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    • 7. 发明专利
    • 背面通道蝕刻金屬氧化物薄膜電晶體及製程
    • 背面信道蚀刻金属氧化物薄膜晶体管及制程
    • TW201403799A
    • 2014-01-16
    • TW102121210
    • 2013-06-14
    • 蘋果公司APPLE INC.
    • 洪銘欽HUNG, MING CHIN張世昌CHANG, SHIH CHANG古塔 維蘇哈GUPTA, VASUDHA朴英培PARK, YOUNG BAE
    • H01L27/12H01L51/56H01L27/32
    • H01L51/56H01L27/3248H01L27/3265H01L27/3272H01L27/3276H01L2227/323
    • 本發明提供一種用於製造一有機發光二極體(OLED)顯示器之方法。該方法包括形成一薄膜電晶體(TFT)基板,該薄膜電晶體(TFT)基板包括一第一金屬層及一第二金屬層。該方法亦包括在該第二金屬層之上沈積一第一鈍化層,及在一通道區域及一儲存電容器區域之上形成一第三金屬層。該第三金屬層經組態以連接至該第二金屬層之一第一部分,該第二金屬層經組態以在穿過一閘極絕緣體及該第一鈍化層之一第一通孔中連接至該第一金屬層。該方法進一步包括在該第三金屬層之上沈積一第二鈍化層,及在該第二鈍化層之上形成一陽極層。該陽極經組態以連接至該第三金屬層之一第二部分,該第三金屬層經組態以在該第一鈍化層及該第二鈍化層之一第二通孔中連接至該第二金屬層。
    • 本发明提供一种用于制造一有机发光二极管(OLED)显示器之方法。该方法包括形成一薄膜晶体管(TFT)基板,该薄膜晶体管(TFT)基板包括一第一金属层及一第二金属层。该方法亦包括在该第二金属层之上沉积一第一钝化层,及在一信道区域及一存储电容器区域之上形成一第三金属层。该第三金属层经组态以连接至该第二金属层之一第一部分,该第二金属层经组态以在穿过一闸极绝缘体及该第一钝化层之一第一通孔中连接至该第一金属层。该方法进一步包括在该第三金属层之上沉积一第二钝化层,及在该第二钝化层之上形成一阳极层。该阳极经组态以连接至该第三金属层之一第二部分,该第三金属层经组态以在该第一钝化层及该第二钝化层之一第二通孔中连接至该第二金属层。