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1. 发明专利

TW201440112A 電漿監視探針組件及倂入該組件之處理腔室审中-公开
简体标题：等离子监视探针组件及并入该组件之处理腔室
公开(公告)号：TW201440112A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW102140295
申请日：2013-11-06
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：喬瑟林賽門 , GOSSELIN, SIMON
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/32917 , H01J37/32935
摘要：本發明提供一電漿處理腔室，該電漿處理腔室包含一或更多處理氣體入口、一或更多排氣出口、一用以在電漿處理腔室之電漿處理部產生處理氣體電漿的電漿產生硬體、一設置在該電漿處理腔室內之晶圓處理台、以及一電漿監視探針組件。該電漿監視探針組件包含一導電探針和繞著該導電探針設置的一絕緣套筒組件。該絕緣套筒組件包含繞著該探針組件之該導電探針的縱向探針軸線的不同部分設置的一電漿側套筒部和一地下套筒部。該絕緣套筒組件之電漿側套筒部係由比該絕緣套筒組件的地下套筒部之材料更能耐受電漿所致之劣化的材料所構成，而該絕緣套筒組件的地下套筒部係由比絕緣套筒組件之電漿側套筒部的材料更耐電之材料所構成。
简体摘要：本发明提供一等离子处理腔室，该等离子处理腔室包含一或更多处理气体入口、一或更多排气出口、一用以在等离子处理腔室之等离子处理部产生处理气体等离子的等离子产生硬件、一设置在该等离子处理腔室内之晶圆处理台、以及一等离子监视探针组件。该等离子监视探针组件包含一导电探针和绕着该导电探针设置的一绝缘套筒组件。该绝缘套筒组件包含绕着该探针组件之该导电探针的纵向探针轴线的不同部分设置的一等离子侧套筒部和一地下套筒部。该绝缘套筒组件之等离子侧套筒部系由比该绝缘套筒组件的地下套筒部之材料更能耐受等离子所致之劣化的材料所构成，而该绝缘套筒组件的地下套筒部系由比绝缘套筒组件之等离子侧套筒部的材料更耐电之材料所构成。

2. 发明专利

TW201626294A 在半導體機具中用以支援維修保養及追蹤活動的行動裝置使用者介面审中-公开
简体标题：在半导体机具中用以支持维修保养及追踪活动的行动设备用户界面
公开(公告)号：TW201626294A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104133134
申请日：2015-10-08
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：喬瑟林賽門 , GOSSELIN, SIMON , 翁文生 , WONG, VINCENT , 瑞納恩羅那得 , RAMNARINE, RONALD , 牛頓尼爾 K , NEWTON, NEAL K. , 沙穆克什 , SHAH, MUKESH , 哈佛斯坦克爾溫 , HOVERSTEN, KERWIN , 阿倫斯鮑伯 , AHRENS, BOB , 莫拉馬科 , MORA, MARCO , 派崔克瑞哲 , PATRICK, ROGER
IPC分类号： G06Q10/00
CPC分类号： G06Q10/20
摘要：半導體機具保養操作整合於行動裝置上可使技術人員更準確地進行半導體機具保養，並允許更準確的數據收集與分析，以使保養程序及所產生的機具操作更為可重複、一致、及有效率的。
简体摘要：半导体机具保养操作集成于行动设备上可使技术人员更准确地进行半导体机具保养，并允许更准确的数据收集与分析，以使保养进程及所产生的机具操作更为可重复、一致、及有效率的。

3. 发明专利

TWI605486B 包括電漿監視探針組件及併入該組件之處理腔室的電漿處理系統有权
简体标题：包括等离子监视探针组件及并入该组件之处理腔室的等离子处理系统
公开(公告)号：TWI605486B
公开(公告)日：2017-11-11
申请号：TW102140295
申请日：2013-11-06
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：喬瑟林賽門 , GOSSELIN, SIMON
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/32917 , H01J37/32935

4. 发明专利

TW201626125A 半導體製造設備之行動連接性及控制审中-公开
简体标题：半导体制造设备之行动连接性及控制
公开(公告)号：TW201626125A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104133127
申请日：2015-10-08
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：派崔克瑞哲 , PATRICK, ROGER , 黃忠河 , HUANG, CHUNG HO , 喬瑟林賽門 , GOSSELIN, SIMON , 翁文生 , WONG, VINCENT , 瑞納恩羅那得 , RAMNARINE, RONALD , 牛頓尼爾 K , NEWTON, NEAL K. , 沙穆克什 , SHAH, MUKESH , 哈佛斯坦克爾溫 , HOVERSTEN, KERWIN , 阿倫斯鮑伯 , AHRENS, BOB , 莫拉馬科 , MORA, MARCO
IPC分类号： G05B19/4065
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/31202 , G05B2219/45031 , G05B2219/50185
摘要：半導體機具保養操作整合於行動裝置上可使技術人員更準確地進行半導體機具保養，並允許更準確的數據分析以改善保養程序，使其更為可重複、一致、及有效率的。經由可攜式電子設備對半導體機具之保養操作進行遠端控制可減少維修半導體機具所需的時間，且因此提高產能。
简体摘要：半导体机具保养操作集成于行动设备上可使技术人员更准确地进行半导体机具保养，并允许更准确的数据分析以改善保养进程，使其更为可重复、一致、及有效率的。经由可携式电子设备对半导体机具之保养操作进行远程控制可减少维修半导体机具所需的时间，且因此提高产能。

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