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热词
    • 1. 发明专利
    • 半導體裝置的製造方法
    • 半导体设备的制造方法
    • TW201826405A
    • 2018-07-16
    • TW106127072
    • 2017-08-10
    • 日商琳得科股份有限公司LINTEC CORPORATION
    • 篠田智則SHINODA, TOMONORI根本拓NEMOTO, TAKU中西勇人NAKANISHI, HAYATO
    • H01L21/52H01L21/56C09J201/00
    • 一種半導體裝置的製造方法,其特徵為包含:   將元件背面(W2)朝向黏著劑層,使具有電路面(W1)及前述元件背面(W2)之複數的半導體元件貼著於具有前述黏著劑層的支撐基板(10)的前述黏著劑層之工程;   將被貼著於支撐基板(10)的前述半導體元件密封,而形成密封體(3)之工程;   將外部端子電極形成於密封體(3),而使被貼著於支撐基板(10)的前述半導體元件與前述外部端子電極電性連接之工程;   在使前述半導體元件與前述外部端子電極電性連接之後,從密封體(3)剝離支撐基板(10),而使前述半導體元件的元件背面(W2)露出之工程;   在露出的前述半導體元件的元件背面(W2)形成硬化性的保護膜形成層之工程;及   使前述保護膜形成層硬化而形成保護膜之工程。
    • 一种半导体设备的制造方法,其特征为包含:   将组件背面(W2)朝向黏着剂层,使具有电路面(W1)及前述组件背面(W2)之复数的半导体组件贴着于具有前述黏着剂层的支撑基板(10)的前述黏着剂层之工程;   将被贴着于支撑基板(10)的前述半导体组件密封,而形成密封体(3)之工程;   将外部端子电极形成于密封体(3),而使被贴着于支撑基板(10)的前述半导体组件与前述外部端子电极电性连接之工程;   在使前述半导体组件与前述外部端子电极电性连接之后,从密封体(3)剥离支撑基板(10),而使前述半导体组件的组件背面(W2)露出之工程;   在露出的前述半导体组件的组件背面(W2)形成硬化性的保护膜形成层之工程;及   使前述保护膜形成层硬化而形成保护膜之工程。
    • 7. 发明专利
    • 切割片及裝置晶片之製造方法
    • 切割片及设备芯片之制造方法
    • TW201408750A
    • 2014-03-01
    • TW102116980
    • 2013-05-14
    • 琳得科股份有限公司LINTEC CORPORATION
    • 中西勇人NAKANISHI, HAYATO西田卓生NISHIDA, TAKUO
    • C09J7/02H01L21/304
    • C09J133/00C09J4/06C09J7/385C09J2203/326
    • 本發明提供,切割片1,其係即使裝置相關構件的表面,特別是裝置相關非平坦面構件之非平坦面為被著面之情形,亦可具有優良的黏著性之黏著劑層,且不容易發生基於黏著劑團聚物之異常之切割片,其包括:基材2;及黏著劑層3,其係層積於上述基材2之至少一方的面之切割片1,黏著劑層3,係由含有丙烯酸系聚合物(A)及能量線聚合性化合物(B)之黏著劑組成物所形成者,上述黏著劑層之厚度為25μm以下,在於上述黏著劑層在於能量線照射之前之23℃之儲存彈性模數為0.12MPa以下,且將上述黏著劑層3之能量線照射前之保持力之測定試驗,遵照JIS Z0237:2009進行時所測定之保持時間為15000秒以上,亦提供使用該切割片1之裝置晶片之製造方法。
    • 本发明提供,切割片1,其系即使设备相关构件的表面,特别是设备相关非平坦面构件之非平坦面为被着面之情形,亦可具有优良的黏着性之黏着剂层,且不容易发生基于黏着剂团聚物之异常之切割片,其包括:基材2;及黏着剂层3,其系层积于上述基材2之至少一方的面之切割片1,黏着剂层3,系由含有丙烯酸系聚合物(A)及能量线聚合性化合物(B)之黏着剂组成物所形成者,上述黏着剂层之厚度为25μm以下,在于上述黏着剂层在于能量线照射之前之23℃之存储弹性模数为0.12MPa以下,且将上述黏着剂层3之能量线照射前之保持力之测定试验,遵照JIS Z0237:2009进行时所测定之保持时间为15000秒以上,亦提供使用该切割片1之设备芯片之制造方法。