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    • 2. 发明专利
    • 裸晶片載具及使用該載具之熱機測試裝置以及裸晶片之熱機測試方法
    • 裸芯片载具及使用该载具之热机测试设备以及裸芯片之热机测试方法
    • TW306031B
    • 1997-05-21
    • TW084113244
    • 1995-12-12
    • 日立北海半導體股份有限公司日立東部半導體股份有限公司日立製作所股份有限公司
    • 山村雅宏石原政道安生一郎西槷裕孝村田政隆林田哲哉森田貞雄
    • H01L
    • G01R31/2831G01R1/0483
    • 本發明之目的在於提供:將「可再利用的低價格基板」與「將裸晶片和基板予以線結合之連接方式」加以組合,而製作成具有高可靠性、低價格及優異的空氣係數之薄型構造的裸晶片載具;及使用該裸晶片載具之熱機測試裝置;以及裸晶片的熱機測試方法。
      其中的一種係屬於:搭載於熱機測試裝置的熱機測試板上的裸晶片載具2,係將裸晶片4的墊片5與基板6的凸條7利用線結合而經由金線8相連接,且此金線8係可以切斷而成可再度利用基板6的構造。此裸晶片載具2的構造係製作成:由下部板9、開孔部內裝設有裸晶片4的間隔元件10、基板6以及上部板11,在其中介裝有橡膠片12~14而構成的高密閉性疊層構造,利用螺栓15與墊圈16以及兩個螺帽17、18來鎖緊組裝而成可再度組裝的構造。
    • 本发明之目的在于提供:将“可再利用的低价格基板”与“将裸芯片和基板予以线结合之连接方式”加以组合,而制作成具有高可靠性、低价格及优异的空气系数之薄型构造的裸芯片载具;及使用该裸芯片载具之热机测试设备;以及裸芯片的热机测试方法。 其中的一种系属于:搭载于热机测试设备的热机测试板上的裸芯片载具2,系将裸芯片4的垫片5与基板6的凸条7利用线结合而经由金线8相连接,且此金线8系可以切断而成可再度利用基板6的构造。此裸芯片载具2的构造系制作成:由下部板9、开孔部内装设有裸芯片4的间隔组件10、基板6以及上部板11,在其中介装有橡胶片12~14而构成的高密闭性叠层构造,利用螺栓15与垫圈16以及两个螺帽17、18来锁紧组装而成可再度组装的构造。