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    • 9. 发明专利
    • 太陽電池元件用矽基板之製造方法
    • 太阳电池组件用硅基板之制造方法
    • TW201903851A
    • 2019-01-16
    • TW107113785
    • 2018-04-24
    • 日商東京應化工業股份有限公司TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
    • 谷津克也TANITSU, KATSUYA
    • H01L21/22H01L31/068H01L31/04H01L31/18
    • 本發明的課題在於提供一種太陽電池元件用矽基板之製造方法,該製造方法藉由在降低外部擴散(out-diffusion)的影響的同時,在相同溫度下同時進行硼化合物向矽基板的一側的面的擴散與磷化合物向另一側的面的擴散,從而可在短時間內高效率地製造太陽電池元件用矽基板。   本發明的解決手段為:在2片矽基板的各自的第1面上形成含有磷化合物之層、在作為第1面的背面的第2面上形成含有硼化合物之層,接著,將2片矽基板以含有磷化合物之層彼此或含有硼化合物之層彼此接觸的方式進行配置,從而得到複合矽基板,對得到的複合矽基板進行加熱,同時進行磷化合物向複合矽基板中的矽基板的第1面的擴散與硼化合物向複合矽基板中的矽基板的第2面的擴散。
    • 本发明的课题在于提供一种太阳电池组件用硅基板之制造方法,该制造方法借由在降低外部扩散(out-diffusion)的影响的同时,在相同温度下同时进行硼化合物向硅基板的一侧的面的扩散与磷化合物向另一侧的面的扩散,从而可在短时间内高效率地制造太阳电池组件用硅基板。   本发明的解决手段为:在2片硅基板的各自的第1面上形成含有磷化合物之层、在作为第1面的背面的第2面上形成含有硼化合物之层,接着,将2片硅基板以含有磷化合物之层彼此或含有硼化合物之层彼此接触的方式进行配置,从而得到复合硅基板,对得到的复合硅基板进行加热,同时进行磷化合物向复合硅基板中的硅基板的第1面的扩散与硼化合物向复合硅基板中的硅基板的第2面的扩散。