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1. 发明专利

TWI553767B 真空處理設備有权
简体标题：真空处理设备
公开(公告)号：TWI553767B
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：TW100148756
申请日：2011-12-27
申请人：歐瑞康先進科技股份有限公司 , OERLIKON ADVANCED TECHNOLOGIES AG
发明人：史考特凡麥斯特巴特 , SCHOLTE VON MAST, BART , 麗茲勒渥夫甘 , RIETZLER, WOLFGANG , 勞德羅傑 , LODDER, ROGIER , 巴茲蘭羅夫 , BAZLEN, ROLF , 羅勒丹尼爾 , ROHRER, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C16/4412 , C23C16/52 , F04B45/02 , H01J37/32724 , H01J37/32834 , H01J2237/3321 , H01L21/6719 , H01L21/67703 , H01L21/67739 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/6776

2. 发明专利

TW201410976A 伸縮泵审中-公开
简体标题：伸缩泵
公开(公告)号：TW201410976A
公开(公告)日：2014-03-16
申请号：TW102128069
申请日：2013-08-06
申请人：日本皮拉工業股份有限公司 , NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD.
发明人：足立智大 , ADACHI, TOMOHIRO , 中野篤 , NAKANO, ATSUSHI
IPC分类号： F04B43/08
CPC分类号： F04B43/0036 , F04B43/084 , F04B43/1136 , F04B45/02 , F04B45/022
摘要：本發明提供一種防止因泵室之壓力變動而導致的伸縮管之底壁變形，並可發揮送液量及循環液量穩定之泵功能的伸縮泵。本發明之伸縮泵係以如下方式構成：使塑膠製伸縮管(6)伸縮於軸線方向，藉此交替地進行自以伸縮管(6)圍繞而形成之泵室(7)送液之吐出步驟、與向泵室(7)供液之吸入步驟；該伸縮泵中，使金屬製作動板(10)以能移動於軸線方向之方式支承於泵殼(5)，並且使作動板(10)與伸縮管(6)之底壁(6c)於其等之外周部分連結固定，使伸縮管(6)之底壁(6c)之中央部分即與泵室(7)之液體接觸之接液部分(6f)與作動板(10)的對向端面(6g、10c)間密接，並且以O環(15)密封構件密封該密接部分(6g、10c)。
简体摘要：本发明提供一种防止因泵室之压力变动而导致的伸缩管之底壁变形，并可发挥送液量及循环液量稳定之泵功能的伸缩泵。本发明之伸缩泵系以如下方式构成：使塑胶制伸缩管(6)伸缩于轴线方向，借此交替地进行自以伸缩管(6)围绕而形成之泵室(7)送液之吐出步骤、与向泵室(7)供液之吸入步骤；该伸缩泵中，使金属制作动板(10)以能移动于轴线方向之方式支承于泵壳(5)，并且使作动板(10)与伸缩管(6)之底壁(6c)于其等之外周部分链接固定，使伸缩管(6)之底壁(6c)之中央部分即与泵室(7)之液体接触之接液部分(6f)与作动板(10)的对向端面(6g、10c)间密接，并且以O环(15)密封构件密封该密接部分(6g、10c)。

3. 发明专利

TW201236102A 真空處理設備及製造方法 VACUUM TREATMENT APPARATUS AND A METHOD FOR MANUFACTURING 审中-公开
简体标题：真空处理设备及制造方法 VACUUM TREATMENT APPARATUS AND A METHOD FOR MANUFACTURING
公开(公告)号：TW201236102A
公开(公告)日：2012-09-01
申请号：TW100148755
申请日：2011-12-27
申请人： OC歐瑞康巴爾斯公司
发明人：史考特凡麥斯特巴特 , 麗茲勒渥夫甘 , 勞德羅傑 , 巴茲蘭羅夫 , 羅勒丹尼爾
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C16/4412 , C23C16/52 , F04B45/02 , H01J37/32724 , H01J37/32834 , H01J2237/3321 , H01L21/6719 , H01L21/67703 , H01L21/67739 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/6776
摘要：本發明係關於一種真空處理設備及製造方法。此真空處理設備包含：用於處理工件(特別是矽晶圓)的複數個處理室(18、19)；一運送室(15)，裝附至透過個別開口而與該運送室(15)相通的該等處理室(18、19)，該運送室包含位於該等處理室(18、19)每一者附近的複數搬運區；一工件載體，其設置於該運送室(15)內且被構造成將工件運送於搬運區之間；及一個以上的搬運器，用以將工件運送於搬運區與處理室(18、19)之間。藉此，運送室(15)繞著一軸線呈環狀，且該等開口具有大致平行於該軸線的開口軸線。以此方式，運送室上的力量會被重新導向至一大型支撐結構，且因此可以獲得符合成本效益、重量輕且仍舊堅固的機械結構。
简体摘要：本发明系关于一种真空处理设备及制造方法。此真空处理设备包含：用于处理工件(特别是硅晶圆)的复数个处理室(18、19)；一运送室(15)，装附至透过个别开口而与该运送室(15)相通的该等处理室(18、19)，该运送室包含位于该等处理室(18、19)每一者附近的复数搬运区；一工件载体，其设置于该运送室(15)内且被构造成将工件运送于搬运区之间；及一个以上的搬运器，用以将工件运送于搬运区与处理室(18、19)之间。借此，运送室(15)绕着一轴线呈环状，且该等开口具有大致平行于该轴线的开口轴线。以此方式，运送室上的力量会被重新导向至一大型支撑结构，且因此可以获得符合成本效益、重量轻且仍旧坚固的机械结构。

4. 发明专利

TW201632732A 容積泵审中-公开
简体标题：容积泵
公开(公告)号：TW201632732A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104109184
申请日：2015-03-23
申请人：岩城股份有限公司 , IWAKI CO., LTD.
发明人：鬼塚敏樹 , ONIDUKA, TOSHIKI
IPC分类号： F04B43/08
CPC分类号： F04B53/1065 , F04B43/08 , F04B43/1136 , F04B45/02 , F04B53/10
摘要：容積泵，係為藉由使蛇腹管伸縮一事來將移送流體作移送的容積泵。此容積泵，係具備有：被可伸縮地作配置，並於內部形成泵室之有底圓筒狀的蛇腹管；和被設置於泵室之吸入側並將移送流體引導至泵室中之吸入閥；和被設置於泵室之吐出側並將移送流體從泵室吐出之吐出閥。又，吸入閥以及吐出閥，係分別具備有閥座和閥體。閥體，係由可撓性之材質所成，並具備有：與閥座間之位置關係為被作了固定的固定部；和在從固定部起而朝向閥座之方向以及移送流體所移動之方向之間的特定之方向上而延伸之閥部。
简体摘要：容积泵，系为借由使蛇腹管伸缩一事来将移送流体作移送的容积泵。此容积泵，系具备有：被可伸缩地作配置，并于内部形成泵室之有底圆筒状的蛇腹管；和被设置于泵室之吸入侧并将移送流体引导至泵室中之吸入阀；和被设置于泵室之吐出侧并将移送流体从泵室吐出之吐出阀。又，吸入阀以及吐出阀，系分别具备有阀座和阀体。阀体，系由可挠性之材质所成，并具备有：与阀座间之位置关系为被作了固定的固定部；和在从固定部起而朝向阀座之方向以及移送流体所移动之方向之间的特定之方向上而延伸之阀部。

5. 发明专利

TWI495790B 伸縮泵有权
简体标题：伸缩泵
公开(公告)号：TWI495790B
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：TW099104749
申请日：2010-02-12
申请人：日本皮拉工業股份有限公司 , NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD.
发明人：桂將義 , KATSURA, MASAYOSHI , 中野篤 , NAKANO, ATSUSHI , 足立智大 , ADACHI, TOMOHIRO
IPC分类号： F04B43/08
CPC分类号： F04B43/084 , F04B43/0072 , F04B43/086 , F04B45/02 , F04B45/022

6. 发明专利

TWI574341B 真空處理設備及製造方法有权
简体标题：真空处理设备及制造方法
公开(公告)号：TWI574341B
公开(公告)日：2017-03-11
申请号：TW100148755
申请日：2011-12-27
申请人：歐瑞康先進科技股份有限公司 , OERLIKON ADVANCED TECHNOLOGIES AG
发明人：史考特凡麥斯特巴特 , SCHOLTE VON MAST, BART , 麗茲勒渥夫甘 , RIETZLER, WOLFGANG , 勞德羅傑 , LODDER, ROGIER , 巴茲蘭羅夫 , BAZLEN, ROLF , 羅勒丹尼爾 , ROHRER, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C16/4412 , C23C16/52 , F04B45/02 , H01J37/32724 , H01J37/32834 , H01J2237/3321 , H01L21/6719 , H01L21/67703 , H01L21/67739 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/6776

7. 发明专利

TW201433275A 簡易式充氣閥構造审中-公开
简体标题：简易式充气阀构造
公开(公告)号：TW201433275A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102106180
申请日：2013-02-22
申请人：立兆股份有限公司 , UNIVERSAL TRIM SUPPLY CO., LTD.
发明人：楊士聖 , YANG, SHIH SHENG
IPC分类号： A43B13/20 , F04B33/00
CPC分类号： F04B43/00 , F04B33/00 , F04B45/02 , F04B45/04
摘要：一種簡易式充氣閥構造，主要係於一底座中央設有一通孔，通孔底面設有一PU膜片，該膜片於對應通孔之外圍處設有至少一個孔洞，並經由高週波或模壓加工技術將膜片外周緣與底座壓合，一擠壓體設於底座上方，具受壓後可彈性回復之彈性，其內部具有一氣室空間，氣室頂部設有至少一穿孔，底部周緣則設有密封緣，且同樣經由其它加工技術結合於底座而形成一充氣閥構造，藉此使該充氣閥與另一氣囊結合成為一襯墊氣囊，並可按壓此充氣閥使氣囊達到充氣之效果。
简体摘要：一种简易式充气阀构造，主要系于一底座中央设有一通孔，通孔底面设有一PU膜片，该膜片于对应通孔之外围处设有至少一个孔洞，并经由高周波或模压加工技术将膜片外周缘与底座压合，一挤压体设于底座上方，具受压后可弹性回复之弹性，其内部具有一气室空间，气室顶部设有至少一穿孔，底部周缘则设有密封缘，且同样经由其它加工技术结合于底座而形成一充气阀构造，借此使该充气阀与另一气囊结合成为一衬垫气囊，并可按压此充气阀使气囊达到充气之效果。

8. 发明专利

TW201209282A 內伸縮囊幫浦流體路徑 INTERNAL BELLOWS PUMP FLUID PATH 审中-公开
简体标题：内伸缩囊帮浦流体路径 INTERNAL BELLOWS PUMP FLUID PATH
公开(公告)号：TW201209282A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：TW100114894
申请日：2011-04-28
申请人：格雷克明尼蘇達股份有限公司
发明人：羅門提摩斯 , 蕭丁柯特 , 克索夫艾登
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B53/12 , F04B39/10 , F04B39/123 , F04B43/084 , F04B45/02 , F04B53/10 , F04B53/125 , F04B53/14
摘要：於往復式活塞幫浦中，活塞(34)具有第一或上端(48)及第二或底端(50)，而在該上端(48)及底端(50)中分別設置有入口(52)及出口(54)孔。入口止回閥(32)係位在孔(52)，而出口止回閥(42)係位在孔(54)。如可於圖3中看出，孔(52)及(54)之每一者分岔成三條(在該較佳具體實施例中)路徑，該等路徑為交替及纏繞的。其為併入該活塞中之入口及出口止回閥兩者的獨特流動路徑，而為本發明之主要特徵。
简体摘要：于往复式活塞帮浦中，活塞(34)具有第一或上端(48)及第二或底端(50)，而在该上端(48)及底端(50)中分别设置有入口(52)及出口(54)孔。入口止回阀(32)系位在孔(52)，而出口止回阀(42)系位在孔(54)。如可于图3中看出，孔(52)及(54)之每一者分岔成三条(在该较佳具体实施例中)路径，该等路径为交替及缠绕的。其为并入该活塞中之入口及出口止回阀两者的独特流动路径，而为本发明之主要特征。

9. 发明专利

TW201102506A 伸縮泵审中-公开
简体标题：伸缩泵
公开(公告)号：TW201102506A
公开(公告)日：2011-01-16
申请号：TW099104749
申请日：2010-02-12
申请人：日本皮拉工業股份有限公司
发明人：桂將義 , 中野篤 , 足立智大
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B43/084 , F04B43/0072 , F04B43/086 , F04B45/02 , F04B45/022
摘要：本發明係提供一種伸縮泵，其係經改善成不會造成性能降低或設置場所、成本增加，而且可抑制吸入/吐出之切換時產生的衝擊振動。因此，本發明之伸縮泵係具有：泵本體(1)，係具備流體的吸入路(12)和吐出路(13)；伸縮體(2)，係配備成基端凸緣(2a)為氣密地固定於泵本體(1)，且在與泵本體(1)之間形成泵室(11)之狀態；及作動板(15)，係為了使伸縮體(2)對泵本體(1)伸縮移動，而安裝在伸縮體(2)的頭部(2c)；該伸縮泵係構成為：將頭部(2c)上推而在與作動板(15)之間形成氣密狀的空間部(19)作為底部形狀，藉由面臨空間部(19)的薄壁頭部(2c)之彈性膜變形造成的空間部(19)之縮小，能吸收緩和壓力上升。
简体摘要：本发明系提供一种伸缩泵，其系经改善成不会造成性能降低或设置场所、成本增加，而且可抑制吸入/吐出之切换时产生的冲击振动。因此，本发明之伸缩泵系具有：泵本体(1)，系具备流体的吸入路(12)和吐出路(13)；伸缩体(2)，系配备成基端凸缘(2a)为气密地固定于泵本体(1)，且在与泵本体(1)之间形成泵室(11)之状态；及作动板(15)，系为了使伸缩体(2)对泵本体(1)伸缩移动，而安装在伸缩体(2)的头部(2c)；该伸缩泵系构成为：将头部(2c)上推而在与作动板(15)之间形成气密状的空间部(19)作为底部形状，借由面临空间部(19)的薄壁头部(2c)之弹性膜变形造成的空间部(19)之缩小，能吸收缓和压力上升。

10. 发明专利

TWI547642B 內伸縮囊幫浦流體路徑有权
简体标题：内伸缩囊帮浦流体路径
公开(公告)号：TWI547642B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW100114894
申请日：2011-04-28
申请人：格雷克明尼蘇達股份有限公司 , GRACO MINNESOTA INC.
发明人：羅門提摩斯 , ROMAN, TIMOTHY SEAN , 蕭丁柯特 , SJODIN, KURT R. , 克索夫艾登 , KALTHOFF, ADAM L.
IPC分类号： F04B53/00 , F04B53/02 , F04B53/10
CPC分类号： F04B53/12 , F04B39/10 , F04B39/123 , F04B43/084 , F04B45/02 , F04B53/10 , F04B53/125 , F04B53/14

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