专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI487054B 裝載機有权
简体标题：装载机
公开(公告)号：TWI487054B
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW099131854
申请日：2010-09-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 小笠原郁男 , OGASAWARA, IKUO
IPC分类号： H01L21/677

2. 发明专利

TW201523002A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201523002A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103124916
申请日：2014-07-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 猪股勇 , INOMATA, ISAMU , 矢野和哉 , YANO, KAZUYA , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/07342 , G01R31/2886
摘要：本發明之課題在於在晶圓的規模進行在基板的兩面具有電極的電源裝置的電氣特性檢查之探針裝置，實現在基板的背側電極與晶圓座頂的載置面導體之間的接觸電阻的降低與均勻化。本發明之解決手段係於此探針裝置，供使半導體晶圓(W)載置於晶圓座頂(12)上之用的吸附機構，於晶圓座頂的載置面導體以滿足
简体摘要：本发明之课题在于在晶圆的规模进行在基板的两面具有电极的电源设备的电气特性检查之探针设备，实现在基板的背侧电极与晶圆座顶的载置面导体之间的接触电阻的降低与均匀化。本发明之解决手段系于此探针设备，供使半导体晶圆(W)载置于晶圆座顶(12)上之用的吸附机构，于晶圆座顶的载置面导体以满足

3. 发明专利

TWI396245B 探針卡之裝著方法及本方法所使用之探針卡移載輔助裝置有权
简体标题：探针卡之装着方法及本方法所使用之探针卡移载辅助设备
公开(公告)号：TWI396245B
公开(公告)日：2013-05-11
申请号：TW095146921
申请日：2006-12-14
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：姜錤相 , KANG, KISANG , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 望月智秋 , MOCHIZUKI, CHIAKI
IPC分类号： H01L21/66

4. 发明专利

TWI552252B 載置機構及附切割架晶圓之搬送方法有权
简体标题：载置机构及附切割架晶圆之搬送方法
公开(公告)号：TWI552252B
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW099131857
申请日：2010-09-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 小笠原郁男 , OGASAWARA, IKUO
IPC分类号： H01L21/677

5. 发明专利

TWI442492B 載置裝置有权
简体标题：载置设备
公开(公告)号：TWI442492B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW096108437
申请日：2007-03-12
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：赤池由多加 , AKAIKE, YUTAKA , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67103 , F28D2021/0077 , F28F13/00 , H01L21/67109

6. 发明专利

TW201504633A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201504633A
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW103110463
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 田岡健 , TAOKA, KEN , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/26 , G01R1/07314 , G01R1/07342 , G01R1/07378 , G01R3/00 , G01R31/2886 , G01R31/2887
摘要：提供一種相較於以往可縮短探針裝置中之電性路徑且使電阻等減少而可實施精度良好之檢查的探針裝置。探針裝置(100)，係具備：導體膜電極(220)，被形成於載置台(111)中之半導體晶圓(W)的載置面；電極板(221)，被配設於載置台(111)的上方；及接觸探針(222)，被配設於載置台(111)的側方，該接觸探針(222)係具有：抵接部(222a)，在上面形成有凹凸；及纜線連接部(222b)，在抵接部(222a)的下方與該抵接部(222a)一體構成，且連接有與導體膜電極(220)電極電性連接的纜線(225)，在使載置台(111)上升且使探針卡(210)的探針(211)接觸於半導體晶圓(W)之半導體元件的電極時，藉由配設於纜線連接部(222b)之下方的彈壓構件，使抵接部(222a)與電極板(221)抵接。
简体摘要：提供一种相较于以往可缩短探针设备中之电性路径且使电阻等减少而可实施精度良好之检查的探针设备。探针设备(100)，系具备：导体膜电极(220)，被形成于载置台(111)中之半导体晶圆(W)的载置面；电极板(221)，被配设于载置台(111)的上方；及接触探针(222)，被配设于载置台(111)的侧方，该接触探针(222)系具有：抵接部(222a)，在上面形成有凹凸；及缆线连接部(222b)，在抵接部(222a)的下方与该抵接部(222a)一体构成，且连接有与导体膜电极(220)电极电性连接的缆线(225)，在使载置台(111)上升且使探针卡(210)的探针(211)接触于半导体晶圆(W)之半导体组件的电极时，借由配设于缆线连接部(222b)之下方的弹压构件，使抵接部(222a)与电极板(221)抵接。

7. 发明专利

TWI459492B 探針卡用台車及使用此台車之探針卡的處理方法有权
简体标题：探针卡用台车及使用此台车之探针卡的处理方法
公开(公告)号：TWI459492B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW097128187
申请日：2008-07-24
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66 , G01R1/067

8. 发明专利

TWI416119B 探針卡移載補助裝置以及檢查設備失效
简体标题：探针卡移载补助设备以及检查设备
公开(公告)号：TWI416119B
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW095144444
申请日：2006-11-30
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：望月智秋 , MOCHIZUKI, CHIAKI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2887

9. 发明专利

TWI632382B 探針裝置有权
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TWI632382B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW103110461
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/067

10. 发明专利

TWI620939B 探針裝置有权
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TWI620939B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW103110463
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 田岡健 , TAOKA, KEN , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/26 , G01R1/07314 , G01R1/07342 , G01R1/07378 , G01R3/00 , G01R31/2886 , G01R31/2887

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式