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    • 3. 发明专利
    • 感光性樹脂組成物
    • 感光性树脂组成物
    • TW201543152A
    • 2015-11-16
    • TW104107850
    • 2015-03-12
    • 東麗股份有限公司TORAY INDUSTRIES, INC.
    • 池田芳史IKEDA, YOSHIFUMI藤田陽二FUJITA, YOJI
    • G03F7/004C08G73/06G03F7/022B05D1/40H01L21/027
    • G03F7/0233G03F7/0048G03F7/0226
    • 本發明係提供一種正型感光性樹脂組成物,其可使藉由旋轉塗布法塗布時基板面內之膜厚的均勻性提高。 其特徵為,含有:(a)選自以通式(1)所示之結構為主成分的樹脂、聚醯亞胺、聚苯并唑、及酚樹脂之至少1種樹脂;(b)醌二疊氮(quinone diazide)化合物;(c)界面活性劑;(d)有機溶劑,該(d)有機溶劑至少含有大氣壓下(d-1)沸點150℃以上且低於180℃之有機溶劑、及(d-2)沸點180℃以上且低於220℃之有機溶劑。 (上述通式(1)中,R1及R2係各自可相同也可不同,表示碳數2以上之2~8價的有機基;R3及R4係各自可相同也可不同,表示氫或碳數1~20之有機基;n表示10~100,000之範圍,m及f各自獨立表示0~2之整數,p及q各自獨立表示0~4之整數;惟,m+q≠0,p+q≠0)。
    • 本发明系提供一种正型感光性树脂组成物,其可使借由旋转涂布法涂布时基板面内之膜厚的均匀性提高。 其特征为,含有:(a)选自以通式(1)所示之结构为主成分的树脂、聚酰亚胺、聚苯并唑、及酚树脂之至少1种树脂;(b)醌二叠氮(quinone diazide)化合物;(c)界面活性剂;(d)有机溶剂,该(d)有机溶剂至少含有大气压下(d-1)沸点150℃以上且低于180℃之有机溶剂、及(d-2)沸点180℃以上且低于220℃之有机溶剂。 (上述通式(1)中,R1及R2系各自可相同也可不同,表示碳数2以上之2~8价的有机基;R3及R4系各自可相同也可不同,表示氢或碳数1~20之有机基;n表示10~100,000之范围,m及f各自独立表示0~2之整数,p及q各自独立表示0~4之整数;惟,m+q≠0,p+q≠0)。