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    • 5. 发明专利
    • 半導體裝置的製造方法
    • 半导体设备的制造方法
    • TW201826405A
    • 2018-07-16
    • TW106127072
    • 2017-08-10
    • 日商琳得科股份有限公司LINTEC CORPORATION
    • 篠田智則SHINODA, TOMONORI根本拓NEMOTO, TAKU中西勇人NAKANISHI, HAYATO
    • H01L21/52H01L21/56C09J201/00
    • 一種半導體裝置的製造方法,其特徵為包含:   將元件背面(W2)朝向黏著劑層,使具有電路面(W1)及前述元件背面(W2)之複數的半導體元件貼著於具有前述黏著劑層的支撐基板(10)的前述黏著劑層之工程;   將被貼著於支撐基板(10)的前述半導體元件密封,而形成密封體(3)之工程;   將外部端子電極形成於密封體(3),而使被貼著於支撐基板(10)的前述半導體元件與前述外部端子電極電性連接之工程;   在使前述半導體元件與前述外部端子電極電性連接之後,從密封體(3)剝離支撐基板(10),而使前述半導體元件的元件背面(W2)露出之工程;   在露出的前述半導體元件的元件背面(W2)形成硬化性的保護膜形成層之工程;及   使前述保護膜形成層硬化而形成保護膜之工程。
    • 一种半导体设备的制造方法,其特征为包含:   将组件背面(W2)朝向黏着剂层,使具有电路面(W1)及前述组件背面(W2)之复数的半导体组件贴着于具有前述黏着剂层的支撑基板(10)的前述黏着剂层之工程;   将被贴着于支撑基板(10)的前述半导体组件密封,而形成密封体(3)之工程;   将外部端子电极形成于密封体(3),而使被贴着于支撑基板(10)的前述半导体组件与前述外部端子电极电性连接之工程;   在使前述半导体组件与前述外部端子电极电性连接之后,从密封体(3)剥离支撑基板(10),而使前述半导体组件的组件背面(W2)露出之工程;   在露出的前述半导体组件的组件背面(W2)形成硬化性的保护膜形成层之工程;及   使前述保护膜形成层硬化而形成保护膜之工程。