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    • 4. 发明专利
    • 薄膜沉積裝置及其用以製備薄膜之方法
    • 薄膜沉积设备及其用以制备薄膜之方法
    • TW201303072A
    • 2013-01-16
    • TW100123342
    • 2011-07-01
    • 財團法人金屬工業研究發展中心METAL INDUSTRIES RESEARCH & DEVELOPMENT CENTRE
    • 吳春森WU, CHUN SEN翁敏航WENG, MIN HANG晁成虎CHAO, CHENG HU陳威宇CHEN, WEI YU
    • C23C16/54C23C16/455
    • 一種薄膜沉積裝置包含:一腔體,係具有連通一容室之一進氣口;一電漿生成單元,係具有一容置於該容室內之電極組件,該電極組件係電性連接一供電元件,該電極組件係包含一正極板及一負極板,該正極板及負極板之間係具有一電漿生成區;及一加熱組件,係容置於該容室內且用以加熱由該進氣口通入之成膜氣體。利用該薄膜沉積裝置,於該腔體內通入一電漿生成氣體,使其於該電漿生成區產生解離而形成電漿態;於該腔體內通入一成膜氣體,使其通過該加熱組件及電漿生成單元,而於該電漿生成區形成解離態之成膜氣體,以沉積於該基板形成薄膜。
    • 一种薄膜沉积设备包含:一腔体,系具有连通一容室之一进气口;一等离子生成单元,系具有一容置于该容室内之电极组件,该电极组件系电性连接一供电组件,该电极组件系包含一正极板及一负极板,该正极板及负极板之间系具有一等离子生成区;及一加热组件,系容置于该容室内且用以加热由该进气口通入之成膜气体。利用该薄膜沉积设备,于该腔体内通入一等离子生成气体,使其于该等离子生成区产生解离而形成等离子态;于该腔体内通入一成膜气体,使其通过该加热组件及等离子生成单元,而于该等离子生成区形成解离态之成膜气体,以沉积于该基板形成薄膜。