专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201842620A 具有改良的處理均勻性之基板支撐件审中-公开
简体标题：具有改良的处理均匀性之基板支撑件
公开(公告)号：TW201842620A
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW107100004
申请日：2018-01-02
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：郝芳莉 , HAO, FANGLI , 付越虹 , FU, YUEHONG , 陳志剛 , CHEN, ZHIGANG
IPC分类号： H01L21/683
摘要：一種基板支撐件，其用以在基板處理系統中支撐基板，該基板支撐件包含一底板、及配置在該底板上方的一陶瓷層。該陶瓷層之外周邊係被一邊緣環所圍繞。該陶瓷層之外半徑係較該邊緣環之內半徑更大，使得該陶瓷層之外邊緣在該邊緣環下方延伸。
简体摘要：一种基板支撑件，其用以在基板处理系统中支撑基板，该基板支撑件包含一底板、及配置在该底板上方的一陶瓷层。该陶瓷层之外周边系被一边缘环所围绕。该陶瓷层之外半径系较该边缘环之内半径更大，使得该陶瓷层之外边缘在该边缘环下方延伸。

2. 发明专利

TW201843763A 無螺栓基板支撐組件审中-公开
简体标题：无螺栓基板支撑组件
公开(公告)号：TW201843763A
公开(公告)日：2018-12-16
申请号：TW107107350
申请日：2018-03-06
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：郝芳莉 , HAO, FANGLI , 付越虹 , FU, YUEHONG , 陳志剛 , CHEN, ZHIGANG
IPC分类号： H01L21/683
摘要：一種基板支座包含一導電性底板，其係配置以支撐一陶瓷層。該導電性底板包含第一腔穴，該第一腔穴沿著垂直於由該導電性底板所界定之水平面的一軸線延伸。一耦合組件係配置於該第一腔穴內。該耦合組件包含一齒輪，其係配置以繞著該軸線轉動。一銷件係配置於該第一腔穴內，該銷件沿著該軸線延伸通過該齒輪並進入在該導電性底板下方的第二腔穴。該齒輪之轉動使得該銷件相對於該導電性底板而向上或向下移動。當該齒輪被轉動以使該銷件向下移動進入該第二腔穴時，該銷件係固持於該第二腔穴內。
简体摘要：一种基板支座包含一导电性底板，其系配置以支撑一陶瓷层。该导电性底板包含第一腔穴，该第一腔穴沿着垂直于由该导电性底板所界定之水平面的一轴线延伸。一耦合组件系配置于该第一腔穴内。该耦合组件包含一齿轮，其系配置以绕着该轴线转动。一销件系配置于该第一腔穴内，该销件沿着该轴线延伸通过该齿轮并进入在该导电性底板下方的第二腔穴。该齿轮之转动使得该销件相对于该导电性底板而向上或向下移动。当该齿轮被转动以使该销件向下移动进入该第二腔穴时，该销件系固持于该第二腔穴内。

3. 发明专利

TW201842610A 用以降低發弧的氦插塞設計审中-公开
简体标题：用以降低发弧的氦插塞设计
公开(公告)号：TW201842610A
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW107105728
申请日：2018-02-21
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：郝芳莉 , HAO, FANGLI , 付越虹 , FU, YUEHONG , 陳志剛 , CHEN, ZHIGANG
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683
摘要：基板支撐件包括底板、設置在底板上的陶瓷層、設置在底板與陶瓷層之間的第一間隙中之接合層、穿過底板及接合層及陶瓷層而形成的通道、以及設置在通道中的插塞。插塞包括設置在底板中的下部及設置在陶瓷層中的上部。下部包括袋狀部及包圍袋狀部的側壁。上部延伸至陶瓷層及第一間隙之下並進入袋狀部之內，下部的側壁與上部部分重疊，且在上部與下部之間的第二間隙係位在第一間隙下方的下部的袋狀部之中。
简体摘要：基板支撑件包括底板、设置在底板上的陶瓷层、设置在底板与陶瓷层之间的第一间隙中之接合层、穿过底板及接合层及陶瓷层而形成的信道、以及设置在信道中的插塞。插塞包括设置在底板中的下部及设置在陶瓷层中的上部。下部包括袋状部及包围袋状部的侧壁。上部延伸至陶瓷层及第一间隙之下并进入袋状部之内，下部的侧壁与上部部分重叠，且在上部与下部之间的第二间隙系位在第一间隙下方的下部的袋状部之中。

4. 发明专利

TW201834139A 具有小間隙之銷升降器組件审中-公开
简体标题：具有小间隙之销升降器组件
公开(公告)号：TW201834139A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106135235
申请日：2017-10-16
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：郝芳莉 , HAO, FANGLI , 付越虹 , FU, YUEHONG
IPC分类号： H01L21/687
摘要：一種銷升降器組件，用於一基板處理系統中的一基板支撐件，該銷升降器組件包含：一升降銷，具有一軸、一上端部、及下端部；及一插入件，配置成圍繞該升降銷。該插入件界定在該插入件與該升降銷之間的一間隙。一夾持組件係圍繞該升降銷的該下端部而配置。該升降銷的該下端部係固定在該夾持組件內而使得該夾持組件防止該升降銷相對於該夾持組件之垂直運動。該夾持組件係配置成容許該升降銷的該下端部在夾持組件內之水平移動。
简体摘要：一种销升降器组件，用于一基板处理系统中的一基板支撑件，该销升降器组件包含：一升降销，具有一轴、一上端部、及下端部；及一插入件，配置成围绕该升降销。该插入件界定在该插入件与该升降销之间的一间隙。一夹持组件系围绕该升降销的该下端部而配置。该升降销的该下端部系固定在该夹持组件内而使得该夹持组件防止该升降销相对于该夹持组件之垂直运动。该夹持组件系配置成容许该升降销的该下端部在夹持组件内之水平移动。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式