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1. 实用新型

TWM565876U 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWM565876U
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：TW106218351
申请日：2017-12-11
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：馮傳彰 , FENG, CHUAN-CHANG , 劉茂林 , LIU, MAO-LIN , 吳庭宇 , WU, TING-YU , 林世佳 , LIN, SHIH-CHIA
IPC分类号： H01L21/67

2. 发明专利

TW201824444A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201824444A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106142577
申请日：2017-12-05
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：馮傳彰 , FENG, CHUAN-CHANG , 劉茂林 , LIU, MAO-LIN , 吳庭宇 , WU, TING-YU , 林世佳 , LIN, SHIH-CHIA
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687 , B05C5/02 , B05C11/10
摘要：基板處理裝置包括一底座、一基板載台、複數升降式主收集件、一第一動力件和一升降控制件。基板載台可旋轉得和底座連接，用以固定和旋轉基板。複數升降式主收集件設於基板載台外圍，用以收集處理基板的處理液。各個升降式主收集件包括一升降軸和一處理液收集環。升降軸包括一升降輪組件。升降輪組件用以帶動升降軸升降。處理液收集環連接升降軸之上。第一動力件設於底座，用以提供動力給升降式主收集件，以使升降式主收集件升降。升降控制件連接第一動力件，以控制第一動力件傳遞動力給升降式主收集件之升降軸對應之升降輪組件。
简体摘要：基板处理设备包括一底座、一基板载台、复数升降式主收集件、一第一动力件和一升降控制件。基板载台可旋转得和底座连接，用以固定和旋转基板。复数升降式主收集件设于基板载台外围，用以收集处理基板的处理液。各个升降式主收集件包括一升降轴和一处理液收集环。升降轴包括一升降轮组件。升降轮组件用以带动升降轴升降。处理液收集环连接升降轴之上。第一动力件设于底座，用以提供动力给升降式主收集件，以使升降式主收集件升降。升降控制件连接第一动力件，以控制第一动力件传递动力给升降式主收集件之升降轴对应之升降轮组件。

3. 发明专利

TWI693655B 基板處理設備及方法有权
简体标题：基板处理设备及方法
公开(公告)号：TWI693655B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW107145467
申请日：2018-12-17
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：陳贊吉 , CHEN, TSAN-CHI , 林志杰 , LIN, CHIH-CHIEH , 林世佳 , LIN, SHIH-CHIA , 賴仁斌 , LAI, JEN-PIH
IPC分类号： H01L21/67

4. 发明专利

TW202022963A 基板處理系統审中-公开
简体标题：基板处理系统
公开(公告)号：TW202022963A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW107142945
申请日：2018-11-30
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：林世佳 , LIN, SHIH-CHIA , 馮傳彰 , FENG, CHUAN-CHANG
IPC分类号： H01L21/67
摘要：一種基板處理系統，包括處理裝置、回收槽、排液管路以及冷卻液供應單元。處理裝置使用處理液對基板進行處理。回收槽用以容置處理液。排液管路連通於回收槽。冷卻液供應單元連通於排液管路，並用以供應冷卻液至排液管路，以使冷卻液與處理液混合成混合液，其中排液管路用以將混合液以及回收槽內的處理液排出至外部端。
简体摘要：一种基板处理系统，包括处理设备、回收槽、排液管路以及冷却液供应单元。处理设备使用处理液对基板进行处理。回收槽用以容置处理液。排液管路连通于回收槽。冷却液供应单元连通于排液管路，并用以供应冷却液至排液管路，以使冷却液与处理液混合成混合液，其中排液管路用以将混合液以及回收槽内的处理液排出至外部端。

5. 发明专利

TWI679718B 基板處理系統有权
简体标题：基板处理系统
公开(公告)号：TWI679718B
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：TW107142945
申请日：2018-11-30
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：林世佳 , LIN, SHIH-CHIA , 馮傳彰 , FENG, CHUAN-CHANG
IPC分类号： H01L21/67

6. 发明专利

TWI665020B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI665020B
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：TW107108182
申请日：2018-02-26
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：童瑞發 , TUNG,JUI-FA , 簡亦成 , CHIEN,YI-CHENG , 林志杰 , LIN,CHIH-CEIEH , 林世佳 , LIN, SHIH-CHIA
IPC分类号： B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/67

7. 实用新型

TWM563654U 基板處理系統有权
简体标题：基板处理系统
公开(公告)号：TWM563654U
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW106218442
申请日：2017-12-12
申请人：辛耘企業股份有限公司 , SCIENTECH CORPORATION
发明人：馮傳彰 , FENG, CHUAN-CHANG , 劉茂林 , LIU, MAO-LIN , 吳庭宇 , WU, TING-YU , 林世佳 , LIN, SHIH-CHIA , 蔡健智 , TSAI, CHIEN-CHIH
IPC分类号： H01L21/67

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