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1. 发明专利

TWI598154B 晶圓狀物件之液體處理用方法及設備有权
简体标题：晶圆状对象之液体处理用方法及设备
公开(公告)号：TWI598154B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW102113178
申请日：2013-04-12
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： B05C11/10
CPC分类号： B01F15/0429 , B01F15/0022 , G05D11/135 , H01L21/6715 , Y10T137/87917

2. 发明专利

TWI593037B 用於工件之液體處理的設備及用於該設備中之流動控制系統有权
简体标题：用于工件之液体处理的设备及用于该设备中之流动控制系统
公开(公告)号：TWI593037B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：TW102142325
申请日：2013-11-20
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：斯區維傑麥可 , SCHWAIGER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS , 米基斯區克里斯多夫 , MIGGITSCH, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01L21/67 , B67D7/08 , B67D7/36 , F17D1/00
CPC分类号： F17D1/00 , H01L21/00 , H01L21/67 , Y10T137/8158

3. 发明专利

TW201404475A 晶圓狀物件之液體處理用方法及設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之液体处理用方法及设备
公开(公告)号：TW201404475A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102113178
申请日：2013-04-12
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： B05C11/10
CPC分类号： B01F15/0429 , B01F15/0022 , G05D11/135 , H01L21/6715 , Y10T137/87917
摘要：一種提供處理晶圓狀物件之處理液體的線路內混合系統。此系統包含用以調節第一液體流之流動的第一流量調節器、用以調節具有一化學成分之第二液體流之流動的第二流量調節器、用以提供第一和第二液體流之混合物的折射率測量值的折射率測量計、用以提供第一和第二液體流之混合物的合併流量測量值之合併式流量計、以及自動控制器。自動控制器係用以根據折射率測量值以及合併流量測量值操作第一和第二流量調節器。
简体摘要：一种提供处理晶圆状对象之处理液体的线路内混合系统。此系统包含用以调节第一液体流之流动的第一流量调节器、用以调节具有一化学成分之第二液体流之流动的第二流量调节器、用以提供第一和第二液体流之混合物的折射率测量值的折射率测量计、用以提供第一和第二液体流之混合物的合并流量测量值之合并式流量计、以及自动控制器。自动控制器系用以根据折射率测量值以及合并流量测量值操作第一和第二流量调节器。

4. 发明专利

TW201806058A 晶圓狀物件之處理方法及設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之处理方法及设备
公开(公告)号：TW201806058A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：TW106117349
申请日：2017-05-25
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：梅世禮 , MUI, DAVID , 伯尼布奇 , BERNEY, BUTCH , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS , 瑞夫肯麥可 , RAVKIN, MIKE
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6708 , H01L21/67051 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H01L21/68757
摘要：具有一旋轉夾頭與一加熱組件的一種晶圓狀物件的處理設備，當一晶圓狀物件係位於該旋轉夾頭上時，該加熱組件係面對該晶圓狀物件。一液體分配器之位置俾以將液體分配至該晶圓狀物件的一表面上，當該晶圓狀物件係位於該旋轉夾頭上時該表面係面離該旋轉夾頭。該加熱組件包含分佈於至少五個可獨立控制的族群間之複數輻射加熱元件的一陣列。該液體分配器包含一或多個分配孔口，該一或多個分配孔口係用以將一排放點自該旋轉夾頭之該較中央區域移動至該旋轉夾頭之該較外圍區域。一控制器基於該液體分配器之該排放點的一位置控制被供給至該複數輻射加熱元件之該至少五個可獨立控制的族群之每一族群的功率。
简体摘要：具有一旋转夹头与一加热组件的一种晶圆状对象的处理设备，当一晶圆状对象系位于该旋转夹头上时，该加热组件系面对该晶圆状对象。一液体分配器之位置俾以将液体分配至该晶圆状对象的一表面上，当该晶圆状对象系位于该旋转夹头上时该表面系面离该旋转夹头。该加热组件包含分布于至少五个可独立控制的族群间之复数辐射加热组件的一数组。该液体分配器包含一或多个分配孔口，该一或多个分配孔口系用以将一排放点自该旋转夹头之该较中央区域移动至该旋转夹头之该较外围区域。一控制器基于该液体分配器之该排放点的一位置控制被供给至该复数辐射加热组件之该至少五个可独立控制的族群之每一族群的功率。

5. 发明专利

TW201405689A 晶圓狀物件之液體處理用設備及方法审中-公开
简体标题：晶圆状对象之液体处理用设备及方法
公开(公告)号：TW201405689A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102111462
申请日：2013-03-29
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67051
摘要：一種晶圓狀物件之液體處理用設備及方法，包括：一處理單元，其包括用以以預定之方向握持晶圓狀物件之夾盤；以及液體再生系統，容納回收自處理單元的使用過之處理液體。液體再生系統供給處理液體至處理單元中之分配器。新處理液體供應部供給新處理液體至液體再生系統並且在繞過液體再生系統的同時供給新處理液體至處理單元中之分配器。
简体摘要：一种晶圆状对象之液体处理用设备及方法，包括：一处理单元，其包括用以以预定之方向握持晶圆状对象之夹盘；以及液体再生系统，容纳回收自处理单元的使用过之处理液体。液体再生系统供给处理液体至处理单元中之分配器。新处理液体供应部供给新处理液体至液体再生系统并且在绕过液体再生系统的同时供给新处理液体至处理单元中之分配器。

6. 发明专利

TWI590358B 晶圓狀物件之液體處理用設備及方法有权
简体标题：晶圆状对象之液体处理用设备及方法
公开(公告)号：TWI590358B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102111462
申请日：2013-03-29
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67051

7. 发明专利

TW201442132A 用於工件之液體處理的設備及用於該設備中之流動控制系統审中-公开
简体标题：用于工件之液体处理的设备及用于该设备中之流动控制系统
公开(公告)号：TW201442132A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102142325
申请日：2013-11-20
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：斯區維傑麥可 , SCHWAIGER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS , 米基斯區克里斯多夫 , MIGGITSCH, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01L21/67 , B67D7/08 , B67D7/36 , F17D1/00
CPC分类号： F17D1/00 , H01L21/00 , H01L21/67 , Y10T137/8158
摘要：一種位於用以處理工件之設備中的流動控制系統，此流動控制系統控制分配自一液體分配器之處理液體的流率。該系統包括一流量計，該流量計測量供應至該液體分配器之液體的流率；一控制器，其接收顯示由該流量計所測量之流率的信號；以及一壓力調節器，其根據來自該控制器之控制信號調節位於該流量計下游之液體供應的壓力。至少二替代液體供應路徑係提供於該壓力調節器之下游及該液體分配器之出口的上游。每一供應路徑係配有對應之截流閥並提供各自不同的壓降至該處理液體。
简体摘要：一种位于用以处理工件之设备中的流动控制系统，此流动控制系统控制分配自一液体分配器之处理液体的流率。该系统包括一流量计，该流量计测量供应至该液体分配器之液体的流率；一控制器，其接收显示由该流量计所测量之流率的信号；以及一压力调节器，其根据来自该控制器之控制信号调节位于该流量计下游之液体供应的压力。至少二替代液体供应路径系提供于该压力调节器之下游及该液体分配器之出口的上游。每一供应路径系配有对应之截流阀并提供各自不同的压降至该处理液体。

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