会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • 無添加氮之臭氧產生單元及臭氧氣體供給系統 NITROGEN ADDITION-FREE OZONE GENERATING UNIT AND OZONE GAS SUPPLYING SYSTEM
    • 无添加氮之臭氧产生单元及臭氧气体供给系统 NITROGEN ADDITION-FREE OZONE GENERATING UNIT AND OZONE GAS SUPPLYING SYSTEM
    • TW201240910A
    • 2012-10-16
    • TW100121781
    • 2011-06-22
    • 東芝三菱電機產業系統股份有限公司
    • 西村真一田畑要一郎
    • C01B
    • C01B13/11C01B2201/12C01B2201/64C01B2201/66C01B2201/76C01B2201/90
    • 本發明是以獲得謀求無添加氮之臭氧產生器單元的小型化的無添加氮之臭氧產生單元為目的,該無添加氮之臭氧產生器單元附加有用於輸出高純度、高濃度的臭氧氣體的複數手段。因此,在本發明中,氣體配管集體區塊(30)有複數的內部配管通路(R30a至R30f),且這些複數的內部配管管路與在放電面塗佈生成臭氧的光觸媒物質的無添加氮之臭氧產生器(1)、調控手段(MFC(3)、氣體過濾器(51)及APC(4)、原料氣體供給口(14)、臭氧氣體輸出口(15)連接,藉此,由原料氣體經由APC供給到無添加氮之臭氧產生器的原料氣體輸入配管管路及由無添加氮之臭氧產生器經氣體過濾器、MFC而到臭氧氣體輸出口的臭氧氣體輸出配管管路係形成為一體化的單元。
    • 本发明是以获得谋求无添加氮之臭氧产生器单元的小型化的无添加氮之臭氧产生单元为目的,该无添加氮之臭氧产生器单元附加有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的复数手段。因此,在本发明中,气体配管集体区块(30)有复数的内部配管通路(R30a至R30f),且这些复数的内部配管管路与在放电面涂布生成臭氧的光触媒物质的无添加氮之臭氧产生器(1)、调控手段(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4)、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连接,借此,由原料气体经由APC供给到无添加氮之臭氧产生器的原料气体输入配管管路及由无添加氮之臭氧产生器经气体过滤器、MFC而到臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管管路系形成为一体化的单元。