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    • 5. 发明专利
    • 顯微鏡及試料觀察方法 MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
    • 显微镜及试料观察方法 MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
    • TWI363867B
    • 2012-05-11
    • TW094105722
    • 2005-02-25
    • 濱松赫德尼古斯股份有限公司
    • 寺田浩敏荒田育男常盤正治田邊浩坂本繁
    • G01NH01L
    • G02B21/0016G02B21/33Y10S359/90
    • 一種顯微鏡及試料觀察方法,對於檢查對象之半導體裝置S,設置:圖像取得部1、包含對物透鏡20的光學系統2、及可在包含從半導體裝置S朝向對物透鏡20之光軸之插入位置及偏離光軸的等待位置之間移動的固態沈浸透鏡(SIL)3。而且,以2個控制模式進行觀察:第1模式,將SIL3來配置在等待位置,根據半導體裝置S之基板的折射率n0及厚度t0,修正焦點及像差;及第2模式,將SIL3配置在插入位置,根據基板的折射率n0、厚度t0、SIL3之折射率n1、厚度d1及曲率半徑R1,修正焦點及像差。藉此,可獲得一種顯微鏡及試料觀察方法,對半導體裝置的微細構造解析等可容易地進行必要之試料觀察。
    • 一种显微镜及试料观察方法,对于检查对象之半导体设备S,设置:图像取得部1、包含对物透镜20的光学系统2、及可在包含从半导体设备S朝向对物透镜20之光轴之插入位置及偏离光轴的等待位置之间移动的固态沈浸透镜(SIL)3。而且,以2个控制模式进行观察:第1模式,将SIL3来配置在等待位置,根据半导体设备S之基板的折射率n0及厚度t0,修正焦点及像差;及第2模式,将SIL3配置在插入位置,根据基板的折射率n0、厚度t0、SIL3之折射率n1、厚度d1及曲率半径R1,修正焦点及像差。借此,可获得一种显微镜及试料观察方法,对半导体设备的微细构造解析等可容易地进行必要之试料观察。
    • 6. 发明专利
    • 固浸透鏡保持器 HOLDER FOR THE SUPPORT OF A SOLID IMMERSIBLE LENS
    • 固浸透镜保持器 HOLDER FOR THE SUPPORT OF A SOLID IMMERSIBLE LENS
    • TWI370243B
    • 2012-08-11
    • TW093132877
    • 2004-10-29
    • 濱松赫德尼古斯股份有限公司
    • 田邊浩荒田育男寺田浩敏
    • G01N
    • G02B7/14G02B21/33
    • 本發明係做成具備有:使固浸透鏡3之底面通過開口9b,而使固浸透鏡3朝向自重方向被支持之保持器9的構成。因而,固浸透鏡3被載置於觀察對象物之時,做成由該觀察對象物而將固浸透鏡3提上之狀態,而對保持器9做成自由的狀態。並且,此時,做成不會對觀察對象物施加過度的壓力,並且,固浸透鏡緊密地(倣效)密著於觀察對象物上,而且,保持器9側或觀察對象物側之溫度飄移可對相反側切斷,因而可消除溫度飄移造成的影響。因而,可獲得不會對觀察對象物造成損傷,並且可進行高精度觀察之固浸透鏡。
    • 本发明系做成具备有:使固浸透镜3之底面通过开口9b,而使固浸透镜3朝向自重方向被支持之保持器9的构成。因而,固浸透镜3被载置于观察对象物之时,做成由该观察对象物而将固浸透镜3提上之状态,而对保持器9做成自由的状态。并且,此时,做成不会对观察对象物施加过度的压力,并且,固浸透镜紧密地(仿效)密着于观察对象物上,而且,保持器9侧或观察对象物侧之温度飘移可对相反侧切断,因而可消除温度飘移造成的影响。因而,可获得不会对观察对象物造成损伤,并且可进行高精度观察之固浸透镜。