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    • 2. 发明专利
    • 接點曝露蝕刻停止件
    • 接点曝露蚀刻停止件
    • TW201801328A
    • 2018-01-01
    • TW106110602
    • 2017-03-29
    • 微晶片科技公司MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
    • 葛瑞姆 丹恩GRIMM, DAN迪克斯 喬葛瑞DIX, GREGORY斯洛德 勞德尼SCHROEDER, RODNEY
    • H01L29/78H01L23/482H01L21/768
    • H01L23/535H01L21/76829H01L21/76895H01L21/823475H01L23/4824H01L24/48H01L25/0655H01L25/18H01L25/50H01L27/088H01L29/0649H01L29/41758H01L29/78H01L2224/48137H01L2225/06506H01L2225/06582H01L2924/13091
    • 本發明係關於半導體裝置且其教示可以金屬氧化物半導體場效應電晶體(MOSFET)來體現。某些實施例可包含具有電晶體單元之一功率MOSFET,每一單元包括:一源極區及一汲極區;一第一介電質層,其安置於該等電晶體單元頂部;一富矽氧化物層,其在該第一介電質層上;凹槽,其穿過多層介電質,每一凹槽在一各別源極區或汲極區上面且填充有一導電材料;一第二介電質層,其在該多層介電質頂部;開口,其在該第二介電質層中,每一開口曝露該複數個凹槽中之一者之一接點區域;及一金屬層,其安置於該第二介電質層頂部且填充該等開口。該金屬層可形成至少一個汲極金屬導線及至少一個源極金屬導線。該至少一個汲極金屬導線可透過各別凹槽來連接兩個汲極區。該至少一個源極金屬導線可透過各別凹槽來連接兩個源極區。每一凹槽具有在一毗鄰對中自該至少一個汲極金屬導線延伸至該至少一個源極金屬導線之一長度。
    • 本发明系关于半导体设备且其教示可以金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)来体现。某些实施例可包含具有晶体管单元之一功率MOSFET,每一单元包括:一源极区及一汲极区;一第一介电质层,其安置于该等晶体管单元顶部;一富硅氧化物层,其在该第一介电质层上;凹槽,其穿过多层介电质,每一凹槽在一各别源极区或汲极区上面且填充有一导电材料;一第二介电质层,其在该多层介电质顶部;开口,其在该第二介电质层中,每一开口曝露该复数个凹槽中之一者之一接点区域;及一金属层,其安置于该第二介电质层顶部且填充该等开口。该金属层可形成至少一个汲极金属导线及至少一个源极金属导线。该至少一个汲极金属导线可透过各别凹槽来连接两个汲极区。该至少一个源极金属导线可透过各别凹槽来连接两个源极区。每一凹槽具有在一毗邻对中自该至少一个汲极金属导线延伸至该至少一个源极金属导线之一长度。