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1. 发明专利

TWI547701B 探針裝置有权
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TWI547701B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW101134601
申请日：2012-09-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 田岡健 , TAOKA, KEN
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/0491 , G01R1/067 , G01R31/2887 , G01R31/2891

2. 发明专利

TW201523002A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201523002A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103124916
申请日：2014-07-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 猪股勇 , INOMATA, ISAMU , 矢野和哉 , YANO, KAZUYA , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/07342 , G01R31/2886
摘要：本發明之課題在於在晶圓的規模進行在基板的兩面具有電極的電源裝置的電氣特性檢查之探針裝置，實現在基板的背側電極與晶圓座頂的載置面導體之間的接觸電阻的降低與均勻化。本發明之解決手段係於此探針裝置，供使半導體晶圓(W)載置於晶圓座頂(12)上之用的吸附機構，於晶圓座頂的載置面導體以滿足
简体摘要：本发明之课题在于在晶圆的规模进行在基板的两面具有电极的电源设备的电气特性检查之探针设备，实现在基板的背侧电极与晶圆座顶的载置面导体之间的接触电阻的降低与均匀化。本发明之解决手段系于此探针设备，供使半导体晶圆(W)载置于晶圆座顶(12)上之用的吸附机构，于晶圆座顶的载置面导体以满足

3. 发明专利

TWI541514B 功率元件用探針卡有权
简体标题：功率组件用探针卡
公开(公告)号：TWI541514B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW101127540
申请日：2012-07-31
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 小笠原郁男 , OGASAWARA, IKUO , 田岡健 , TAOKA, KEN
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06711 , G01R1/06777 , G01R31/2601 , G01R31/2608 , G01R31/2621 , G01R31/263 , G01R31/2632

4. 发明专利

TW201525467A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201525467A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103122664
申请日：2014-07-01
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 山口顕治 , YAMAGUCHI, KENJI , 八田政 , HATTA, MASATAKA
IPC分类号： G01R1/067 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/0491 , G01R1/067 , G01R31/2862 , G01R31/2879 , G01R31/31905
摘要：在以晶圓等級進行半導體元件之電性特性檢查時，可簡便且有效率地防止光花(放電)在晶圓表面附近發生。在該探針裝置中，火花防止機構(50)，係具有：環繞構件(52)，在探針卡(16)與載置台(12)之間，包圍探針(26S、26G)之周圍；及氣體供給機構(54)，於半導體晶圓(W)上對各晶片(功率元件)進行電性特性之檢查時，以在探針(26S、26G)之周圍形成高於大氣壓之預定壓力之環境的方式，經由環繞構件(52)之內部或附近，對探針(26S、26G)之周圍供給氣體。接觸板(34)，係兼作為環繞構件(52)。
简体摘要：在以晶圆等级进行半导体组件之电性特性检查时，可简便且有效率地防止光花(放电)在晶圆表面附近发生。在该探针设备中，火花防止机构(50)，系具有：环绕构件(52)，在探针卡(16)与载置台(12)之间，包围探针(26S、26G)之周围；及气体供给机构(54)，于半导体晶圆(W)上对各芯片(功率组件)进行电性特性之检查时，以在探针(26S、26G)之周围形成高于大气压之预定压力之环境的方式，经由环绕构件(52)之内部或附近，对探针(26S、26G)之周围供给气体。接触板(34)，系兼作为环绕构件(52)。

5. 发明专利

TWI437658B 載置台失效
简体标题：载置台
公开(公告)号：TWI437658B
公开(公告)日：2014-05-11
申请号：TW097108862
申请日：2008-03-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 山田浩史 , YAMADA, HIROSHI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/66

6. 发明专利

TW201333495A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201333495A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101134601
申请日：2012-09-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 田岡健 , TAOKA, KEN
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/0491 , G01R1/067 , G01R31/2887 , G01R31/2891
摘要：本發明提供一種探針裝置，可以晶圓等級來測量功率元件的靜態特性及動態特性兩者，特別是不會受到使用於靜態特性之量測線路的影響，可以晶圓等級來確實地測量功率元件的動態特性。本發明之探針裝置具備有：載置形成有複數功率元件的晶圓之可移動的載置台、具有配置在載置台上方的複數探針之探針卡、形成於載置台的載置面與其外周面之導體膜電極、以及電連接導體膜電極與測試器之量測線路，該探針裝置係以晶圓等級來測量載置台上之功率元件的電氣特性，第2量測線路係設置有在導體膜電極與測試器之間開閉量測線路的電路之開關機構。
简体摘要：本发明提供一种探针设备，可以晶圆等级来测量功率组件的静态特性及动态特性两者，特别是不会受到使用于静态特性之量测线路的影响，可以晶圆等级来确实地测量功率组件的动态特性。本发明之探针设备具备有：载置形成有复数功率组件的晶圆之可移动的载置台、具有配置在载置台上方的复数探针之探针卡、形成于载置台的载置面与其外周面之导体膜电极、以及电连接导体膜电极与测试器之量测线路，该探针设备系以晶圆等级来测量载置台上之功率组件的电气特性，第2量测线路系设置有在导体膜电极与测试器之间开闭量测线路的电路之开关机构。

7. 发明专利

TW201504633A 探針裝置审中-公开
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TW201504633A
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW103110463
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 田岡健 , TAOKA, KEN , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/26 , G01R1/07314 , G01R1/07342 , G01R1/07378 , G01R3/00 , G01R31/2886 , G01R31/2887
摘要：提供一種相較於以往可縮短探針裝置中之電性路徑且使電阻等減少而可實施精度良好之檢查的探針裝置。探針裝置(100)，係具備：導體膜電極(220)，被形成於載置台(111)中之半導體晶圓(W)的載置面；電極板(221)，被配設於載置台(111)的上方；及接觸探針(222)，被配設於載置台(111)的側方，該接觸探針(222)係具有：抵接部(222a)，在上面形成有凹凸；及纜線連接部(222b)，在抵接部(222a)的下方與該抵接部(222a)一體構成，且連接有與導體膜電極(220)電極電性連接的纜線(225)，在使載置台(111)上升且使探針卡(210)的探針(211)接觸於半導體晶圓(W)之半導體元件的電極時，藉由配設於纜線連接部(222b)之下方的彈壓構件，使抵接部(222a)與電極板(221)抵接。
简体摘要：提供一种相较于以往可缩短探针设备中之电性路径且使电阻等减少而可实施精度良好之检查的探针设备。探针设备(100)，系具备：导体膜电极(220)，被形成于载置台(111)中之半导体晶圆(W)的载置面；电极板(221)，被配设于载置台(111)的上方；及接触探针(222)，被配设于载置台(111)的侧方，该接触探针(222)系具有：抵接部(222a)，在上面形成有凹凸；及缆线连接部(222b)，在抵接部(222a)的下方与该抵接部(222a)一体构成，且连接有与导体膜电极(220)电极电性连接的缆线(225)，在使载置台(111)上升且使探针卡(210)的探针(211)接触于半导体晶圆(W)之半导体组件的电极时，借由配设于缆线连接部(222b)之下方的弹压构件，使抵接部(222a)与电极板(221)抵接。

8. 发明专利

TW201326827A 功率元件用探針卡审中-公开
简体标题：功率组件用探针卡
公开(公告)号：TW201326827A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101127540
申请日：2012-07-31
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 小笠原郁男 , OGASAWARA, IKUO , 田岡健 , TAOKA, KEN
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06711 , G01R1/06777 , G01R31/2601 , G01R31/2608 , G01R31/2621 , G01R31/263 , G01R31/2632
摘要：本發明提供一種可大幅降低探針與測試器間之量測線路，以及載置台與測試器間之量測線路各自的電阻，即便作為探針裝置的實機使用，仍可充分確保可靠性之功率元件用探針卡。本發明之探針卡具備有：第1探針，係與功率元件的射極電極電性接觸；塊狀第1連接端子，係連接有第1探針；第2探針，係與功率元件的閘極電極電性接觸；塊狀第2連接端子，係連接於第2探針；接觸板，係可與功率元件的集極電極側電性接觸；以及塊狀第3連接端子，係固定在接觸板；其中第1、第2、第3連接端子係與分別對應之測試器側的連接端子直接電性接觸。
简体摘要：本发明提供一种可大幅降低探针与测试器间之量测线路，以及载置台与测试器间之量测线路各自的电阻，即便作为探针设备的实机使用，仍可充分确保可靠性之功率组件用探针卡。本发明之探针卡具备有：第1探针，系与功率组件的射极电极电性接触；块状第1连接端子，系连接有第1探针；第2探针，系与功率组件的闸极电极电性接触；块状第2连接端子，系连接于第2探针；接触板，系可与功率组件的集极电极侧电性接触；以及块状第3连接端子，系固定在接触板；其中第1、第2、第3连接端子系与分别对应之测试器侧的连接端子直接电性接触。

9. 发明专利

TWI632382B 探針裝置有权
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TWI632382B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW103110461
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R31/26 , G01R1/067

10. 发明专利

TWI620939B 探針裝置有权
简体标题：探针设备
公开(公告)号：TWI620939B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW103110463
申请日：2014-03-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：篠原榮一 , SHINOHARA, EIICHI , 長坂旨俊 , NAGASAKA, MUNETOSHI , 田岡健 , TAOKA, KEN , 加藤儀保 , KATO, YOSHIYASU
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/26 , G01R1/07314 , G01R1/07342 , G01R1/07378 , G01R3/00 , G01R31/2886 , G01R31/2887

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