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1. 发明专利

TWI437262B 觀察裝置及方法有权
简体标题：观察设备及方法
公开(公告)号：TWI437262B
公开(公告)日：2014-05-11
申请号：TW097123222
申请日：2008-06-20
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：寺田浩敏 , TERADA, HIROTOSHI , 田邊浩 , TANABE, HIROSHI
IPC分类号： G02B15/02 , G02B3/12
CPC分类号： G02B21/0016 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/248 , G02B21/33

2. 发明专利

TWI437305B 固態浸沒式透鏡保持器有权
简体标题：固态浸没式透镜保持器
公开(公告)号：TWI437305B
公开(公告)日：2014-05-11
申请号：TW097122762
申请日：2008-06-18
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：寺田浩敏 , TERADA, HIROTOSHI , 田邊浩 , TANABE, HIROSHI
IPC分类号： G02B7/04 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248

3. 发明专利

TWI399574B 固浸透鏡支持器有权
简体标题：固浸透镜支持器
公开(公告)号：TWI399574B
公开(公告)日：2013-06-21
申请号：TW095101861
申请日：2006-01-18
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：磯部良雄 , ISOBE, YOSHIO , 田邊浩 , TANABE, HIROSHI , 荒田育男 , ARATA, IKUO
IPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
CPC分类号： G02B7/02 , G02B21/02

4. 发明专利

TWI408433B 物鏡座有权
简体标题：物镜座
公开(公告)号：TWI408433B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：TW095101860
申请日：2006-01-18
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：磯部良雄 , ISOBE, YOSHIO , 荒田育男 , ARATA, IKUO , 田邊浩 , TANABE, HIROSHI
IPC分类号： G02B7/02 , G01N21/01
CPC分类号： G02B21/02 , G02B7/02 , G02B21/33

5. 发明专利

TWI363867B 顯微鏡及試料觀察方法 MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD 有权
简体标题：显微镜及试料观察方法 MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
公开(公告)号：TWI363867B
公开(公告)日：2012-05-11
申请号：TW094105722
申请日：2005-02-25
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司
发明人：寺田浩敏 , 荒田育男 , 常盤正治 , 田邊浩 , 坂本繁
IPC分类号： G01N , H01L
CPC分类号： G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
摘要：一種顯微鏡及試料觀察方法，對於檢查對象之半導體裝置S，設置：圖像取得部1、包含對物透鏡20的光學系統2、及可在包含從半導體裝置S朝向對物透鏡20之光軸之插入位置及偏離光軸的等待位置之間移動的固態沈浸透鏡(SIL)3。而且，以2個控制模式進行觀察：第1模式，將SIL3來配置在等待位置，根據半導體裝置S之基板的折射率n0及厚度t0，修正焦點及像差；及第2模式，將SIL3配置在插入位置，根據基板的折射率n0、厚度t0、SIL3之折射率n1、厚度d1及曲率半徑R1，修正焦點及像差。藉此，可獲得一種顯微鏡及試料觀察方法，對半導體裝置的微細構造解析等可容易地進行必要之試料觀察。
简体摘要：一种显微镜及试料观察方法，对于检查对象之半导体设备S，设置：图像取得部1、包含对物透镜20的光学系统2、及可在包含从半导体设备S朝向对物透镜20之光轴之插入位置及偏离光轴的等待位置之间移动的固态沈浸透镜(SIL)3。而且，以2个控制模式进行观察：第1模式，将SIL3来配置在等待位置，根据半导体设备S之基板的折射率n0及厚度t0，修正焦点及像差；及第2模式，将SIL3配置在插入位置，根据基板的折射率n0、厚度t0、SIL3之折射率n1、厚度d1及曲率半径R1，修正焦点及像差。借此，可获得一种显微镜及试料观察方法，对半导体设备的微细构造解析等可容易地进行必要之试料观察。

6. 发明专利

TWI370243B 固浸透鏡保持器 HOLDER FOR THE SUPPORT OF A SOLID IMMERSIBLE LENS 失效
简体标题：固浸透镜保持器 HOLDER FOR THE SUPPORT OF A SOLID IMMERSIBLE LENS
公开(公告)号：TWI370243B
公开(公告)日：2012-08-11
申请号：TW093132877
申请日：2004-10-29
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司
发明人：田邊浩 , 荒田育男 , 寺田浩敏
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33
摘要：本發明係做成具備有：使固浸透鏡3之底面通過開口9b，而使固浸透鏡3朝向自重方向被支持之保持器9的構成。因而，固浸透鏡3被載置於觀察對象物之時，做成由該觀察對象物而將固浸透鏡3提上之狀態，而對保持器9做成自由的狀態。並且，此時，做成不會對觀察對象物施加過度的壓力，並且，固浸透鏡緊密地(倣效)密著於觀察對象物上，而且，保持器9側或觀察對象物側之溫度飄移可對相反側切斷，因而可消除溫度飄移造成的影響。因而，可獲得不會對觀察對象物造成損傷，並且可進行高精度觀察之固浸透鏡。
简体摘要：本发明系做成具备有：使固浸透镜3之底面通过开口9b，而使固浸透镜3朝向自重方向被支持之保持器9的构成。因而，固浸透镜3被载置于观察对象物之时，做成由该观察对象物而将固浸透镜3提上之状态，而对保持器9做成自由的状态。并且，此时，做成不会对观察对象物施加过度的压力，并且，固浸透镜紧密地(仿效)密着于观察对象物上，而且，保持器9侧或观察对象物侧之温度飘移可对相反侧切断，因而可消除温度飘移造成的影响。因而，可获得不会对观察对象物造成损伤，并且可进行高精度观察之固浸透镜。

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