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1. 发明专利

TW456161B 用於電漿密度量測的穩定化振盪器電路失效
简体标题：用于等离子密度量测的稳定化振荡器电路
公开(公告)号：TW456161B
公开(公告)日：2001-09-21
申请号：TW089114534
申请日：2000-07-20
申请人：東京威力科創有限公司
发明人：喬塞夫T 維迪恩 , 莫瑞D 塞其斯
IPC分类号： H05H
CPC分类号： H05H1/0081
摘要：一種方法及系統用以控制電漿處理系統中之電子密度。在一電壓控制振盪器上施加震動電壓及改正電壓，電漿處理系統(作為一開路共振器)之電子(電漿)密度可予量測及控制作為電漿基礎處理之一部份。
简体摘要：一种方法及系统用以控制等离子处理系统中之电子密度。在一电压控制振荡器上施加震动电压及改正电压，等离子处理系统(作为一开路共振器)之电子(等离子)密度可予量测及控制作为等离子基础处理之一部份。

2. 发明专利

TW484015B 使用包含電漿之開放共振器中共振頻率變化之電子密度量測及電漿製程控制系統失效
简体标题：使用包含等离子之开放共振器中共振频率变化之电子密度量测及等离子制程控制系统
公开(公告)号：TW484015B
公开(公告)日：2002-04-21
申请号：TW089114518
申请日：2000-07-20
申请人：東京威力科創有限公司
发明人：喬塞夫T 維迪恩 , 維尼L 强森 , 莫瑞D 塞其斯
IPC分类号： G01N , H01J , H05H , G01R , H01L
CPC分类号： H01J37/32935 , H01J37/32954 , H01J37/3299 , H05H1/0006
摘要：一種系統用以量測電漿電子密度(如在1010至1012Cm-3範圍)，及用以控制一電漿產生器。電漿電子密度之量測作為電漿協助處理，如澱積或蝕刻之回授控制之一部份。電裝量測方法及系統產生一控制電壓依序控制電漿產生器。一可程式之頻率源，順序激勵一置於電漿處理裝置中之開放共振器之數共振模式。共振模式之共振頻率與位於開放共振器之空間之間之電漿電子密度有關。由於引進電漿及比較量測之頻率與以前進入之資料，裝置能自動決定，開放共振器之隨機選擇之共振模式共振頻率之增加。比較由以下列任何之一，(1)，專用電路(2)，數位信號處理器，及(3)特殊程式之通用目的電腦實施。比較器計算一控制信號用以修正電漿產生功率輸出，以達到理想之電漿電子密度。
简体摘要：一种系统用以量测等离子电子密度(如在1010至1012Cm-3范围)，及用以控制一等离子产生器。等离子电子密度之量测作为等离子协助处理，如淀积或蚀刻之回授控制之一部份。电装量测方法及系统产生一控制电压依序控制等离子产生器。一可进程之频率源，顺序激励一置于等离子处理设备中之开放共振器之数共振模式。共振模式之共振频率与位于开放共振器之空间之间之等离子电子密度有关。由于引进等离子及比较量测之频率与以前进入之数据，设备能自动决定，开放共振器之随机选择之共振模式共振频率之增加。比较由以下列任何之一，(1)，专用电路(2)，数码信号处理器，及(3)特殊进程之通用目的电脑实施。比较器计算一控制信号用以修正等离子产生功率输出，以达到理想之等离子电子密度。

3. 发明专利

TW480414B 使用鎖定至一包含電漿之開放共振器之微波共振器之電子密度量測和電漿製程控制系統有权
简体标题：使用锁定至一包含等离子之开放共振器之微波共振器之电子密度量测和等离子制程控制系统
公开(公告)号：TW480414B
公开(公告)日：2002-03-21
申请号：TW089114519
申请日：2000-07-20
申请人：東京威力科創有限公司
发明人：喬塞夫T 維迪恩 , 維尼L 强森 , 莫瑞D 塞其斯
IPC分类号： G06F , H01L
CPC分类号： H01J37/32266 , H01J37/32311 , H01J37/32935 , H01J37/3299
摘要：一種系統用以量測電漿電子密度(在1010至1012cm-3範圍)及用以控制電漿產生器。電漿密度之量測非常重要，因為由電漿協助之處理，如澱積或蝕刻欲利用回授控制達到準確之控制。電漿量測方去及系統產生一控制電壓，甩以控制電漿產生器以維持電漿電子密度在一預選值。系統利用一頻率穩定系統，在共振頻率因引進電漿於開放共振內而改變時，將本地振盪器之頻率鎖住開放微波共振器之共振頻率。第二微波鑑頻器之放大輸出電壓可用以控制一電漿產生器。
简体摘要：一种系统用以量测等离子电子密度(在1010至1012cm-3范围)及用以控制等离子产生器。等离子密度之量测非常重要，因为由等离子协助之处理，如淀积或蚀刻欲利用回授控制达到准确之控制。等离子量测方去及系统产生一控制电压，甩以控制等离子产生器以维持等离子电子密度在一预选值。系统利用一频率稳定系统，在共振频率因引进等离子于开放共振内而改变时，将本地振荡器之频率锁住开放微波共振器之共振频率。第二微波鉴频器之放大输出电压可用以控制一等离子产生器。

4. 发明专利

TW463531B 使用微波振盪器之電漿感應頻率變化之電子密度量測及控制系統失效
简体标题：使用微波振荡器之等离子感应频率变化之电子密度量测及控制系统
公开(公告)号：TW463531B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089114527
申请日：2000-07-20
申请人：東京威力科創有限公司
发明人：喬塞夫T 維迪恩 , 維尼L 强森 , 莫瑞D 塞其斯
IPC分类号： H05H
CPC分类号： G01R19/0061
摘要：一種方法及系統用以測量至少一電漿密度及一電子密度(如在10^10至10^10cm^-3)。測量至少一電漿密度及電子密度可使電漿協助之處理，如利用回授控制以控制澱積或蝕刻。測量方法及系統產生一控制電壓，其可控制電漿產生器保持至少一電漿密度及電子密度於一預選值。
简体摘要：一种方法及系统用以测量至少一等离子密度及一电子密度(如在10^10至10^10cm^-3)。测量至少一等离子密度及电子密度可使等离子协助之处理，如利用回授控制以控制淀积或蚀刻。测量方法及系统产生一控制电压，其可控制等离子产生器保持至少一等离子密度及电子密度于一预选值。

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