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    • 3. 发明专利
    • 局部表面處理的遮罩方法
    • 局部表面处理的遮罩方法
    • TW201403691A
    • 2014-01-16
    • TW101125313
    • 2012-07-13
    • 崇鼎科技有限公司APONE TECHNOLOGY LTD.
    • 劉維林LIU, WEI LIN
    • H01L21/30
    • B29C59/002B29C59/16B41C1/05B41C1/1008B41M5/24B41M5/26B44C1/22C25D5/022
    • 本發明係提供一種局部表面處理的遮罩方法,用以遮罩一工件以對工件進行局部表面處理,工件具有一目標處理區域及一非處理區域,方法包括下列步驟:將一治具遮蓋於工件之非處理區域,而暴露工件之目標處理區域;利用於治具與工件之間的一吸附力,而使治具與工件之非處理區域相互緊貼,並使治具的一開放邊緣貼齊於工件之目標處理區域的邊緣,吸附力為一真空吸附力或一靜電吸附力,藉此表面處理的影響範圍不會超過目標處理區域的邊界,進而減少加工瑕疵產生的機會。
    • 本发明系提供一种局部表面处理的遮罩方法,用以遮罩一工件以对工件进行局部表面处理,工件具有一目标处理区域及一非处理区域,方法包括下列步骤:将一治具遮盖于工件之非处理区域,而暴露工件之目标处理区域;利用于治具与工件之间的一吸附力,而使治具与工件之非处理区域相互紧贴,并使治具的一开放边缘贴齐于工件之目标处理区域的边缘,吸附力为一真空吸附力或一静电吸附力,借此表面处理的影响范围不会超过目标处理区域的边界,进而减少加工瑕疵产生的机会。