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1. 发明专利

TW201802461A 藉由雷射都卜勒效應以檢測用於微電子或光學的晶圓之方法與系統审中-公开
简体标题：借由激光都卜勒效应以检测用于微电子或光学的晶圆之方法与系统
公开(公告)号：TW201802461A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106110548
申请日：2017-03-29
申请人：統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
发明人：格斯塔多飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE , 杜瑞恩德迪濟維格尼馬耶爾 , DURAND DE GEVIGNEY, MAYEUL , 寇慢拜耳特瑞史坦恩 , COMBIER, TRISTAN
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806
摘要：本發明係關於一種用以檢測用於微電子、光學或光電子學的晶圓(2)之方法，其包含：- 關於垂直於該晶圓的一個主表面(S)之一個對稱軸(X)而轉動晶圓(2)；- 從其和一個干涉測量裝置(30)為耦合的一個光源(20)而發出二個入射的光束，以便在該二束之間的相交處而形成含有干涉條紋之一個測量容體(V)，經配置以使得該晶圓的主表面(S)的一個區域係通過該測量容體的至少一個條紋，朝晶圓的一個徑向方向之該測量容體的尺度(Dy)係包含在5與100μm之間；- 收集由晶圓的該區域所散射之至少一部分的光線；- 取得該收集的光線，且發出一個電氣訊號，其代表該收集的光線之光強度的變化而為時間的一個函數；- 在該訊號中偵測在該收集的光線中之一個頻率分量，該頻率係通過該測量容體之一個缺陷的時間表徵。
简体摘要：本发明系关于一种用以检测用于微电子、光学或光电子学的晶圆(2)之方法，其包含：- 关于垂直于该晶圆的一个主表面(S)之一个对称轴(X)而转动晶圆(2)；- 从其和一个干涉测量设备(30)为耦合的一个光源(20)而发出二个入射的光束，以便在该二束之间的相交处而形成含有干涉条纹之一个测量容体(V)，经配置以使得该晶圆的主表面(S)的一个区域系通过该测量容体的至少一个条纹，朝晶圆的一个径向方向之该测量容体的尺度(Dy)系包含在5与100μm之间；- 收集由晶圆的该区域所散射之至少一部分的光线；- 取得该收集的光线，且发出一个电气信号，其代表该收集的光线之光强度的变化而为时间的一个函数；- 在该信号中侦测在该收集的光线中之一个频率分量，该频率系通过该测量容体之一个缺陷的时间表征。

2. 发明专利

TW201802433A 積體彩色共焦感測器审中-公开
简体标题：积体彩色共焦传感器
公开(公告)号：TW201802433A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109936
申请日：2017-03-24
申请人：統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
发明人：格斯塔多飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE
IPC分类号： G01B11/24 , G02B21/00 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01B11/022 , G01B11/0608 , G01B11/22 , G01B11/245 , G01B2210/50 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/18 , G01J3/453 , G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N2201/063 , G01N2201/0833 , G01N2201/105 , G02B21/0064 , H01L22/12
摘要：本發明係關於一種共焦彩色裝置，其係包括：至少一具有一擴大的軸向的色差之色差透鏡(13)；至少一寬頻光源(19)；至少一光學偵測裝置(20、21)；以及至少一量測通道(24)，該量測通道(24)係具有一利用一平面波導光學技術所做成的平面的Y形接頭(18)，並且被配置以用於傳遞來自該至少一光源(19)的光朝向該至少一色差透鏡(13)，並且用於傳遞透過該至少一色差透鏡(13)而被反射回來的光朝向該至少一光學偵測裝置(20、21)。
简体摘要：本发明系关于一种共焦彩色设备，其系包括：至少一具有一扩大的轴向的色差之色差透镜(13)；至少一宽带光源(19)；至少一光学侦测设备(20、21)；以及至少一量测信道(24)，该量测信道(24)系具有一利用一平面波导光学技术所做成的平面的Y形接头(18)，并且被配置以用于传递来自该至少一光源(19)的光朝向该至少一色差透镜(13)，并且用于传递透过该至少一色差透镜(13)而被反射回来的光朝向该至少一光学侦测设备(20、21)。

3. 发明专利

TW201802432A 用於諸如晶圓之物件之2D/3D檢測之具有可變空間解析度的彩色共焦裝置及方法审中-公开
简体标题：用于诸如晶圆之对象之2D/3D检测之具有可变空间分辨率的彩色共焦设备及方法
公开(公告)号：TW201802432A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109934
申请日：2017-03-24
申请人：統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
发明人：費瑞絲括特吉里斯 , FRESQUET, GILLES , 寇提維黎艾倫 , COURTEVILLE, ALAIN , 格斯塔多飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE
IPC分类号： G01B11/24 , G02B21/00 , G01N21/956 , G01N21/88 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/8806 , G01B11/24 , G01B2210/50 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06 , G02B21/0032 , G02B21/0064 , H01L22/12
摘要：本發明係有關於一種用於檢測一例如是晶圓的物件(10)的表面之共焦彩色裝置，其係包括複數個具有採集孔徑(14)的光學量測通道，該些採集孔徑(14)係被配置以用於透過一色差透鏡(13)來採集在複數個量測點(15)被該物件(10)所反射的光、以及一放大透鏡(31)，其係被配置以用於在該些採集孔徑(14)以及該些量測點(15)的空間的再區分之間引入一可變或是可改變的縮放因數。本發明亦有關於一種用於檢測一例如是包括三維的結構(11)的晶圓的物件(10)的表面之方法。
简体摘要：本发明系有关于一种用于检测一例如是晶圆的对象(10)的表面之共焦彩色设备，其系包括复数个具有采集孔径(14)的光学量测信道，该些采集孔径(14)系被配置以用于透过一色差透镜(13)来采集在复数个量测点(15)被该对象(10)所反射的光、以及一放大透镜(31)，其系被配置以用于在该些采集孔径(14)以及该些量测点(15)的空间的再区分之间引入一可变或是可改变的缩放因子。本发明亦有关于一种用于检测一例如是包括三维的结构(11)的晶圆的对象(10)的表面之方法。

4. 发明专利

TW201802434A 用於諸如晶圓之物件之２Ｄ／３Ｄ檢測的方法审中-公开
简体标题：用于诸如晶圆之对象之２Ｄ／３Ｄ检测的方法
公开(公告)号：TW201802434A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109937
申请日：2017-03-24
申请人：統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
发明人：費瑞絲括特吉里斯 , FRESQUET, GILLES , 寇提維黎艾倫 , COURTEVILLE, ALAIN , 格斯塔多飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE
IPC分类号： G01B11/24 , G02B21/00 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01B11/022 , G01B11/0608 , G01B11/22 , G01B11/245 , G01B2210/50 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/18 , G01J3/453 , G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N2201/063 , G01N2201/0833 , G01N2201/105 , G02B21/0064 , H01L22/12
摘要：本發明係有關於一種用於檢測一例如是一包括三維的結構(11)的晶圓的物件(10)的表面之方法，其係利用一具有複數個光學量測通道(24)以及一色差透鏡(13)的共焦彩色裝置，該色差透鏡(13)係容許一寬頻光源(19)的光波長能夠聚焦在界定一彩色量測範圍的不同的軸向距離處，該方法係包括一步驟為藉由量測在由具有一共焦的配置的該些光學量測通道(24)的至少某些個所採集的光的整個頻譜上的一總強度，以在該物件(10)上的複數個量測點(15)獲得一對應於實際聚焦在該彩色量測範圍之內的該物件(10)的一介面上的光的強度之強度資訊。
简体摘要：本发明系有关于一种用于检测一例如是一包括三维的结构(11)的晶圆的对象(10)的表面之方法，其系利用一具有复数个光学量测信道(24)以及一色差透镜(13)的共焦彩色设备，该色差透镜(13)系容许一宽带光源(19)的光波长能够聚焦在界定一彩色量测范围的不同的轴向距离处，该方法系包括一步骤为借由量测在由具有一共焦的配置的该些光学量测信道(24)的至少某些个所采集的光的整个频谱上的一总强度，以在该对象(10)上的复数个量测点(15)获得一对应于实际聚焦在该彩色量测范围之内的该对象(10)的一界面上的光的强度之强度信息。

5. 发明专利

TW201800718A 用於諸如晶圓之物件之2D/3D檢測的彩色共焦裝置及方法审中-公开
简体标题：用于诸如晶圆之对象之2D/3D检测的彩色共焦设备及方法
公开(公告)号：TW201800718A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106109930
申请日：2017-03-24
申请人：統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
发明人：費瑞絲括特吉里斯 , FRESQUET, GILLES , 寇提維黎艾倫 , COURTEVILLE, ALAIN , 格斯塔多飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE
IPC分类号： G01B11/22 , G01B11/24 , G01J3/02 , G01N21/88 , G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9501 , G01B11/022 , G01B11/0608 , G01B11/22 , G01B11/245 , G01B2210/50 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/18 , G01J3/453 , G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N2201/063 , G01N2201/0833 , G01N2201/105 , G02B21/0064 , H01L22/12
摘要：本發明係有關於一種用於檢測一例如是晶圓的物件(10)的表面之共焦彩色裝置，其係包括複數個具有採集孔徑(14)的光學量測通道(24)，該些採集孔徑(14)係被配置以用於透過一色差透鏡(13)來採集在複數個量測點(15)被該物件(10)所反射的光，該複數個光學量測通道(24)係包括具有一用於量測該採集到的光的一總強度的強度偵測器(20)的光學量測通道(24)。本發明亦有關於一種用於檢測一例如是包括三維的結構(11)的晶圓的物件(10)的表面之方法。
简体摘要：本发明系有关于一种用于检测一例如是晶圆的对象(10)的表面之共焦彩色设备，其系包括复数个具有采集孔径(14)的光学量测信道(24)，该些采集孔径(14)系被配置以用于透过一色差透镜(13)来采集在复数个量测点(15)被该对象(10)所反射的光，该复数个光学量测信道(24)系包括具有一用于量测该采集到的光的一总强度的强度侦测器(20)的光学量测信道(24)。本发明亦有关于一种用于检测一例如是包括三维的结构(11)的晶圆的对象(10)的表面之方法。

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