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1. 发明专利

TW201838089A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201838089A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107107198
申请日：2018-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 糸山哲朗 , ITOYAMA, TETSURO
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明的課題為其目的是提供一種可提高處理對象物的面內的溫度分布的均勻性之靜電吸盤。本發明的解決手段為提供一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有載置處理對象物的第一主表面；電極層，配設於陶瓷介電質基板，底板，支撐陶瓷介電質基板；以及加熱板，配設於底板與第一主表面之間，加熱板具有：第一加熱器元件，藉由電流流動而發熱；以及第二加熱器元件，藉由電流流動而發熱，在沿著對第一主表面垂直的方向看時，第一加熱器元件的折彎比第二加熱器元件的折彎多，第一加熱器元件具有位於第二加熱器元件的間隙的部分。
简体摘要：本发明的课题为其目的是提供一种可提高处理对象物的面内的温度分布的均匀性之静电吸盘。本发明的解决手段为提供一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有载置处理对象物的第一主表面；电极层，配设于陶瓷介电质基板，底板，支撑陶瓷介电质基板；以及加热板，配设于底板与第一主表面之间，加热板具有：第一加热器组件，借由电流流动而发热；以及第二加热器组件，借由电流流动而发热，在沿着对第一主表面垂直的方向看时，第一加热器组件的折弯比第二加热器组件的折弯多，第一加热器组件具有位于第二加热器组件的间隙的部分。

2. 发明专利

TWI644393B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI644393B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW107107198
申请日：2018-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 糸山哲朗 , ITOYAMA, TETSURO
IPC分类号： H01L21/687

3. 发明专利

TWI621208B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI621208B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW106108017
申请日：2017-03-10
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L23/34

4. 发明专利

TWI582897B 靜電吸盤及晶圓處理裝置有权
简体标题：静电吸盘及晶圆处理设备
公开(公告)号：TWI582897B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW104141153
申请日：2015-12-08
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：穴田和輝 , ANADA, KAZUKI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00

5. 发明专利

TW201438141A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201438141A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW103111379
申请日：2014-03-27
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：穴田和輝 , ANADA, KAZUKI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67109 , H01L21/6831 , Y10T279/23
摘要：依照本發明的靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：承載吸附的對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面，和由第二主表面至第一主表面設置的貫通孔；金屬製的底板，支撐陶瓷介電質基板，具有與貫通孔連通的氣體導入道；以及絕緣體塞，具有：配設於氣體導入道的陶瓷多孔體，和配設於陶瓷多孔體與氣體導入道之間，比陶瓷多孔體緻密的陶瓷絕緣膜，陶瓷絕緣膜由陶瓷多孔體的表面深入到陶瓷多孔體的內部。對在氣體導入道內的放電可得到高的耐受電壓，或者可對吸附的對象物進行晶圓溫度均勻性高的溫度控制。
简体摘要：依照本发明的静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：承载吸附的对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面，和由第二主表面至第一主表面设置的贯通孔；金属制的底板，支撑陶瓷介电质基板，具有与贯通孔连通的气体导入道；以及绝缘体塞，具有：配设于气体导入道的陶瓷多孔体，和配设于陶瓷多孔体与气体导入道之间，比陶瓷多孔体致密的陶瓷绝缘膜，陶瓷绝缘膜由陶瓷多孔体的表面深入到陶瓷多孔体的内部。对在气体导入道内的放电可得到高的耐受电压，或者可对吸附的对象物进行晶圆温度均匀性高的温度控制。

6. 发明专利

TWI648816B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI648816B
公开(公告)日：2019-01-21
申请号：TW106124293
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00

7. 发明专利

TWI553774B 靜電吸盤及晶圓處理裝置有权
简体标题：静电吸盘及晶圆处理设备
公开(公告)号：TWI553774B
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：TW104113464
申请日：2015-04-28
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：穴田和輝 , ANADA, KAZUKI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 和田琢真 , WADA, TAKUMA
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/6831 , H01L21/68735

8. 发明专利

TWI651801B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI651801B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW106124294
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , H05B3/20

9. 发明专利

TW201812985A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201812985A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106124294
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , H05B3/20
摘要：一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：載置處理對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面；底板，配設於與陶瓷介電質基板分離的位置，支撐陶瓷介電質基板；以及加熱板，配設於陶瓷介電質基板與底板之間，加熱板具有：第一支撐板，包含金屬；加熱器元件，與第一支撐板重疊配設藉由電流流動而發熱；以及第一樹脂層，配設於第一支撐板與加熱器元件之間，加熱器元件具有與第一樹脂層對向的第一面，和朝與第一面相反側的第二面，第一面的寬度與第二面的寬度不同。
简体摘要：一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：载置处理对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面；底板，配设于与陶瓷介电质基板分离的位置，支撑陶瓷介电质基板；以及加热板，配设于陶瓷介电质基板与底板之间，加热板具有：第一支撑板，包含金属；加热器组件，与第一支撑板重叠配设借由电流流动而发热；以及第一树脂层，配设于第一支撑板与加热器组件之间，加热器组件具有与第一树脂层对向的第一面，和朝与第一面相反侧的第二面，第一面的宽度与第二面的宽度不同。

10. 发明专利

TW201804564A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201804564A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106124296
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：小松誠 , KOMATSU, MAKOTO , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI
IPC分类号： H01L21/683
摘要：提供一種靜電吸盤，包含：陶瓷介電質基板；底板，與陶瓷介電質基板分離，支撐陶瓷介電質基板；以及加熱板，配設於陶瓷介電質基板與底板之間，加熱板具有：第一支撐板、第二支撐板，配設於陶瓷介電質基板與底板之間；第一樹脂層、第二樹脂層，配設於第一支撐板與第二支撐板之間；樹脂部，配設於第一樹脂層與第二樹脂層之間；加熱器元件，配設於第一樹脂層與第二樹脂層之間，具有：第一導電部，藉由電流流動而發熱；以及第一空間部，藉由第一導電部的面內方向中的第一側端部，與第一樹脂層，與第二樹脂層，與樹脂部劃分。
简体摘要：提供一种静电吸盘，包含：陶瓷介电质基板；底板，与陶瓷介电质基板分离，支撑陶瓷介电质基板；以及加热板，配设于陶瓷介电质基板与底板之间，加热板具有：第一支撑板、第二支撑板，配设于陶瓷介电质基板与底板之间；第一树脂层、第二树脂层，配设于第一支撑板与第二支撑板之间；树脂部，配设于第一树脂层与第二树脂层之间；加热器组件，配设于第一树脂层与第二树脂层之间，具有：第一导电部，借由电流流动而发热；以及第一空间部，借由第一导电部的面内方向中的第一侧端部，与第一树脂层，与第二树脂层，与树脂部划分。

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