09-16
    • TW104132177
    • 2015-09-30
    • 富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 張兆宏ZHANG, ZHAOHONG松田博MATSUDA, TAKAHIRO
    • F16K7/14F16K31/126
    • F16K31/163F16J15/00F16J15/3452F16K11/00F16K27/0236F16K27/041F16K31/00F16K31/12F16K31/1221F16K35/025
    • 本發明提供一種閥,即使因錯誤而供應操作流體也不致成開啟狀態,可抑制氣體因意外供應至半導體製造裝置等。 其解決手段為閥(1)具備:主體(4),形成有流體流入路(4b)及流體流出路(4c);隔膜(7),用於流體流入路(4b)及流體流出路(4c)的開合;心柱(9),為了以隔膜(7)使流體流入路(4b)及流體流出路(4c)開合,設置成可相對於隔膜(7)接近及分開;與主體(4)連接的閥帽(5)及閥蓋(6);驅動手段(活塞(10)、操作流體導入室(10a)、操作流體導入路(10b)及第一壓縮螺旋彈簧(11)),設置於閥帽(5)及閥蓋(6)藉著從外部供應的操作流體來驅動心柱(9);及閥機構(20),設置在閥帽(5)及閥蓋(6),可開合朝驅動手段之操作流體的通路。
    • 本发明提供一种阀,即使因错误而供应操作流体也不致成打开状态,可抑制气体因意外供应至半导体制造设备等。 其解决手段为阀(1)具备:主体(4),形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c);隔膜(7),用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开合;心柱(9),为了以隔膜(7)使流体流入路(4b)及流体流出路(4c)开合,设置成可相对于隔膜(7)接近及分开;与主体(4)连接的阀帽(5)及阀盖(6);驱动手段(活塞(10)、操作流体导入室(10a)、操作流体导入路(10b)及第一压缩螺旋弹簧(11)),设置于阀帽(5)及阀盖(6)借着从外部供应的操作流体来驱动心柱(9);及阀机构(20),设置在阀帽(5)及阀盖(6),可开合朝驱动手段之操作流体的通路。
    • 4. 发明专利
    • 用於在多個化學氣相沉積反應器之間平衡氣流的方法
    • 用于在多个化学气相沉积反应器之间平衡气流的方法
    • TW201323651A
    • 2013-06-16
    • TW101139306
    • 2012-10-24
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 吳正勳OH, JEONGHOON寇克斯麥可SCOX, MICHAEL S.波亞克亞歷山大SPOLYAK, ALEXANDER S.
    • C23C16/54C23C16/455
    • F16K11/00C23C16/45561Y10T137/0324Y10T137/877
    • 本發明揭示用於使用多個平行反應器的太陽能電池生產的氣體供應系統及方法。第一氣體供應控制系統具有氣體分配盤,該氣體分配盤具有複數個氣體出口管線,該複數個氣體出口管線向第一主要供應管線供氣,該第一主要供應管線具有主要管線質量流量計,該主要管線質量流量計量測該第一主要供應管線中經合併的總氣體質量流率。第一分支管線、第二分支管線及第三分支管線由第一主要供應管線供氣,每一分支管線具有質量流量控制器,且一或更多個控制迴路建立在該質量流量計與該等分支管線質量流量控制器之間。控制迴路基於將總氣流之流動速率除以使用中的反應器的數目,來決定該等分支質量流量控制器中之每一分支質量流量控制器的設定點。此外,第二氣體供應控制系統可耦接至第一氣體供應控制系統,以避免在某些氣體進入該等氣體所供應至的各別反應器之前混合該等氣體。
    • 本发明揭示用于使用多个平行反应器的太阳能电池生产的气体供应系统及方法。第一气体供应控制系统具有气体分配盘,该气体分配盘具有复数个气体出口管线,该复数个气体出口管线向第一主要供应管线供气,该第一主要供应管线具有主要管线质量流量计,该主要管线质量流量计量测该第一主要供应管线中经合并的总气体质量流率。第一分支管线、第二分支管线及第三分支管线由第一主要供应管线供气,每一分支管线具有质量流量控制器,且一或更多个控制回路创建在该质量流量计与该等分支管线质量流量控制器之间。控制回路基于将总气流之流动速率除以使用中的反应器的数目,来决定该等分支质量流量控制器中之每一分支质量流量控制器的设置点。此外,第二气体供应控制系统可耦接至第一气体供应控制系统,以避免在某些气体进入该等气体所供应至的各别反应器之前混合该等气体。