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    • 10. 发明专利
    • 磺酸酯衍生物及其作為潛酸之用途 SULFONATE DERIVATIVES AND THE USE THEREOF AS LATENT ACIDS
    • 磺酸酯衍生物及其作为潜酸之用途 SULFONATE DERIVATIVES AND THE USE THEREOF AS LATENT ACIDS
    • TW200302952A
    • 2003-08-16
    • TW092102265
    • 2003-01-30
    • 席巴特製品化學股份有限公司 CIBA SPECIALTY CHEMICALS HOLDING INC.
    • 松本晃 AKIRA MATSUMOTO大和仁 HITOSHI YAMATO朝倉俊景 TOSHIKAGE ASAKURA彼得 穆勒 PETER MURER
    • G03FC07C
    • G03F7/0037B33Y70/00C07C323/66C07C381/00G03F7/001G03F7/0045G03F7/038G03F7/0382G03F7/0392G03F7/0397G03F7/0758Y10S430/114
    • 一種化學放大光阻組物成,包含。(a)一於酸作用時固化之化合物或其可溶性於酸作用時增加之化合物;及(b)化學式Ia,Ib,IIa,IIb,IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb或VIa之化合物092102265p01.bmp092102265p02.bmp,其中n係1或2;m係0或1;X^0係-【CH2】h-X或-CH=CH2;h係2,3,4,5或6;R1當n係1時,係例如選擇性被取代之苯基,基,基,菲基,或雜芳基;R1,當n係2時,係例如選擇性被取代之伸苯基或伸基;R2例如具有R1意義之一;X係例如-OR20,-NR21R22,-SR23;X'係-X1-A3-X2-;X1及X2係例如-O-,-S-或直接鍵;A3係例如伸苯基;R3具有例如對R1@eB!所示意義之一;R4具有例如對R2所示意義之一;R5及R6例如係氫;G例如係-S-或-O-;R7,當n係1時,係例如苯基,選擇性被取代,當n係2時,係例如伸苯基;R8及R9係例如C1-C18烷基;R10具有對R7所示意義之一;R11#係例如C1-C18烷基;R12,R13,R14,R15R16,R17及R18係例如氫或C1-C18烷基;R20,R21,R22及R23係例如苯基或C1-C18烷基;產生具良好光阻物輪廓之高解析度。
    • 一种化学放大光阻组物成,包含。(a)一于酸作用时固化之化合物或其可溶性于酸作用时增加之化合物;及(b)化学式Ia,Ib,IIa,IIb,IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb或VIa之化合物092102265p01.bmp092102265p02.bmp,其中n系1或2;m系0或1;X^0系-【CH2】h-X或-CH=CH2;h系2,3,4,5或6;R1当n系1时,系例如选择性被取代之苯基,基,基,菲基,或杂芳基;R1,当n系2时,系例如选择性被取代之伸苯基或伸基;R2例如具有R1意义之一;X系例如-OR20,-NR21R22,-SR23;X'系-X1-A3-X2-;X1及X2系例如-O-,-S-或直接键;A3系例如伸苯基;R3具有例如对R1@eB!所示意义之一;R4具有例如对R2所示意义之一;R5及R6例如系氢;G例如系-S-或-O-;R7,当n系1时,系例如苯基,选择性被取代,当n系2时,系例如伸苯基;R8及R9系例如C1-C18烷基;R10具有对R7所示意义之一;R11#系例如C1-C18烷基;R12,R13,R14,R15R16,R17及R18系例如氢或C1-C18烷基;R20,R21,R22及R23系例如苯基或C1-C18烷基;产生具良好光阻物轮廓之高分辨率。