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    • 5. 发明专利
    • 發光元件 LIGHT-EMITTING DEVICE
    • 发光组件 LIGHT-EMITTING DEVICE
    • TW201248911A
    • 2012-12-01
    • TW100119178
    • 2011-05-31
    • 晶元光電股份有限公司
    • 馬少崑郭宗泰賴韓棕李宜青金明達
    • H01L
    • 本發明提供一發光元件之製作方法,包含:提供一基板;形成一第一布拉格反射結構於基板之上;形成一第二布拉格反射結構於第一布拉格反射結構之上;形成一發光結構於第二布拉格反射結構之上;形成一窗戶層於發光結構之上;形成一電流散佈層於窗戶層之上;提供一溼氧製程系統;分別形成一氧化區域於第一布拉格反射結構與第二布拉格反射結構,其中氧化區域係於溼氧製程系統中反應而成;及形成一電極於電流散佈層之上。
    • 本发明提供一发光组件之制作方法,包含:提供一基板;形成一第一布拉格反射结构于基板之上;形成一第二布拉格反射结构于第一布拉格反射结构之上;形成一发光结构于第二布拉格反射结构之上;形成一窗户层于发光结构之上;形成一电流散布层于窗户层之上;提供一湿氧制程系统;分别形成一氧化区域于第一布拉格反射结构与第二布拉格反射结构,其中氧化区域系于湿氧制程系统中反应而成;及形成一电极于电流散布层之上。