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    • 1. 发明专利
    • 管理系統及管理方法
    • 管理系统及管理方法
    • TW201812654A
    • 2018-04-01
    • TW106117371
    • 2017-05-25
    • 日商TOWA股份有限公司TOWA CORPORATION
    • 早坂昇HAYASAKA, NOBORU山田哲也YAMADA, TETSUYA古谷 湯瑪士 憲二KOYA, TOMAS KENJI
    • G06Q10/06H01L21/67
    • 提供一種用以實現活用提供以往係被認為不佳之非正規製品的第三者,可對半導體製造裝置的顧客提供新的價值之新的手法之新的構成。 管理系統包括:管理裝置,係發行一種或複數種識別資訊,且管理表示所發行之各識別資訊之狀態的狀態資訊;附加手段,係對供在半導體製造裝置使用之根據由管理管理裝置之第1主體所提供的設計資訊所製作之可換構件附加所發行之識別資訊;以及認證手段,係讀取被附加於可換構件之識別資訊,且根據藉由參照來自管理裝置的狀態資訊所取得之該讀取之識別資訊的狀態,決定是否容許在半導體製造裝置使用可換構件。
    • 提供一种用以实现活用提供以往系被认为不佳之非正规制品的第三者,可对半导体制造设备的顾客提供新的价值之新的手法之新的构成。 管理系统包括:管理设备,系发行一种或复数种识别信息,且管理表示所发行之各识别信息之状态的状态信息;附加手段,系对供在半导体制造设备使用之根据由管理管理设备之第1主体所提供的设计信息所制作之可换构件附加所发行之识别信息;以及认证手段,系读取被附加于可换构件之识别信息,且根据借由参照来自管理设备的状态信息所取得之该读取之识别信息的状态,决定是否容许在半导体制造设备使用可换构件。
    • 4. 发明专利
    • 樹脂成形裝置及樹脂成形方法
    • 树脂成形设备及树脂成形方法
    • TW201532777A
    • 2015-09-01
    • TW103138287
    • 2014-11-05
    • 東和股份有限公司TOWA CORPORATION
    • 山田哲也YAMADA, TETSUYA後藤智行GOTO, TOMOYUKI高田準子TAKADA, JUNKO藤原直己FUJIWARA, NAOMI岩田康弘IWATA, YASUHIRO
    • B29C39/24
    • H01L2224/97H01L2924/181H01L2924/00012
    • 在樹脂成型裝置中,使樹脂運送機構容易移動,並且能夠根據產品進行樹脂材料的選擇及樹脂供給機構的選擇。樹脂成型裝置具備:可動下模;成型模,包括可動下模和固定上模;型腔,設置於可動下模上;樹脂供給機構,用於向型腔供給原料樹脂;樹脂保管機構,用於保管樹脂材料;樹脂運送機構,由樹脂供給機構和樹脂保管機構一體化而構成;及成型模組,包括成型模且能夠彼此裝卸。使經一體化而構成的樹脂運送機構容易移動。能夠選擇液狀樹脂或固體樹脂作為樹脂材料,並且能夠選擇單液類型或雙液混合類型作為液狀樹脂。能夠在各成型模組中對單個或複數個封裝前基板進行樹脂封裝,並且能夠增減成型。
    • 在树脂成型设备中,使树脂运送机构容易移动,并且能够根据产品进行树脂材料的选择及树脂供给机构的选择。树脂成型设备具备:可动下模;成型模,包括可动下模和固定上模;型腔,设置于可动下模上;树脂供给机构,用于向型腔供给原料树脂;树脂保管机构,用于保管树脂材料;树脂运送机构,由树脂供给机构和树脂保管机构一体化而构成;及成型模块,包括成型模且能够彼此装卸。使经一体化而构成的树脂运送机构容易移动。能够选择液状树脂或固体树脂作为树脂材料,并且能够选择单液类型或双液混合类型作为液状树脂。能够在各成型模块中对单个或复数个封装前基板进行树脂封装,并且能够增减成型。
    • 5. 发明专利
    • 樹脂成形裝置及樹脂成形方法
    • 树脂成形设备及树脂成形方法
    • TW201530711A
    • 2015-08-01
    • TW103138286
    • 2014-11-05
    • 東和股份有限公司TOWA CORPORATION
    • 高田準子TAKADA, JUNKO山田哲也YAMADA, TETSUYA後藤智行GOTO, TOMOYUKI藤原直己FUJIWARA, NAOMI岩田康弘IWATA, YASUHIRO
    • H01L23/29
    • H01L24/97
    • 在樹脂成型裝置中,使混合液狀樹脂的供給機構容易移動。樹脂成型裝置具備:成型模;型腔,設置於成型模,用於收容混合液狀樹脂;供給機構,用於向型腔供給混合液狀樹脂;液狀樹脂保管機構,設置於供給機構,用於保管複數種液狀樹脂;分送器,設置於供給機構,且通過混合多種液狀樹脂而生成混合液狀樹脂並向型腔噴出混合液狀樹脂;和移動機構。移動機構使液狀樹脂保管機構和分送器成為一體而從待機位置移動至型腔的附近。由此,縮短將複數種液狀樹脂從液狀樹脂保管機構移送至分送器的距離。因此,能夠使供給機構容易移動。
    • 在树脂成型设备中,使混合液状树脂的供给机构容易移动。树脂成型设备具备:成型模;型腔,设置于成型模,用于收容混合液状树脂;供给机构,用于向型腔供给混合液状树脂;液状树脂保管机构,设置于供给机构,用于保管复数种液状树脂;分送器,设置于供给机构,且通过混合多种液状树脂而生成混合液状树脂并向型腔喷出混合液状树脂;和移动机构。移动机构使液状树脂保管机构和分送器成为一体而从待机位置移动至型腔的附近。由此,缩短将复数种液状树脂从液状树脂保管机构移送至分送器的距离。因此,能够使供给机构容易移动。
    • 8. 发明专利
    • 樹脂成型裝置及其方法、運膜輥及樹脂成型裝置用供膜裝置
    • 树脂成型设备及其方法、运膜辊及树脂成型设备用供膜设备
    • TW201733769A
    • 2017-10-01
    • TW106110036
    • 2017-03-24
    • 東和股份有限公司TOWA CORPORATION
    • 山田哲也YAMADA, TETSUYA後藤智行GOTO, TOMOYUKI市橋秀男ICHIHASHI, HIDEO
    • B29C45/14B29C45/17H01L21/56B29L31/34
    • H01L2224/48091H01L2924/181H01L2924/00012H01L2924/00014
    • 本發明係揭露一種樹脂成型裝置及其方法、運膜輥及樹脂成型裝置用供膜裝置,用於降低膜中產生的褶皺或撓曲而進行樹脂成型。樹脂成型裝置使用在彼此相對配置的第一模和第二模中的至少一個模上設置有型腔的成型模,並對成型模進行合模來進行樹脂成型,其包含:送出機構,用於向第一模與第二模之間送出膜;捲取機構,用於從第一模與第二模之間捲取膜;第一輥,被設置在送出機構側;第二輥,被設置在捲取機構側;以及主筒狀部件,在第一輥的旋轉軸和第二輥的旋轉軸中的至少一個旋轉軸的一端部和另一端部分別安裝有複數個主筒狀部件,在複數個主筒狀部件中,外側的主筒狀部件的外徑大於內側的主筒狀部件的外徑,複數個主筒狀部件相對於各自所在的旋轉軸能夠裝卸。
    • 本发明系揭露一种树脂成型设备及其方法、运膜辊及树脂成型设备用供膜设备,用于降低膜中产生的褶皱或挠曲而进行树脂成型。树脂成型设备使用在彼此相对配置的第一模和第二模中的至少一个模上设置有型腔的成型模,并对成型模进行合模来进行树脂成型,其包含:送出机构,用于向第一模与第二模之间送出膜;卷取机构,用于从第一模与第二模之间卷取膜;第一辊,被设置在送出机构侧;第二辊,被设置在卷取机构侧;以及主筒状部件,在第一辊的旋转轴和第二辊的旋转轴中的至少一个旋转轴的一端部和另一端部分别安装有复数个主筒状部件,在复数个主筒状部件中,外侧的主筒状部件的外径大于内侧的主筒状部件的外径,复数个主筒状部件相对于各自所在的旋转轴能够装卸。
    • 10. 发明专利
    • 樹脂成形裝置、樹脂成形方法、吐出機構以及吐出裝置
    • 树脂成形设备、树脂成形方法、吐出机构以及吐出设备
    • TW201722566A
    • 2017-07-01
    • TW105127025
    • 2016-08-24
    • TOWA股份有限公司TOWA CORPORATION
    • 花坂周邦HANASAKA, SHUHO山田哲也YAMADA, TETSUYA岩田康弘IWATA, YASUHIRO後藤智行GOTOH, TOMOYUKI
    • B05C11/10B05C5/02H01L23/28
    • B29C31/04B29C43/18B29C43/34B29C43/58B29C45/02B29C45/77H01L21/56
    • 提供一種具有簡單之構成,同時被小型化,而且穩定吐出流動性樹脂之構成。樹脂成形裝置(1)係包括:送出機構(27),被設於供給機構(19),送出流動性樹脂(30);儲集部(28),被連接在送出機構,儲集流動性樹脂;吐出部(29),被連接在儲集部,吐出流動性樹脂;旋轉機構(31),被設於送出機構;移動構件(35),按壓藉旋轉機構之旋轉,沿著儲集部的內壁進退,被儲集在儲集部之流動性樹脂;檢出部(39),檢出起因於儲集部內之流動性樹脂之樹脂壓力,經由移動構件以施加在旋轉機構上之扭力值;以及控制部(22),依據被檢出之扭力值,控制移動構件之移動速度或旋轉機構之旋轉速度。控制部係藉控制使得前進以停止移動構件後再後退,控制被供給到收容部之流動性樹脂之供給量。
    • 提供一种具有简单之构成,同时被小型化,而且稳定吐出流动性树脂之构成。树脂成形设备(1)系包括:送出机构(27),被设于供给机构(19),送出流动性树脂(30);储集部(28),被连接在送出机构,储集流动性树脂;吐出部(29),被连接在储集部,吐出流动性树脂;旋转机构(31),被设于送出机构;移动构件(35),按压藉旋转机构之旋转,沿着储集部的内壁进退,被储集在储集部之流动性树脂;检出部(39),检出起因于储集部内之流动性树脂之树脂压力,经由移动构件以施加在旋转机构上之扭力值;以及控制部(22),依据被检出之扭力值,控制移动构件之移动速度或旋转机构之旋转速度。控制部系藉控制使得前进以停止移动构件后再后退,控制被供给到收容部之流动性树脂之供给量。