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1. 发明专利

TW201719803A 基板托架审中-公开
公开(公告)号：TW201719803A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW105124487
申请日：2016-08-02
申请人：梅耶博格(德國)公司 , MEYER BURGER (GERMANY) AG
发明人：瑞斯克塞巴斯汀 , RASCHKE, SEBASTIAN , 安索治艾瑞克 , ANSORGE, ERIK , 柯爾莫高 , KEHR, MIRKO , 鮑恩克里斯汀 , BOEHM, CHRISTIAN
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67333 , H01L21/68735 , H01L21/68771
摘要：本發明涉及具有基板托架板的基板托架，其包含前側基板托架表面，在其上用於接收基板的至少一基板接收區域分別地被提供。本發明之目的係提供基板托架，其使得當以快速方式操作時，該基板之安全支撐與該基板從該基板托架之簡單、無損害移除，且能無需該基板之該些特性的減損或該基板處理。根據本發明目的被達成，其中該基板接收區域包含內部區域與運行在該內部區域周圍之外部區域，其中該外部區域包含相較於該內部區域之表面被升高的間隔平台，其用於支撐該基板的邊緣區域，其中通風通道在平台之間被提供。
简体摘要：本发明涉及具有基板托架板的基板托架，其包含前侧基板托架表面，在其上用于接收基板的至少一基板接收区域分别地被提供。本发明之目的系提供基板托架，其使得当以快速方式操作时，该基板之安全支撑与该基板从该基板托架之简单、无损害移除，且能无需该基板之该些特性的减损或该基板处理。根据本发明目的被达成，其中该基板接收区域包含内部区域与运行在该内部区域周围之外部区域，其中该外部区域包含相较于该内部区域之表面被升高的间隔平台，其用于支撑该基板的边缘区域，其中通风信道在平台之间被提供。

2. 发明专利

TW201729332A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201729332A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105124488
申请日：2016-08-02
申请人：梅耶博格(德國)公司 , MEYER BURGER (GERMANY) AG
发明人：瑞斯克塞巴斯汀 , RASCHKE, SEBASTIAN , 安索治艾瑞克 , ANSORGE, ERIK , 柯爾莫高 , KEHR, MIRKO , 鮑恩克里斯汀 , BOEHM, CHRISTIAN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324
CPC分类号： C23C16/4581 , C23C16/46 , H01L21/67109
摘要：本發明係涉及藉由使用板狀基板托架和被安排平行於該基板托架之至少一板狀回火裝置處理基板之基板處理設備，其中該基板托架包含用於支撐至少一層狀基板的基板托架前側和面對該回火裝置的基板托架背側。因而本發明之目的係提出能使得在該基板托架中的熱分佈盡可能地均勻的基板處理設備。根據本發明，其目的可藉由提供用於形成一距離在該基板托架和該回火裝置之間的至少一間隔元件於該基板托架背側和/或面對該基板托架之該回火裝置的表面上來達成。
简体摘要：本发明系涉及借由使用板状基板托架和被安排平行于该基板托架之至少一板状回火设备处理基板之基板处理设备，其中该基板托架包含用于支撑至少一层状基板的基板托架前侧和面对该回火设备的基板托架背侧。因而本发明之目的系提出能使得在该基板托架中的热分布尽可能地均匀的基板处理设备。根据本发明，其目的可借由提供用于形成一距离在该基板托架和该回火设备之间的至少一间隔组件于该基板托架背侧和/或面对该基板托架之该回火设备的表面上来达成。

3. 发明专利

TW201743403A 控制用於夾持或定位佈置於一基板載體上之基板之一裝置之方法及系統审中-公开
简体标题：控制用于夹持或定位布置于一基板载体上之基板之一设备之方法及系统
公开(公告)号：TW201743403A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106112944
申请日：2017-04-18
申请人：梅耶博格(德國)股份有限公司 , MEYER BURGER (GERMANY) AG
发明人：安索奇艾瑞克 , ANSORGE, ERIK , 玻姆克莉絲汀 , BOEHM, CHRISTIAN , 拉許克賽巴斯丁 , RASCHKE, SEBASTIAN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67248 , H01L21/681
摘要：本發明係關於一種控制用於夾持或定位在一基板載體上之至少一個基板之一裝置之方法。該基板載體由具有至少一個已知膨脹係數之一材料組成。在此方法中，最初在一已知第一溫度下判定由該基板載體之長度、寬度及/或高度組成之該基板載體之一第一參數集，以及該基板載體上之一基板參考點相對於該基板載體之一參考點之位置。隨後，在至少兩個雷射感測器之幫助下，在該基板載體之一未知第二溫度下判定由該基板載體之該長度、該寬度及/或該高度組成之一第二參數集，其中該等雷射感測器之兩者佈置於該基板載體之相對側上及一條雷射線上。當該基板載體在一第一位置中時，可在該經判定第二參數集及該至少一個膨脹係數之幫助下，在該未知第二溫度下精確判定該基板載體上之該基板參考點之該位置，使得可相應地控制該夾持或定位裝置。用於控制一夾持或定位裝置之發明系統包括對應於該方法之步驟之構件。
简体摘要：本发明系关于一种控制用于夹持或定位在一基板载体上之至少一个基板之一设备之方法。该基板载体由具有至少一个已知膨胀系数之一材料组成。在此方法中，最初在一已知第一温度下判定由该基板载体之长度、宽度及/或高度组成之该基板载体之一第一参数集，以及该基板载体上之一基板参考点相对于该基板载体之一参考点之位置。随后，在至少两个激光传感器之帮助下，在该基板载体之一未知第二温度下判定由该基板载体之该长度、该宽度及/或该高度组成之一第二参数集，其中该等激光传感器之两者布置于该基板载体之相对侧上及一条激光在线。当该基板载体在一第一位置中时，可在该经判定第二参数集及该至少一个膨胀系数之帮助下，在该未知第二温度下精确判定该基板载体上之该基板参考点之该位置，使得可相应地控制该夹持或定位设备。用于控制一夹持或定位设备之发明系统包括对应于该方法之步骤之构件。

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