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1. 发明专利

TW201830133A 偏光影像取得裝置，圖案檢查裝置，偏光影像取得方法，及圖案檢查方法审中-公开
简体标题：偏光影像取得设备，图案检查设备，偏光影像取得方法，及图案检查方法
公开(公告)号：TW201830133A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106133621
申请日：2017-09-29
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G03F1/84 , G01N21/956 , G01N21/88
摘要：本發明的一態樣的偏光影像取得裝置，具備：相對於對物透鏡而位於與遮罩基板相反側的位置且配置於對物透鏡的瞳位置附近，對齊通過對物透鏡後的透過光的P偏光波與S偏光波互相垂直的方向的分割型1/2波長板、將P偏光波的軌道與S偏光波的軌道分離的羅雄稜鏡、將通過羅雄稜鏡的P偏光波與S偏光波分別成像於不同成像位置的成像透鏡、在與P偏光波與S偏光波的一者的成像位置不同的另一者的成像位置將另一者反射的反射鏡、將P偏光波與S偏光波之中的另一者的像攝像的第1影像感測器、將P偏光波與S偏光波之中的另一者的像攝像的第2影像感測器。
简体摘要：本发明的一态样的偏光影像取得设备，具备：相对于对物透镜而位于与遮罩基板相反侧的位置且配置于对物透镜的瞳位置附近，对齐通过对物透镜后的透过光的P偏光波与S偏光波互相垂直的方向的分割型1/2波长板、将P偏光波的轨道与S偏光波的轨道分离的罗雄棱镜、将通过罗雄棱镜的P偏光波与S偏光波分别成像于不同成像位置的成像透镜、在与P偏光波与S偏光波的一者的成像位置不同的另一者的成像位置将另一者反射的反射镜、将P偏光波与S偏光波之中的另一者的像摄像的第1影像传感器、将P偏光波与S偏光波之中的另一者的像摄像的第2影像传感器。

2. 发明专利

TW201812290A 帶電粒子束檢查裝置及帶電粒子束檢查方法审中-公开
简体标题：带电粒子束检查设备及带电粒子束检查方法
公开(公告)号：TW201812290A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106122265
申请日：2017-07-03
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：白土昌孝 , SHIRATSUCHI, MASATAKA , 能弾長作 , NODA, CHOSAKU , 小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22
CPC分类号： G01N23/2251 , G01N2223/3301 , G01N2223/3307 , G01N2223/426 , G01N2223/6116 , H01J37/1474 , H01J37/20 , H01J37/22
摘要：本發明的一個態樣之帶電粒子束檢查裝置，其特徵為，具備：第1偏向器，使用藉由於第1方向在基板面上以同一間距p並排N列(N為2以上的整數)且於和第1方向正交的第2方向並排N’列(N’為1以上的整數)之複數個帶電粒子束所構成的多射束，將多射束集體偏向至基板的檢查區域於第1方向以p/M(M為2以上的整數)所得到的尺寸且於第2方向以規定的尺寸被分割而成之複數個小區域當中，於第1方向以間距p並排N個且於第2方向並排N’個之基板上的N×N’個的小區域群，在平台朝第1方向的反方向連續移動以N/M‧p所得到的距離之期間，以跟隨平台的連續移動之方式將多射束做追蹤偏向，並且直到平台完成朝第1方向的反方向移動以N/M‧p所得到的距離以前，重新將多射束集體偏向至自N×N’個的小區域群朝第1方向相距N個之，於第1方向以間距p並排之新的N×N’個的小區域群，藉此進行追蹤重置；及第2偏向器，在多射束以跟隨平台的連續移動之方式受到追蹤偏向之期間，將多射束集體偏向，以掃描該N×N’個的小區域群。
简体摘要：本发明的一个态样之带电粒子束检查设备，其特征为，具备：第1偏向器，使用借由于第1方向在基板面上以同一间距p并排N列(N为2以上的整数)且于和第1方向正交的第2方向并排N’列(N’为1以上的整数)之复数个带电粒子束所构成的多射束，将多射束集体偏向至基板的检查区域于第1方向以p/M(M为2以上的整数)所得到的尺寸且于第2方向以规定的尺寸被分割而成之复数个小区域当中，于第1方向以间距p并排N个且于第2方向并排N’个之基板上的N×N’个的小区域群，在平台朝第1方向的反方向连续移动以N/M‧p所得到的距离之期间，以跟随平台的连续移动之方式将多射束做追踪偏向，并且直到平台完成朝第1方向的反方向移动以N/M‧p所得到的距离以前，重新将多射束集体偏向至自N×N’个的小区域群朝第1方向相距N个之，于第1方向以间距p并排之新的N×N’个的小区域群，借此进行追踪重置；及第2偏向器，在多射束以跟随平台的连续移动之方式受到追踪偏向之期间，将多射束集体偏向，以扫描该N×N’个的小区域群。

3. 发明专利

TW202011019A 多帶電粒子束檢查裝置以及多帶電粒子束檢查方法审中-公开
简体标题：多带电粒子束检查设备以及多带电粒子束检查方法
公开(公告)号：TW202011019A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW108116976
申请日：2019-05-16
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G01N23/2251 , H01L21/66 , G03F1/86
摘要：本發明是有關於一種多帶電粒子束檢查裝置以及多帶電粒子束檢查方法。本發明的一形態的多帶電粒子束檢查裝置包括：可移動的平台，載置形成有相同圖案的多個晶粒排列於規定的方向上的檢查對象基板；晶粒間距取得處理電路，取得多個晶粒的排列間距；倍率控制電路，以如下方式控制多帶電粒子束的倍率，於一面使平台連續移動一面使用多帶電粒子束拍攝檢查對象基板的情況下，多個晶粒的排列間距變成多帶電粒子束的各排列位置的光束分別負責拍攝的多個拍攝區域的規定的方向的拍攝區域週期的2以上的自然數倍；以及被檢查影像取得機構，使用已被控制成所述倍率的多帶電粒子束，取得已排列於檢查對象基板的多個晶粒的被檢查影像。
简体摘要：本发明是有关于一种多带电粒子束检查设备以及多带电粒子束检查方法。本发明的一形态的多带电粒子束检查设备包括：可移动的平台，载置形成有相同图案的多个晶粒排列于规定的方向上的检查对象基板；晶粒间距取得处理电路，取得多个晶粒的排列间距；倍率控制电路，以如下方式控制多带电粒子束的倍率，于一面使平台连续移动一面使用多带电粒子束拍摄检查对象基板的情况下，多个晶粒的排列间距变成多带电粒子束的各排列位置的光束分别负责拍摄的多个拍摄区域的规定的方向的拍摄区域周期的2以上的自然数倍；以及被检查影像取得机构，使用已被控制成所述倍率的多带电粒子束，取得已排列于检查对象基板的多个晶粒的被检查影像。

4. 发明专利

TW202004815A 多電子束照射裝置，多電子束檢查裝置及多電子束照射方法审中-公开
简体标题：多电子束照射设备，多电子束检查设备及多电子束照射方法
公开(公告)号：TW202004815A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108102832
申请日：2019-01-25
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC. , 美商紐富來科技美國公司 , NUFLARE TECHNOLOGY AMERICA, INC.
发明人：安藤厚司 , ANDO, ATSUSHI , 小笠原宗博 , OGASAWARA, MUNEHIRO , 小川力 , OGAWA, RIKI , 哈特里約翰 , HARTLEY, JOHN
IPC分类号： H01J31/02 , H01L21/66 , H01J37/28
摘要：本發明的一個態樣之多電子束照射裝置，其特徵為，具備：電磁透鏡，使入射的多電子束折射；及像差修正器，配置於電磁透鏡的磁場中，可對前述多電子束的各射束個別地施加偏壓電位及偏向電位；及對物透鏡，將各射束藉由偏壓電位及偏向電位而個別地被修正軌道後之前述多電子束合焦於試料面。
简体摘要：本发明的一个态样之多电子束照射设备，其特征为，具备：电磁透镜，使入射的多电子束折射；及像差修正器，配置于电磁透镜的磁场中，可对前述多电子束的各射束个别地施加偏压电位及偏向电位；及对物透镜，将各射束借由偏压电位及偏向电位而个别地被修正轨道后之前述多电子束合焦于试料面。

5. 发明专利

TWI676085B 偏光影像取得裝置、圖案檢查裝置、偏光影像取得方法、及圖案檢查方法有权
简体标题：偏光影像取得设备、图案检查设备、偏光影像取得方法、及图案检查方法
公开(公告)号：TWI676085B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：TW107118867
申请日：2018-06-01
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/36 , G02B27/12 , G02B27/28

6. 发明专利

TWI688765B 圖案檢查方法及圖案檢查裝置有权
简体标题：图案检查方法及图案检查设备
公开(公告)号：TWI688765B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW108104543
申请日：2019-02-12
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：平野亮一 , HIRANO, RYOICHI , 土屋英雄 , TSUCHIYA, HIDEO , 白土昌孝 , SHIRATSUCHI, MASATAKA , 橋本英昭 , HASHIMOTO, HIDEAKI , 小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G01N21/956 , G06T5/50 , G06T7/00 , G03F7/20

7. 发明专利

TW202004119A 位移測量裝置以及位移測量方法审中-公开
简体标题：位移测量设备以及位移测量方法
公开(公告)号：TW202004119A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108116959
申请日：2019-05-16
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI , 長浜博幸 , NAGAHAMA, HIROYUKI , 齊藤路世 , SAITO, MICHIYO
IPC分类号： G01B11/00
摘要：本發明是有關於一種位移測量裝置以及位移測量方法。本發明的一形態的位移測量裝置包括：載台，配置測量對象的對象物且能夠移動；第一光源，產生從傾斜方向入射至對象物面的第一光；第一位置檢測感測器，接收由對象物面反射的第一光的第一反射光，並對第一反射光的位置進行檢測；第二光源，以沿著第一反射光的光路逆向前進的方式，產生從傾斜方向入射至對象物面的第二光；第二位置檢測感測器，以沿著第一光的光路逆向前進的方式，接收由對象物面反射的第二光的第二反射光，並對第二反射光的位置進行檢測；光路移動機構，使第一光的光路、第一反射光的光路、第二光的光路、及第二反射光的光路中的至少一個光路移動；控制電路，在藉由使第一光及第二光與載台相對地移動，而使第一光及第二光在規定的高度位置橫越過反射率不同的兩個區域的邊界的情況下，控制光路移動機構，以使從第一位置檢測感測器輸出的多個強度訊號的總和與從第二位置檢測感測器輸出的多個強度訊號的總和同時改變；以及位移測定電路，運算出基於從第一位置檢測感測器輸出的多個強度訊號的對象物面的第一位移、和基於從第二位置檢測感測器輸出的多個強度訊號的對象物面的第二位移的平均值，並將其測定為對象物面的位移。
简体摘要：本发明是有关于一种位移测量设备以及位移测量方法。本发明的一形态的位移测量设备包括：载台，配置测量对象的对象物且能够移动；第一光源，产生从倾斜方向入射至对象物面的第一光；第一位置检测传感器，接收由对象物面反射的第一光的第一反射光，并对第一反射光的位置进行检测；第二光源，以沿着第一反射光的光路逆向前进的方式，产生从倾斜方向入射至对象物面的第二光；第二位置检测传感器，以沿着第一光的光路逆向前进的方式，接收由对象物面反射的第二光的第二反射光，并对第二反射光的位置进行检测；光路移动机构，使第一光的光路、第一反射光的光路、第二光的光路、及第二反射光的光路中的至少一个光路移动；控制电路，在借由使第一光及第二光与载台相对地移动，而使第一光及第二光在规定的高度位置横越过反射率不同的两个区域的边界的情况下，控制光路移动机构，以使从第一位置检测传感器输出的多个强度信号的总和与从第二位置检测传感器输出的多个强度信号的总和同时改变；以及位移测定电路，运算出基于从第一位置检测传感器输出的多个强度信号的对象物面的第一位移、和基于从第二位置检测传感器输出的多个强度信号的对象物面的第二位移的平均值，并将其测定为对象物面的位移。

8. 发明专利

TW201910924A 偏光影像取得裝置、圖案檢查裝置、偏光影像取得方法、及圖案檢查方法审中-公开
简体标题：偏光影像取得设备、图案检查设备、偏光影像取得方法、及图案检查方法
公开(公告)号：TW201910924A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107118867
申请日：2018-06-01
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/36 , G02B27/12 , G02B27/28
摘要：本發明的一態樣的偏光影像取得裝置，具備：在與通過對物透鏡的光的進行方向垂直的面內旋轉對稱4n等分的4n個區域之中，將通過對物透鏡的光的通過區域縮小至包夾中心軸而互相成為相反側的位置關係的2個區域，同時使4n個區域以每2個依序成為通過區域的方式變更通過區域的角度的可旋轉光圈；在通過區域的每個角度，將通過光圈的相對於通過區域的角度為同方向的P偏光成分與垂直方向的S偏光成分，變換成預先設定的垂直的第1及第2方向的偏向波的旋轉型1/2波長板。
简体摘要：本发明的一态样的偏光影像取得设备，具备：在与通过对物透镜的光的进行方向垂直的面内旋转对称4n等分的4n个区域之中，将通过对物透镜的光的通过区域缩小至包夹中心轴而互相成为相反侧的位置关系的2个区域，同时使4n个区域以每2个依序成为通过区域的方式变更通过区域的角度的可旋转光圈；在通过区域的每个角度，将通过光圈的相对于通过区域的角度为同方向的P偏光成分与垂直方向的S偏光成分，变换成预先设置的垂直的第1及第2方向的偏向波的旋转型1/2波长板。

9. 发明专利

TWI648535B 帶電粒子束檢查裝置及帶電粒子束檢查方法有权
简体标题：带电粒子束检查设备及带电粒子束检查方法
公开(公告)号：TWI648535B
公开(公告)日：2019-01-21
申请号：TW106122265
申请日：2017-07-03
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：白土昌孝 , SHIRATSUCHI, MASATAKA , 能弾長作 , NODA, CHOSAKU , 小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22

10. 发明专利

TW201602558A 攝像裝置、缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法审中-公开
简体标题：摄像设备、缺陷检查设备及缺陷检查方法
公开(公告)号：TW201602558A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104109385
申请日：2015-03-24
申请人：紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G06T7/00
摘要：實施形態，是在具備法拉第旋轉器之攝像裝置當中，提供一種能夠將對於配置於法拉第旋轉器周圍之元件的影響抑制在最小限度的攝像裝置。將來自光源(1001)的光透過偏光光束分離器(1002)照明至光罩(1006)，並將在光罩(1006)反射的光透過偏光光束分離器(1002)導引至感測器(1007)，藉由感測器(1007)拍攝光罩(1006)的圖樣。在偏光光束分離器(1002)和光罩(1006)之間，配置有法拉第旋轉器(1004)。法拉第旋轉器(1004)，和偏光光束分離器(1002)遠離配置，以使偏光光束分離器(1002)中的法拉第旋轉角成為-0.5度以上0.5度以下。
简体摘要：实施形态，是在具备法拉第旋转器之摄像设备当中，提供一种能够将对于配置于法拉第旋转器周围之组件的影响抑制在最小限度的摄像设备。将来自光源(1001)的光透过偏光光束分离器(1002)照明至光罩(1006)，并将在光罩(1006)反射的光透过偏光光束分离器(1002)导引至传感器(1007)，借由传感器(1007)拍摄光罩(1006)的图样。在偏光光束分离器(1002)和光罩(1006)之间，配置有法拉第旋转器(1004)。法拉第旋转器(1004)，和偏光光束分离器(1002)远离配置，以使偏光光束分离器(1002)中的法拉第旋转角成为-0.5度以上0.5度以下。

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