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1. 发明专利

TW201216014A 曝光裝置、移動體裝置、平板顯示器之製造方法、及元件製造方法 EXPOSURE APPARATUS, MOVABLE BODY APPARATUS, FLAT-PANEL DISPLAY MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 审中-公开
简体标题：曝光设备、移动体设备、平板显示器之制造方法、及组件制造方法 EXPOSURE APPARATUS, MOVABLE BODY APPARATUS, FLAT-PANEL DISPLAY MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
公开(公告)号：TW201216014A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：TW100132052
申请日：2011-09-06
申请人：尼康股份有限公司
发明人：青木保夫
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/70775 , F16C29/008 , F16C39/04 , F16C39/06 , G03F7/70716 , G03F7/70816 , G03F7/709 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/18
摘要：於基板載台(PST)，在Y粗動載台(23Y)移動於Y軸方向時，X粗動載台(23X)、重量消除裝置(40)及X導件(102)與Y粗動載台(23Y)一體移動於Y軸方向，在X粗動載台(23X)於Y粗動載台(23Y)上移動於X軸方向時，重量消除裝置(40)在X導件(102)上與X粗動載台(23X)一體移動於X軸方向。由於X導件(102)係涵蓋重量消除裝置(40)於X軸方向之移動範圍延設於X軸方向，因此重量消除裝置(40)不受其位置限制，恆被X導件(102)支承。
简体摘要：于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除设备(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除设备(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)系涵盖重量消除设备(40)于X轴方向之移动范围延设于X轴方向，因此重量消除设备(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。

2. 发明专利

TW201117913A 平台裝置 STAGE APPARATUS 审中-公开
简体标题：平台设备 STAGE APPARATUS
公开(公告)号：TW201117913A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：TW098138793
申请日：2009-11-16
申请人：鴻海精密工業股份有限公司
发明人：鄭振興 , 胡興億
IPC分类号： B23Q
CPC分类号： B23Q1/4804 , B23Q1/4819 , F16C29/001 , F16C29/008 , F16C2322/39 , Y10T74/20348
摘要：一種平台裝置包括第一導軌及第二導軌，可分別相對於第一、第二導軌滑動之第一、第二連接組件，分別用於驅動第一、第二連接組件之第一、第二線性驅動組件，藉由第一、第二連接組件分別與第一、第二導軌相固持之平台。第一連接組件包括與平台轉動連接之第一旋轉模組，第二連接組件包括第二旋轉模組及滑動模組，第二旋轉模組帶動滑動模組轉動，滑動模組與平台滑動連接。第一、第二線性驅動組件同步運動驅動平台平動，第一、第二線性驅動組件差動驅動平台轉動，僅需設置二線性驅動組件，即可驅動平台直線運動與旋轉運動。
简体摘要：一种平台设备包括第一导轨及第二导轨，可分别相对于第一、第二导轨滑动之第一、第二连接组件，分别用于驱动第一、第二连接组件之第一、第二线性驱动组件，借由第一、第二连接组件分别与第一、第二导轨相固持之平台。第一连接组件包括与平台转动连接之第一旋转模块，第二连接组件包括第二旋转模块及滑动模块，第二旋转模块带动滑动模块转动，滑动模块与平台滑动连接。第一、第二线性驱动组件同步运动驱动平台平动，第一、第二线性驱动组件差动驱动平台转动，仅需设置二线性驱动组件，即可驱动平台直线运动与旋转运动。

3. 发明专利

TW370595B 致動器失效
简体标题：致动器
公开(公告)号：TW370595B
公开(公告)日：1999-09-21
申请号：TW085116255
申请日：1996-12-30
申请人： SMC股份有限公司
发明人：永井茂和 , 杉山亨 , 殟見裕幸
IPC分类号： F15B
CPC分类号： F16C29/00 , B23Q1/26 , B23Q1/58 , B23Q5/40 , B23Q11/08 , F16C29/008 , F16C29/082 , F16C31/06 , F16C2322/39 , F16H25/2204 , F16H25/2418 , F16H2025/2034 , Y10S277/921 , Y10T74/18656 , Y10T74/18712
摘要：本發明提供一種防止塵埃等附著於驅動力傳動裝置，消除停止或損傷之虞，並防止塵埃等流出的致動器。
在構成致動器10之導軌18a、18b經由導塊22a～22d滑動自如地設有固定塊26a、26b。在頂蓋84與側蓋82a、82b之間隙形成有開縫88a、88b，在該開縫88a、88b設有封閉構件94a、94b。其中一方之封閉構件94b的前端部係扣合於另一方之封閉構件94a的段差部104a或104b，俾閉塞上述開縫88a、88b。固定塊26a、26b係插穿上述開縫88a、88b而突出，封閉構件94a、94b之前端係擋接於固定塊26a、26b之壁部，由此閉塞連通於致動器10之內部的間隙。
简体摘要：本发明提供一种防止尘埃等附着于驱动力传动设备，消除停止或损伤之虞，并防止尘埃等流出的致动器。在构成致动器10之导轨18a、18b经由导块22a～22d滑动自如地设有固定块26a、26b。在顶盖84与侧盖82a、82b之间隙形成有开缝88a、88b，在该开缝88a、88b设有封闭构件94a、94b。其中一方之封闭构件94b的前端部系扣合于另一方之封闭构件94a的段差部104a或104b，俾闭塞上述开缝88a、88b。固定块26a、26b系插穿上述开缝88a、88b而突出，封闭构件94a、94b之前端系挡接于固定块26a、26b之壁部，由此闭塞连通于致动器10之内部的间隙。

4. 发明专利

TW201716005A 滑軌總成审中-公开
简体标题：滑轨总成
公开(公告)号：TW201716005A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW104137450
申请日：2015-11-12
申请人：川湖科技股份有限公司 , KING SLIDE WORKS CO., LTD. , 川益科技股份有限公司 , KING SLIDE TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：陳庚金 , CHEN, KEN CHING , 梁秀江 , LIANG, HSIU CHIANG , 黃啟賓 , HUANG, CI BIN , 王俊強 , WANG, CHUN CHIANG
IPC分类号： A47B88/10
CPC分类号： A47B88/463 , A47B88/0477 , A47B88/10 , A47B88/487 , A47B2210/007 , F16C29/008 , F16C29/04 , F16C29/10 , F16C2314/72
摘要：一種滑軌總成包括一第一軌、一第二軌、一第三軌、一第一助滑裝置、一第二助滑裝置、及一同步件。該第二軌可相對該第一軌活動位移；該第三軌安裝於該第一軌與該第二軌之間；該第一助滑裝置活動地安排在該第一軌與該第三軌之間且包含至少一第一滾動件及一第一嚙合特徵，該至少一第一滾動件用以助於該第三軌相對該第一軌的活動位移；該第二助滑裝置活動地安排在該第三軌與該第二軌之間且包含至少一第二滾動件及一第二嚙合特徵，該至少一第二滾動件用以助於該第二軌相對該第三軌的活動位移；該同步件嚙合在該第一嚙合特徵與該第二嚙合特徵之間。
简体摘要：一种滑轨总成包括一第一轨、一第二轨、一第三轨、一第一助滑设备、一第二助滑设备、及一同步件。该第二轨可相对该第一轨活动位移；该第三轨安装于该第一轨与该第二轨之间；该第一助滑设备活动地安排在该第一轨与该第三轨之间且包含至少一第一滚动件及一第一啮合特征，该至少一第一滚动件用以助于该第三轨相对该第一轨的活动位移；该第二助滑设备活动地安排在该第三轨与该第二轨之间且包含至少一第二滚动件及一第二啮合特征，该至少一第二滚动件用以助于该第二轨相对该第三轨的活动位移；该同步件啮合在该第一啮合特征与该第二啮合特征之间。

5. 发明专利

TWI507616B 運動導引裝置有权
简体标题：运动导引设备
公开(公告)号：TWI507616B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：TW102147907
申请日：2013-12-24
申请人： THK股份有限公司 , THK CO., LTD.
发明人：望月廣昭 , MOCHIZUKI, HIROAKI , 保坂榮二 , HOSAKA, EIJI , 金子彰斗 , KANEKO, AKITO
IPC分类号： F16C29/06 , A47B88/10
CPC分类号： F16C29/005 , B23Q1/262 , B23Q1/285 , F16C29/004 , F16C29/008 , F16C29/04 , F16C29/0657 , F16C29/10

6. 发明专利

TWI438351B 運動裝置有权
简体标题：运动设备
公开(公告)号：TWI438351B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：TW098106534
申请日：2009-02-27
申请人： THK股份有限公司 , THK CO., LTD.
发明人：望月廣昭 , MOCHIZUKI, HIROAKI
IPC分类号： F16C29/04 , F16C33/30
CPC分类号： F16C29/001 , F16C29/008 , F16C29/0647

7. 发明专利

TW200929808A 線性直接驅動電氣驅動裝置 LINEAR DIRECT DRIVE ELECTRIC DRIVE WITH TWO GUIDE RAILS, A STATOR EXHIBITING FOR THE LINEAR GUIDANCE OF A PROPELLED 审中-公开
简体标题：线性直接驱动电气驱动设备 LINEAR DIRECT DRIVE ELECTRIC DRIVE WITH TWO GUIDE RAILS, A STATOR EXHIBITING FOR THE LINEAR GUIDANCE OF A PROPELLED
公开(公告)号：TW200929808A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW097135775
申请日：2008-09-18
申请人：菲斯特有限公司 FESTO AG & CO. KG
发明人：馬休斯芬克班納 FINKBEINER, MATTHIAS , 湯姆盎格 UNGER, TOM
IPC分类号： H02K
CPC分类号： H02K41/031 , F16C29/004 , F16C29/008 , F16C29/0647 , H02K7/08
摘要：一種具有靜子(10)之線性直接驅動式電機裝置且靜子具有二個導引軌道(12, 13)以用來線性地導引一受驅動的滑板(11),此電機裝置中設有一可造成電性驅動的永久磁鐵配置(18)和一可相對於此永久磁鐵配置(18)而移動的驅動線圈配置(19)。各導引軌道(12,13)配置在靜子(10)之不同方位的相鄰之側面(14,15)上,且滑板(11)的至少一部份搭接著每一個側面(14,15)。配置在滑板(11)上的多個導引元件(36)具有導引通道以容納各導引軌道(12,13)。
简体摘要：一种具有静子(10)之线性直接驱动式电机设备且静子具有二个导引轨道(12, 13)以用来线性地导引一受驱动的滑板(11),此电机设备中设有一可造成电性驱动的永久磁铁配置(18)和一可相对于此永久磁铁配置(18)而移动的驱动线圈配置(19)。各导引轨道(12,13)配置在静子(10)之不同方位的相邻之侧面(14,15)上,且滑板(11)的至少一部份搭接着每一个侧面(14,15)。配置在滑板(11)上的多个导引组件(36)具有导引信道以容纳各导引轨道(12,13)。

8. 发明专利

TW200909703A 用於防止保持器的位移之設備 APPARATUS FOR PREVENTING DISPLACEMENT OF RETAINER 审中-公开
简体标题：用于防止保持器的位移之设备 APPARATUS FOR PREVENTING DISPLACEMENT OF RETAINER
公开(公告)号：TW200909703A
公开(公告)日：2009-03-01
申请号：TW096139685
申请日：2007-10-23
申请人：東芝機械股份有限公司 TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
发明人：秋山貴信 AKIYAMA, TAKANOBU
IPC分类号： F16C , F16H
CPC分类号： F16C29/008 , F16C29/001 , F16C29/04 , F16C29/063 , F16C33/306 , H02K41/03
摘要：本發明提供一種藉由利用保持器移動諸如工作台之移動物之一半移動距離的特性來防止滾動導件中保持器的位移之設備。該用於防止導引設備中保持器的位移之設備具有複數個被保持器保持的有限滾輪,並包含:一導引機構,用來導引工具機之一移動物沿一機床或座架之導面之移動;以及一線性馬達進給機構,用來進給該移動物,包含:一位移調整器,具有一用來調整各保持器之位置之止動器,該調整器可與移動物之移動同時移動;一列線性馬達之磁板,用來驅動移動物,該列磁板係一用於移動物之線性馬達進給機構之組件,並平行於此等導面配置;一線性馬達機構,用來沿與移動物之移動方向相同之方向移動位移調整器;以及一線性馬達控制裝置,用來以移動物之速度的一半速度,與移動物之移動同步,移動位移調整器。
简体摘要：本发明提供一种借由利用保持器移动诸如工作台之移动物之一半移动距离的特性来防止滚动导件中保持器的位移之设备。该用于防止导引设备中保持器的位移之设备具有复数个被保持器保持的有限滚轮,并包含:一导引机构,用来导引工具机之一移动物沿一机床或座架之导面之移动;以及一线性马达进给机构,用来进给该移动物,包含:一位移调整器,具有一用来调整各保持器之位置之止动器,该调整器可与移动物之移动同时移动;一列线性马达之磁板,用来驱动移动物,该列磁板系一用于移动物之线性马达进给机构之组件,并平行于此等导面配置;一线性马达机构,用来沿与移动物之移动方向相同之方向移动位移调整器;以及一线性马达控制设备,用来以移动物之速度的一半速度,与移动物之移动同步,移动位移调整器。

9. 发明专利

TW201738666A 曝光裝置、移動體裝置、平板顯示器之製造方法、及元件製造方法审中-公开
简体标题：曝光设备、移动体设备、平板显示器之制造方法、及组件制造方法
公开(公告)号：TW201738666A
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：TW106125099
申请日：2011-09-06
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：青木保夫 , AOKI, YASUO
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70775 , F16C29/008 , F16C39/04 , F16C39/06 , G03F7/70716 , G03F7/70816 , G03F7/709 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/18
摘要：於基板載台(PST)，在Y粗動載台(23Y)移動於Y軸方向時，X粗動載台(23X)、重量消除裝置(40)及X導件(102)與Y粗動載台(23Y)一體移動於Y軸方向，在X粗動載台(23X)於Y粗動載台(23Y)上移動於X軸方向時，重量消除裝置(40)在X導件(102)上與X粗動載台(23X)一體移動於X軸方向。由於X導件(102)係涵蓋重量消除裝置(40)於X軸方向之移動範圍延設於X軸方向，因此重量消除裝置(40)不受其位置限制，恆被X導件(102)支承。
简体摘要：于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除设备(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除设备(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)系涵盖重量消除设备(40)于X轴方向之移动范围延设于X轴方向，因此重量消除设备(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。

10. 发明专利

TWI548023B 移動體裝置、物體處理裝置、曝光裝置、平板顯示器之製造方法、及元件製造方法有权
简体标题：移动体设备、物体处理设备、曝光设备、平板显示器之制造方法、及组件制造方法
公开(公告)号：TWI548023B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW100132050
申请日：2011-09-06
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：青木保夫 , AOKI, YASUO
IPC分类号： H01L21/677 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/709 , F16C29/008 , F16C29/025 , G03F7/70716

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