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    • 5. 发明专利
    • 閘閥及閘閥之開關方法
    • 闸阀及闸阀之开关方法
    • TW201102547A
    • 2011-01-16
    • TW099106367
    • 2010-03-05
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 宮城勝伸
    • F16KH01L
    • F16K27/041F16K3/243F16K39/045F16K51/02
    • 本發明係關於一種閘閥及閘閥之開關方法,閘閥係安裝於加載互鎖室,並藉由其開/關來搬送基板。閘閥係具有:殼體,係形成有與加載互鎖室之內部空間相連通的前方開口;迴轉組件,係可迴轉地被收納於殼體內,具有迴轉軸以及安裝於該迴轉軸的閥體;以及密封組件,係安裝於該閥體,且可進行膨脹。將閘閥關閉時,係迴轉迴轉軸而使得閥體迴轉至阻塞前方開口的第1位置後,讓密封組件膨脹。
    • 本发明系关于一种闸阀及闸阀之开关方法,闸阀系安装于加载互锁室,并借由其开/关来搬送基板。闸阀系具有:壳体,系形成有与加载互锁室之内部空间相连通的前方开口;掉头组件,系可掉头地被收纳于壳体内,具有掉头轴以及安装于该掉头轴的阀体;以及密封组件,系安装于该阀体,且可进行膨胀。将闸阀关闭时,系掉头掉头轴而使得阀体掉头至阻塞前方开口的第1位置后,让密封组件膨胀。
    • 6. 发明专利
    • 複合一體型匯流閥
    • 复合一体型汇流阀
    • TW201713887A
    • 2017-04-16
    • TW105119003
    • 2016-06-16
    • SMC股份有限公司SMC CORPORATION
    • 宮添真司MIYAZOE, SHINJI野口和宏NOGUCHI, KAZUHIRO
    • F16K11/20F16K11/00
    • F16K11/22F15B11/00F15B13/0807F16K11/07F16K27/003F16K27/041F16K27/048
    • 本發明的課題在於:藉由將複數個閥機構一體地組裝入1個歧管塊,而獲得小型化且輕量化的複合一體型匯流閥。 在由「流體供給孔(4)及流體排出孔(5A)、(5B)貫穿內部的擠壓材」所形成的1個歧管塊(2)設有:藉由與前述流體供給孔(4)及流體排出孔(5A)、(5B)的雙方直接交叉,而分別連通於該流體供給孔(4)及流體排出孔(5A)、(5B)的複數個閥孔(6);和形成個別地連通於該閥孔(6)的輸出埠(7A)、(7B);和可自由滑動地插入前述閥孔(6)內部的閥軸(15);及被個別地安裝於各閥孔(6)的一端或兩端之電磁式的導引閥(21)。
    • 本发明的课题在于:借由将复数个阀机构一体地组装入1个歧管块,而获得小型化且轻量化的复合一体型汇流阀。 在由“流体供给孔(4)及流体排出孔(5A)、(5B)贯穿内部的挤压材”所形成的1个歧管块(2)设有:借由与前述流体供给孔(4)及流体排出孔(5A)、(5B)的双方直接交叉,而分别连通于该流体供给孔(4)及流体排出孔(5A)、(5B)的复数个阀孔(6);和形成个别地连通于该阀孔(6)的输出端口(7A)、(7B);和可自由滑动地插入前述阀孔(6)内部的阀轴(15);及被个别地安装于各阀孔(6)的一端或两端之电磁式的导引阀(21)。
    • 8. 发明专利
    • 閥
    • TW201632771A
    • 2016-09-16
    • TW104132177
    • 2015-09-30
    • 富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 張兆宏ZHANG, ZHAOHONG松田博MATSUDA, TAKAHIRO
    • F16K7/14F16K31/126
    • F16K31/163F16J15/00F16J15/3452F16K11/00F16K27/0236F16K27/041F16K31/00F16K31/12F16K31/1221F16K35/025
    • 本發明提供一種閥,即使因錯誤而供應操作流體也不致成開啟狀態,可抑制氣體因意外供應至半導體製造裝置等。 其解決手段為閥(1)具備:主體(4),形成有流體流入路(4b)及流體流出路(4c);隔膜(7),用於流體流入路(4b)及流體流出路(4c)的開合;心柱(9),為了以隔膜(7)使流體流入路(4b)及流體流出路(4c)開合,設置成可相對於隔膜(7)接近及分開;與主體(4)連接的閥帽(5)及閥蓋(6);驅動手段(活塞(10)、操作流體導入室(10a)、操作流體導入路(10b)及第一壓縮螺旋彈簧(11)),設置於閥帽(5)及閥蓋(6)藉著從外部供應的操作流體來驅動心柱(9);及閥機構(20),設置在閥帽(5)及閥蓋(6),可開合朝驅動手段之操作流體的通路。
    • 本发明提供一种阀,即使因错误而供应操作流体也不致成打开状态,可抑制气体因意外供应至半导体制造设备等。 其解决手段为阀(1)具备:主体(4),形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c);隔膜(7),用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开合;心柱(9),为了以隔膜(7)使流体流入路(4b)及流体流出路(4c)开合,设置成可相对于隔膜(7)接近及分开;与主体(4)连接的阀帽(5)及阀盖(6);驱动手段(活塞(10)、操作流体导入室(10a)、操作流体导入路(10b)及第一压缩螺旋弹簧(11)),设置于阀帽(5)及阀盖(6)借着从外部供应的操作流体来驱动心柱(9);及阀机构(20),设置在阀帽(5)及阀盖(6),可开合朝驱动手段之操作流体的通路。