专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI642618B 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器有权
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TWI642618B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW106113585
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN,KEN , 田豐 , TIAN,FENG , 陳新 , CHEN,XING , 李法蘭克林 , LEE,FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42

2. 发明专利

TWI634938B 環形電漿減量裝置及方法有权
简体标题：环形等离子减量设备及方法
公开(公告)号：TWI634938B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：TW103109788
申请日：2014-03-14
申请人：美商MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：陳新 , CHEN, XING , 波奇朵艾亞 , POKIDOV, ILYA , 田亞瑟 , TIAN, ARTHUR , 崔恩肯 , TRAN, KEN , 蘭姆大衛 , LAM, DAVID , 溫佐凱文W , WENZEL, KEVIN W.
IPC分类号： B01D53/32 , B01J19/08 , H01J37/32

3. 发明专利

TWI585812B 具有沿通道變化橫截面面積之環向電漿通道有权
简体标题：具有沿信道变化横截面面积之环向等离子信道
公开(公告)号：TWI585812B
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW101142502
申请日：2012-11-14
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：胡巧琳 , HU, CHAOLIN , 陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32449 , C23C16/45587 , C23C16/45591 , C23C16/50 , F17D1/04 , G21B1/17 , H01J37/32009 , H01J37/321 , H01J37/32357 , H01J37/32513 , H01J37/32807 , H01J2237/006 , H05H1/12 , Y02E30/122 , Y02E30/126 , Y10T137/0318 , Y10T137/8376

4. 发明专利

TW201725176A 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器审中-公开
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TW201725176A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW106113585
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN,KEN , 田豐 , TIAN,FENG , 陳新 , CHEN,XING , 李法蘭克林 , LEE,FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
摘要：可使用本文描述之系統及技術完成供應高頻電力至臭氧產生單元的改良。以實質上大於一負載頻率之一切換頻率操作的一DC-DC轉換器之應用支援產生一高電壓AC以供電給此等單元，同時允許減小組件大小及減小一負載調諧電路之一品質因數。可使用回饋技術控制用於獲得該切換頻率及該負載頻率之一或多者的可控制功率換流器，以在外部供應電力及負載條件之一或多者的變異下將穩定的高品質功率提供給臭氧產生單元。亦可提供一突波保護電路以選擇性地引入一限流電阻直至藉由獲自一輸入DC匯流排之量測而判定已充分初始化該DC匯流排為止。該限流電阻可係一正溫度係數熱敏電阻。
简体摘要：可使用本文描述之系统及技术完成供应高频电力至臭氧产生单元的改良。以实质上大于一负载频率之一切换频率操作的一DC-DC转换器之应用支持产生一高电压AC以供电给此等单元，同时允许减小组件大小及减小一负载调谐电路之一品质因子。可使用回馈技术控制用于获得该切换频率及该负载频率之一或多者的可控制功率换流器，以在外部供应电力及负载条件之一或多者的变异下将稳定的高品质功率提供给臭氧产生单元。亦可提供一突波保护电路以选择性地引入一限流电阻直至借由获自一输入DC总线之量测而判定已充分初始化该DC总线为止。该限流电阻可系一正温度系数热敏电阻。

5. 发明专利

TW201345833A 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器审中-公开
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TW201345833A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102109911
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING , 李法蘭克林 , LEE, FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
摘要：可使用本文描述之系統及技術完成供應高頻電力至臭氧產生單元的改良。以實質上大於一負載頻率之一切換頻率操作的一DC-DC轉換器之應用支援產生一高電壓AC以供電給此等單元，同時允許減小組件大小及減小一負載調諧電路之一品質因數。可使用回饋技術控制用於獲得該切換頻率及該負載頻率之一或多者的可控制功率轉換器，以在外部供應電力及負載條件之一或多者的變異下將穩定的高品質功率提供給臭氧產生單元。亦可提供一突波保護電路以選擇性地引入一限流電阻直至藉由獲自一輸入DC匯流排之量測而判定已充分初始化該DC匯流排為止。該限流電阻可係一正溫度係數熱敏電阻。
简体摘要：可使用本文描述之系统及技术完成供应高频电力至臭氧产生单元的改良。以实质上大于一负载频率之一切换频率操作的一DC-DC转换器之应用支持产生一高电压AC以供电给此等单元，同时允许减小组件大小及减小一负载调谐电路之一品质因子。可使用回馈技术控制用于获得该切换频率及该负载频率之一或多者的可控制功率转换器，以在外部供应电力及负载条件之一或多者的变异下将稳定的高品质功率提供给臭氧产生单元。亦可提供一突波保护电路以选择性地引入一限流电阻直至借由获自一输入DC总线之量测而判定已充分初始化该DC总线为止。该限流电阻可系一正温度系数热敏电阻。

6. 发明专利

TWI508404B 用於防止貫通電流之切換裝置有权
简体标题：用于防止贯通电流之切换设备
公开(公告)号：TWI508404B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：TW101116985
申请日：2012-05-11
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H02H7/10
CPC分类号： H03K17/0822 , H02M1/38 , H02M3/337 , H03K2217/0036

7. 发明专利

TW201415524A 用於一大面積感應電漿源之方法及裝置审中-公开
简体标题：用于一大面积感应等离子源之方法及设备
公开(公告)号：TW201415524A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：TW102130931
申请日：2013-08-28
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H05H7/04 , H01J37/321 , H01J37/3266 , H01J37/32669 , H05H1/24
摘要：本發明提供一種用於將解離氣體提供至半導體處理室之電漿源。電漿室可具有至少一個氣體入口及用於圍阻該氣體之至少一個室壁，複數個磁芯相對於該電漿室安置以使得該電漿室通過該複數個磁芯中之每一者。一初級繞組可耦合至該複數個磁芯。該電漿室可沿著一平面產生一環形電漿，該平面延伸穿過該電漿室且其至少實質上平行於安置於該半導體處理室內之一樣本固持器之一頂部表面。
简体摘要：本发明提供一种用于将解离气体提供至半导体处理室之等离子源。等离子室可具有至少一个气体入口及用于围阻该气体之至少一个室壁，复数个磁芯相对于该等离子室安置以使得该等离子室通过该复数个磁芯中之每一者。一初级绕组可耦合至该复数个磁芯。该等离子室可沿着一平面产生一环形等离子，该平面延伸穿过该等离子室且其至少实质上平行于安置于该半导体处理室内之一样本固持器之一顶部表面。

8. 发明专利

TW201331979A 具有沿通道變化橫截面面積之環向電漿通道审中-公开
简体标题：具有沿信道变化横截面面积之环向等离子信道
公开(公告)号：TW201331979A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW101142502
申请日：2012-11-14
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：胡巧琳 , HU, CHAOLIN , 陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32449 , C23C16/45587 , C23C16/45591 , C23C16/50 , F17D1/04 , G21B1/17 , H01J37/32009 , H01J37/321 , H01J37/32357 , H01J37/32513 , H01J37/32807 , H01J2237/006 , H05H1/12 , Y02E30/122 , Y02E30/126 , Y10T137/0318 , Y10T137/8376
摘要：本發明揭示一種總成，其用於調整氣體流動型樣及氣體-電漿相互作用，該總成包含一環向電漿室。該環向電漿室具有全部經連接之一注射部件、一輸出部件、一第一側部件及一第二側部件。該第一側部件具有在該第一側部件之至少一部分中之一第一內橫截面面積及在該第一側部件之至少另一部分中之一第二內橫截面面積，其中該第一內橫截面面積與該第二內橫截面面積係不同的。該第二側部件具有在該第二側部件之至少一部分中之一第三內橫截面面積及在該第二側部件之至少另一部分中之一第四內橫截面面積，其中該第三內橫截面面積與該第四內橫截面面積係不同的。
简体摘要：本发明揭示一种总成，其用于调整气体流动型样及气体-等离子相互作用，该总成包含一环向等离子室。该环向等离子室具有全部经连接之一注射部件、一输出部件、一第一侧部件及一第二侧部件。该第一侧部件具有在该第一侧部件之至少一部分中之一第一内横截面面积及在该第一侧部件之至少另一部分中之一第二内横截面面积，其中该第一内横截面面积与该第二内横截面面积系不同的。该第二侧部件具有在该第二侧部件之至少一部分中之一第三内横截面面积及在该第二侧部件之至少另一部分中之一第四内横截面面积，其中该第三内横截面面积与该第四内横截面面积系不同的。

9. 发明专利

TWI606010B 用於供能量給臭氣產生單元的小型可組態的電源供應器有权
简体标题：用于供能量给臭气产生单元的小型可组态的电源供应器
公开(公告)号：TWI606010B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW102109911
申请日：2013-03-20
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：崔恩肯 , TRAN, KEN , 田豐 , TIAN, FENG , 陳新 , CHEN, XING , 李法蘭克林 , LEE, FRANKLIN
IPC分类号： C01B13/10 , H02M3/28 , H02M1/42
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90

10. 发明专利

TWI477204B 在反應性氣體產生器中提供電源以激發及維持電漿之方法及裝置有权
简体标题：在反应性气体产生器中提供电源以激发及维持等离子之方法及设备
公开(公告)号：TWI477204B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：TW098122304
申请日：2009-07-01
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：班哲路克索海爾 , BENZERROUK, SOUHEIL , 那賈卡迪賽迪亞P , NAGARKATTI, SIDDHARTH P. , 可沃安德魯 , COWE, ANDREW , 夏吉阿里 , SHAJII, ALI , 安柏希娜潔西E , AMBROSINA, JESSE E. , 崔恩肯 , TRAN, KEN , 陳新 , CHEN, XING
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32009 , H01J37/321

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式