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1. 发明专利

TWI407098B 藉由一帶電粒子束對一樣本進行檢測的方法有权
简体标题：借由一带电粒子束对一样本进行检测的方法
公开(公告)号：TWI407098B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW099119919
申请日：2010-06-18
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：趙炎 , ZHAO, YAN , 招允家 , JAU, JACK , 方偉 , FANG, WEI
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2817

2. 发明专利

TW201013737A 連續式及跳躍式成像掃描之樣本表面電荷調節方法 METHOD FOR REGULATING SCANNING SAMPLE SURFACE CHARGE IN CONTINUOUS AND LEAP-AND-SCAN SCANNING MODE IMAGING PROCESS 审中-公开
简体标题：连续式及跳跃式成像扫描之样本表面电荷调节方法 METHOD FOR REGULATING SCANNING SAMPLE SURFACE CHARGE IN CONTINUOUS AND LEAP-AND-SCAN SCANNING MODE IMAGING PROCESS
公开(公告)号：TW201013737A
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：TW098130167
申请日：2009-09-08
申请人：漢民微測科技股份有限公司
发明人：汪蘇 , 招允家
IPC分类号： H01J
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/0044 , H01J2237/006 , H01J2237/2817
摘要：本發明提供一種樣本表面電荷之調節方法，其於樣本呈連續移動狀態或跳躍移動狀態時，發射一帶電粒子束於一第一區域，以及發射具有氣體分子之一泛射式帶能量束於一第二區域。第二區域就樣本之移動而言，係位於第一區域之前或之後一適當距離處。因此使樣本之表面電荷得到調節。
简体摘要：本发明提供一种样本表面电荷之调节方法，其于样本呈连续移动状态或跳跃移动状态时，发射一带电粒子束于一第一区域，以及发射具有气体分子之一泛射式带能量束于一第二区域。第二区域就样本之移动而言，系位于第一区域之前或之后一适当距离处。因此使样本之表面电荷得到调节。

3. 发明专利

TWI395945B 帶電粒子束成像方法與其系統有权
简体标题：带电粒子束成像方法与其系统
公开(公告)号：TWI395945B
公开(公告)日：2013-05-11
申请号：TW098145541
申请日：2009-12-29
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：趙炎 , ZHAO, YAN , 招允家 , JAU, JACK
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/21

4. 发明专利

TWI395944B 於一樣品之帶電粒子束檢測中判定缺陷之方法以及系統有权
简体标题：于一样品之带电粒子束检测中判定缺陷之方法以及系统
公开(公告)号：TWI395944B
公开(公告)日：2013-05-11
申请号：TW098145536
申请日：2009-12-29
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：張兆禮 , ZHANG, ZHAO-LI , 方偉 , FANG, WEI , 招允家 , JAU, JACK
IPC分类号： G01N23/225 , G06K9/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06T2207/30148

5. 发明专利

TW201028682A 帶電粒子束成像方法與其系統 CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING METHOD AND SYSTEM THEREOF 审中-公开
简体标题：带电粒子束成像方法与其系统 CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING METHOD AND SYSTEM THEREOF
公开(公告)号：TW201028682A
公开(公告)日：2010-08-01
申请号：TW098145541
申请日：2009-12-29
申请人：漢民微測科技股份有限公司
发明人：趙炎 , 招允家
IPC分类号： G01N
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/21
摘要：在至少一第一掃描線下，使用第一帶電粒子束探針以掃描樣本；在至少一第二掃描線下，使用第二帶電粒子束探針以掃描樣本，及在至少一第三掃描線下，使用第一帶電粒子束探針以掃描樣本。成像系統之控制模組，藉由調整成像系統之聚焦透鏡模組、物鏡模組、成像系統之樣本台或其組合，使第一或是第二帶電粒子束探針失焦。樣本的影像可選擇由第一、第二及第三掃描線的掃描所形成。第一及第二帶電粒子束在樣本表面分別感應出第一及第二帶電狀態。第二帶電狀態可強化、緩和、抵銷第一帶電狀態，反轉帶電狀態的電荷極性的作用或者對第一帶電狀態不產生作用。
简体摘要：在至少一第一扫描线下，使用第一带电粒子束探针以扫描样本；在至少一第二扫描线下，使用第二带电粒子束探针以扫描样本，及在至少一第三扫描线下，使用第一带电粒子束探针以扫描样本。成像系统之控制模块，借由调整成像系统之聚焦透镜模块、物镜模块、成像系统之样本台或其组合，使第一或是第二带电粒子束探针失焦。样本的影像可选择由第一、第二及第三扫描线的扫描所形成。第一及第二带电粒子束在样本表面分别感应出第一及第二带电状态。第二带电状态可强化、缓和、抵销第一带电状态，反转带电状态的电荷极性的作用或者对第一带电状态不产生作用。

6. 发明专利

TWI388822B 於利用帶電粒子束成像之樣品檢測中判定缺陷之方法以及系統有权
简体标题：于利用带电粒子束成像之样品检测中判定缺陷之方法以及系统
公开(公告)号：TWI388822B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW098143591
申请日：2009-12-18
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：方偉 , FANG, WEI , 招允家 , JAU, JACK
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G06K9/627 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J2237/221 , H01J2237/2817

7. 发明专利

TW201037755A 帶電粒子束成像裝置與其方法 CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING ASSEMBLY AND IMAGING METHOD THEREOF 审中-公开
简体标题：带电粒子束成像设备与其方法 CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING ASSEMBLY AND IMAGING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TW201037755A
公开(公告)日：2010-10-16
申请号：TW098145546
申请日：2009-12-29
申请人：漢民微測科技股份有限公司
发明人：方偉 , 招允家 , 趙炎
IPC分类号： H01J , G01N
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/004 , H01J2237/0044 , H01J2237/0048
摘要：本發明揭露增效帶電粒子束顯微鏡影像品質之方法，其影像是帶電粒子束成像系統所形成之影像。本方法包含利用第一掃描電子束在至少一第一掃描線上掃描樣品之表面，利用第二掃描電子束在至少一第二掃描線上掃描樣品之表面，其中該第二掃描電子束係於第一掃描線之尾端與下一第一掃描線之開端期間，掃描樣品之表面。同時揭示應用帶電粒子束成像系統本發明所提議之方法。
简体摘要：本发明揭露增效带电粒子束显微镜影像品质之方法，其影像是带电粒子束成像系统所形成之影像。本方法包含利用第一扫描电子束在至少一第一扫描在线扫描样品之表面，利用第二扫描电子束在至少一第二扫描在线扫描样品之表面，其中该第二扫描电子束系于第一扫描线之尾端与下一第一扫描线之开端期间，扫描样品之表面。同时揭示应用带电粒子束成像系统本发明所提议之方法。

8. 发明专利

TW201024719A 於利用帶電粒子束成像之樣品檢測中判定缺陷之方法以及系統 METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING A DEFECT DURING SAMPLE INSPECTION INVOLVING CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING 审中-公开
简体标题：于利用带电粒子束成像之样品检测中判定缺陷之方法以及系统 METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING A DEFECT DURING SAMPLE INSPECTION INVOLVING CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING
公开(公告)号：TW201024719A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：TW098143591
申请日：2009-12-18
申请人：漢民微測科技股份有限公司
发明人：方偉 , 招允家
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G06K9/627 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J2237/221 , H01J2237/2817
摘要：一種於利用帶電粒子束成像之樣品檢測中判定缺陷之方法，係轉換一目標帶電粒子顯微影像以及每一相對應的參考帶電粒子顯微影像成為多個特徵影像，並互相比較特徵影像。每一特徵影像擷取並強調目標影像以及特徵皆具備的一特定特徵。相同運算器所產生的多個特徵影像彼此相同。評估相對應特徵影像間的距離。基於評估的距離，比較目標影像以及參考影像間之距離以判定目標帶電粒子顯微影像存在缺陷。
简体摘要：一种于利用带电粒子束成像之样品检测中判定缺陷之方法，系转换一目标带电粒子显微影像以及每一相对应的参考带电粒子显微影像成为多个特征影像，并互相比较特征影像。每一特征影像截取并强调目标影像以及特征皆具备的一特定特征。相同运算器所产生的多个特征影像彼此相同。评估相对应特征影像间的距离。基于评估的距离，比较目标影像以及参考影像间之距离以判定目标带电粒子显微影像存在缺陷。

9. 发明专利

TWI417927B 樣本表面電荷調節方法、帶電粒子束成像組件及掃描電子顯微鏡有权
简体标题：样本表面电荷调节方法、带电粒子束成像组件及扫描电子显微镜
公开(公告)号：TWI417927B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW098130167
申请日：2009-09-08
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES-MICROVISION, INC.
发明人：汪蘇 , WANG, JOE , 招允家 , JAU, JACK
IPC分类号： H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/0044 , H01J2237/006 , H01J2237/2817

10. 发明专利

TWI412055B 帶電粒子束成像系統與方法有权
简体标题：带电粒子束成像系统与方法
公开(公告)号：TWI412055B
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：TW098145546
申请日：2009-12-29
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：方偉 , FANG, WEI , 招允家 , JAU, JACK , 趙炎 , ZHAO, YAN
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/225
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/004 , H01J2237/0044 , H01J2237/0048

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