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1. 发明专利

TWI508404B 用於防止貫通電流之切換裝置有权
简体标题：用于防止贯通电流之切换设备
公开(公告)号：TWI508404B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：TW101116985
申请日：2012-05-11
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H02H7/10
CPC分类号： H03K17/0822 , H02M1/38 , H02M3/337 , H03K2217/0036

2. 发明专利

TWI642618B 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器有权
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TWI642618B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW106113585
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN,KEN , 田豐 , TIAN,FENG , 陳新 , CHEN,XING , 李法蘭克林 , LEE,FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42

3. 发明专利

TWI606010B 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器有权
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TWI606010B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW102109911
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING , 李法蘭克林 , LEE, FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90

4. 发明专利

TW201110827A 用於控制射頻功率之方法與系統 METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING RADIO FREQUENCY POWER 审中-公开
简体标题：用于控制射频功率之方法与系统 METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING RADIO FREQUENCY POWER
公开(公告)号：TW201110827A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：TW099119323
申请日：2010-06-14
申请人： MKS儀器公司
发明人：那賈卡迪賽迪亞 , 田豐 , 蘭姆大衛 , 瑞辛雅柏杜 , 班哲路克索海爾 , 比斯翠亞克艾爾亞 , 曼瑟大衛 , 蘇斯傑克J , 安柏希娜潔西E
IPC分类号： H05H
CPC分类号： H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
摘要：本發明揭示一種用於控制脈衝式功率之方法,其包括量測來自一功率放大器之功率的一第一脈衝以獲得資料。該方法亦包括產生一第一信號以調整所遞送之功率之一第二脈衝,該第一信號與該資料相關聯以最小化一功率設定點與該第二脈衝之一大致穩定部分之間的一功率差。該方法亦包括產生一第二信號以調整所遞送之功率之該第二脈衝,該第二信號與該資料相關聯以最小化該第二脈衝之一峰値與該第二脈衝之該大致穩定部分之間的一振幅差。
简体摘要：本发明揭示一种用于控制脉冲式功率之方法,其包括量测来自一功率放大器之功率的一第一脉冲以获得数据。该方法亦包括产生一第一信号以调整所递送之功率之一第二脉冲,该第一信号与该数据相关联以最小化一功率设置点与该第二脉冲之一大致稳定部分之间的一功率差。该方法亦包括产生一第二信号以调整所递送之功率之该第二脉冲,该第二信号与该数据相关联以最小化该第二脉冲之一峰値与该第二脉冲之该大致稳定部分之间的一振幅差。

5. 发明专利

TW201725176A 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器审中-公开
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TW201725176A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW106113585
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN,KEN , 田豐 , TIAN,FENG , 陳新 , CHEN,XING , 李法蘭克林 , LEE,FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
摘要：可使用本文描述之系統及技術完成供應高頻電力至臭氧產生單元的改良。以實質上大於一負載頻率之一切換頻率操作的一DC-DC轉換器之應用支援產生一高電壓AC以供電給此等單元，同時允許減小組件大小及減小一負載調諧電路之一品質因數。可使用回饋技術控制用於獲得該切換頻率及該負載頻率之一或多者的可控制功率換流器，以在外部供應電力及負載條件之一或多者的變異下將穩定的高品質功率提供給臭氧產生單元。亦可提供一突波保護電路以選擇性地引入一限流電阻直至藉由獲自一輸入DC匯流排之量測而判定已充分初始化該DC匯流排為止。該限流電阻可係一正溫度係數熱敏電阻。
简体摘要：可使用本文描述之系统及技术完成供应高频电力至臭氧产生单元的改良。以实质上大于一负载频率之一切换频率操作的一DC-DC转换器之应用支持产生一高电压AC以供电给此等单元，同时允许减小组件大小及减小一负载调谐电路之一品质因子。可使用回馈技术控制用于获得该切换频率及该负载频率之一或多者的可控制功率换流器，以在外部供应电力及负载条件之一或多者的变异下将稳定的高品质功率提供给臭氧产生单元。亦可提供一突波保护电路以选择性地引入一限流电阻直至借由获自一输入DC总线之量测而判定已充分初始化该DC总线为止。该限流电阻可系一正温度系数热敏电阻。

6. 发明专利

TWI507092B 用於控制射頻功率之方法與系統有权
简体标题：用于控制射频功率之方法与系统
公开(公告)号：TWI507092B
公开(公告)日：2015-11-01
申请号：TW099119323
申请日：2010-06-14
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：那賈卡迪賽迪亞 , NAGARKATTI, SIDDHARTH , 田豐 , TIAN, FENG , 蘭姆大衛 , LAM, DAVID , 瑞辛雅柏杜 , RASHID, ABDUL , 班哲路克索海爾 , BENZERROUK, SOUHEIL , 比斯翠亞克艾爾亞 , BYSTRYAK, ILYA , 曼瑟大衛 , MENZER, DAVID , 蘇斯傑克J , SCHUSS, JACK J. , 安柏希娜潔西E , AMBROSINA, JESSE E.
IPC分类号： H05H1/18
CPC分类号： H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047

7. 发明专利

TW201345833A 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器审中-公开
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TW201345833A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102109911
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING , 李法蘭克林 , LEE, FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
摘要：可使用本文描述之系統及技術完成供應高頻電力至臭氧產生單元的改良。以實質上大於一負載頻率之一切換頻率操作的一DC-DC轉換器之應用支援產生一高電壓AC以供電給此等單元，同時允許減小組件大小及減小一負載調諧電路之一品質因數。可使用回饋技術控制用於獲得該切換頻率及該負載頻率之一或多者的可控制功率轉換器，以在外部供應電力及負載條件之一或多者的變異下將穩定的高品質功率提供給臭氧產生單元。亦可提供一突波保護電路以選擇性地引入一限流電阻直至藉由獲自一輸入DC匯流排之量測而判定已充分初始化該DC匯流排為止。該限流電阻可係一正溫度係數熱敏電阻。
简体摘要：可使用本文描述之系统及技术完成供应高频电力至臭氧产生单元的改良。以实质上大于一负载频率之一切换频率操作的一DC-DC转换器之应用支持产生一高电压AC以供电给此等单元，同时允许减小组件大小及减小一负载调谐电路之一品质因子。可使用回馈技术控制用于获得该切换频率及该负载频率之一或多者的可控制功率转换器，以在外部供应电力及负载条件之一或多者的变异下将稳定的高品质功率提供给臭氧产生单元。亦可提供一突波保护电路以选择性地引入一限流电阻直至借由获自一输入DC总线之量测而判定已充分初始化该DC总线为止。该限流电阻可系一正温度系数热敏电阻。

8. 发明专利

TW201249043A 用於貫通保護之方法及系統 METHOD AND SYSTEM FOR SHOOT-THROUGH PROTECTION 审中-公开
简体标题：用于贯通保护之方法及系统 METHOD AND SYSTEM FOR SHOOT-THROUGH PROTECTION
公开(公告)号：TW201249043A
公开(公告)日：2012-12-01
申请号：TW101116985
申请日：2012-05-11
申请人： MKS儀器公司
发明人：崔恩肯 , 田豐 , 陳新
IPC分类号： H02H
CPC分类号： H03K17/0822 , H02M1/38 , H02M3/337 , H03K2217/0036
摘要：本發明揭示一種切換裝置,其包含一第一電晶體、一第二電晶體、一第一電路模組、一第一電流感測器及一控制電路。該第一電晶體包含第一終端、第二終端及第三終端。該第一電晶體之第一終端係耦合至一第一電源終端。該第一電晶體之第三終端包含該第一電晶體之閘極或基極。該第二電晶體包含第一終端、第二終端及第三終端。該第二電晶體之第一終端係耦合至一第二電源終端。該第二電晶體之第二終端係耦合至該第一電晶體之第二終端。該第二電晶體之第三終端包含該第二電晶體之閘極或基極。該第一電路模組包含與一個二極體並聯之一電感器。該第一電路模組係連接於該第二電晶體之第一終端與該第二電源終端之間。
简体摘要：本发明揭示一种切换设备,其包含一第一晶体管、一第二晶体管、一第一电路模块、一第一电流传感器及一控制电路。该第一晶体管包含第一终端、第二终端及第三终端。该第一晶体管之第一终端系耦合至一第一电源终端。该第一晶体管之第三终端包含该第一晶体管之闸极或基极。该第二晶体管包含第一终端、第二终端及第三终端。该第二晶体管之第一终端系耦合至一第二电源终端。该第二晶体管之第二终端系耦合至该第一晶体管之第二终端。该第二晶体管之第三终端包含该第二晶体管之闸极或基极。该第一电路模块包含与一个二极管并联之一电感器。该第一电路模块系连接于该第二晶体管之第一终端与该第二电源终端之间。

9. 发明专利

TW200947850A 射頻功率傳送系統 RADIO FREQUENCY POWER DELIVERY SYSTEM 审中-公开
简体标题：射频功率发送系统 RADIO FREQUENCY POWER DELIVERY SYSTEM
公开(公告)号：TW200947850A
公开(公告)日：2009-11-16
申请号：TW098102171
申请日：2009-01-20
申请人： MKS儀器公司
发明人：那賈卡迪賽迪亞P , 巴斯奇葉夫傑尼 , 田豐 , 巴斯崔克伊莉亞
IPC分类号： H03F
CPC分类号： H03F3/20 , H01J37/32082 , H01J37/32183 , H03F1/565 , H03F3/195 , H03F2200/321 , H03F2200/387 , H03F2200/391 , H03F2200/393 , H03F2200/451 , H03H7/40 , Y10T307/305
摘要：本發明提供用於傳送功率至一動態負載之系統及方法。該系統包括一提供具有一大體上恆定功率開環回應之DC功率的電源、一用於將該DC功率轉換至RF功率之功率放大器、一用於量測與該RF功率相關聯之電壓、電流及電壓與電流向量之間的相位角之感測器、一用以修改該功率放大器之阻抗以至少大體上匹配一動態負載之阻抗的電可控制阻抗匹配系統，及一用於控制該電可控制阻抗匹配系統之控制器。該系統進一步包括一用於判定由該功率放大器所傳送之功率的感測器校準量測模組、一用於判定傳送至一動態負載之功率的電子匹配系統校準模組，及一用於計算該電可控制阻抗匹配系統中所消耗之功率的功率消耗模組。
简体摘要：本发明提供用于发送功率至一动态负载之系统及方法。该系统包括一提供具有一大体上恒定功率开环回应之DC功率的电源、一用于将该DC功率转换至RF功率之功率放大器、一用于量测与该RF功率相关联之电压、电流及电压与电流矢量之间的相位角之传感器、一用以修改该功率放大器之阻抗以至少大体上匹配一动态负载之阻抗的电可控制阻抗匹配系统，及一用于控制该电可控制阻抗匹配系统之控制器。该系统进一步包括一用于判定由该功率放大器所发送之功率的传感器校准量测模块、一用于判定发送至一动态负载之功率的电子匹配系统校准模块，及一用于计算该电可控制阻抗匹配系统中所消耗之功率的功率消耗模块。

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