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    • 3. 发明专利
    • 基材的處理方法、積層體以及半導體裝置
    • 基材的处理方法、积层体以及半导体设备
    • TW201346987A
    • 2013-11-16
    • TW102115934
    • 2013-05-03
    • JSR股份有限公司JSR CORPORATION
    • 高橋誠一郎TAKAHASHI, SEIICHIROU後藤宏文GOTOU, HIROFUMI
    • H01L21/027H01L21/304
    • H01L21/02H01L21/6835H01L29/02H01L2221/68327H01L2221/6834H01L2221/68381
    • 一種基材的處理方法,其依序包含:介隔暫時固定材而將基材暫時固定於支撐體上,藉此而獲得中央部分被支撐體、外周部分及基材覆蓋之積層體的步驟,暫時固定材包含具有2層以上之層之中央部分與耐溶劑性優異之外周部分,外周部分與支撐體的基材側之面的外周部、基材的支撐體側之面的外周部相接,且中央部分與支撐體的基材側之面的外周部更內側之中央部、基材的支撐體側之面的外周部更內側之中央部相接;對基材進行加工等的步驟;藉由溶劑使外周部分溶解的步驟;以及藉由對暫時固定材之剩餘部分進行加熱而自支撐體上剝離基材的步驟。
    • 一种基材的处理方法,其依序包含:介隔暂时固定材而将基材暂时固定于支撑体上,借此而获得中央部分被支撑体、外周部分及基材覆盖之积层体的步骤,暂时固定材包含具有2层以上之层之中央部分与耐溶剂性优异之外周部分,外周部分与支撑体的基材侧之面的外周部、基材的支撑体侧之面的外周部相接,且中央部分与支撑体的基材侧之面的外周部更内侧之中央部、基材的支撑体侧之面的外周部更内侧之中央部相接;对基材进行加工等的步骤;借由溶剂使外周部分溶解的步骤;以及借由对暂时固定材之剩余部分进行加热而自支撑体上剥离基材的步骤。
    • 10. 发明专利
    • 具有絕緣性被膜之構造物及其製造方法、正型感光性樹脂組成物以及電子零件
    • 具有绝缘性被膜之构造物及其制造方法、正型感光性树脂组成物以及电子零件
    • TW201001075A
    • 2010-01-01
    • TW098119228
    • 2009-06-09
    • JSR股份有限公司
    • 松木智裕奧田隆一後藤宏文
    • G03FH01L
    • G03F7/022G03F7/0047G03F7/16
    • 本發明之目的係提供一種具有電絕緣性、熱衝擊性優異之均勻絕緣性被膜之構造物及其製造方法,可形成絕緣性被膜且解像性優異之正型感光性樹脂組成物,以及電子零件。具有本發明絕緣性被膜之構造物之製造方法具備下列步驟:在具有孔部之基板上塗佈溶劑之溶劑塗佈步驟;使正型感光性樹脂組成物以使該樹脂組成物與孔部內之溶劑接觸之方式,於基板上塗佈正型感光性樹脂組成物之樹脂組成物塗佈步驟;使塗膜乾燥,於孔部內壁面及底面之至少內壁面上形成含樹脂成分之被膜(117、118、119)之步驟;使於上述基板表面上形成之被膜之特定區域曝光,且使用鹼性溶液處理,使於孔部內壁面上殘留形成之被膜(117)之表底面側被膜去除步驟;及加熱殘留於孔部內壁面(117)上之被膜之加熱硬化步驟。
    • 本发明之目的系提供一种具有电绝缘性、热冲击性优异之均匀绝缘性被膜之构造物及其制造方法,可形成绝缘性被膜且解像性优异之正型感光性树脂组成物,以及电子零件。具有本发明绝缘性被膜之构造物之制造方法具备下列步骤:在具有孔部之基板上涂布溶剂之溶剂涂布步骤;使正型感光性树脂组成物以使该树脂组成物与孔部内之溶剂接触之方式,于基板上涂布正型感光性树脂组成物之树脂组成物涂布步骤;使涂膜干燥,于孔部内壁面及底面之至少内壁面上形成含树脂成分之被膜(117、118、119)之步骤;使于上述基板表面上形成之被膜之特定区域曝光,且使用碱性溶液处理,使于孔部内壁面上残留形成之被膜(117)之表底面侧被膜去除步骤;及加热残留于孔部内壁面(117)上之被膜之加热硬化步骤。