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1. 发明专利

TWI693383B 壓力測定系統有权
简体标题：压力测定系统
公开(公告)号：TWI693383B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW108125513
申请日：2019-07-19
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：佐藤貴伸 , SATO, TAKANOBU , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO , 吉澤秀樹 , YOSHIZAWA, HIDEKI
IPC分类号： G01L21/02

2. 发明专利

TW202022338A 壓力測定系統审中-公开
简体标题：压力测定系统
公开(公告)号：TW202022338A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108125513
申请日：2019-07-19
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：佐藤貴伸 , SATO, TAKANOBU , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO , 吉澤秀樹 , YOSHIZAWA, HIDEKI
IPC分类号： G01L21/02
摘要：提供一種構成為能夠簡單地對於設定值作設定、變更的真空計，以及具備有此真空計之壓力測定系統。真空計(PG)，係具備有被裝著於測定對象物(Vc)處之本體(1)，並對於其之內部的壓力作測定，於本體內，具備有接受電力供給並動作之感測器部(20)、和對於感測器部之動作作控制並且對從此感測器部而來之輸入進行處理而輸出特定之訊號之控制部(30)、和從外部電源(41)而接受電力供給並對於控制部和感測器部供給電力之第1電源電路部(40)，在本體內，係更進而具備有：藉由有線或無線而被與終端機(Mt)作連接並從此終端機而接受電力供給並且至少對於控制部進行電力供給之第2電源電路部(50)、和若是控制部經由第1電源電路部和第2電源電路部之其中一者而被進行電力供給，則將控制部經由通訊線路(61)來可自由通訊地與終端機作連接之通訊電路部(60)。
简体摘要：提供一种构成为能够简单地对于设置值作设置、变更的真空计，以及具备有此真空计之压力测定系统。真空计(PG)，系具备有被装着于测定对象物(Vc)处之本体(1)，并对于其之内部的压力作测定，于本体内，具备有接受电力供给并动作之传感器部(20)、和对于传感器部之动作作控制并且对从此传感器部而来之输入进行处理而输出特定之信号之控制部(30)、和从外部电源(41)而接受电力供给并对于控制部和传感器部供给电力之第1电源电路部(40)，在本体内，系更进而具备有：借由有线或无线而被与终端机(Mt)作连接并从此终端机而接受电力供给并且至少对于控制部进行电力供给之第2电源电路部(50)、和若是控制部经由第1电源电路部和第2电源电路部之其中一者而被进行电力供给，则将控制部经由通信线路(61)来可自由通信地与终端机作连接之通信电路部(60)。

3. 发明专利

TWI638151B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI638151B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04

4. 发明专利

TW201643396A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643396A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。將離子收集器之母線方向之長度(L2)設定為柵極之母線方向之長度(L1)之6%~80%的範圍內，並構成為將在離子收集器之母線方向的兩端部處之粒子放出區域作省略。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。将离子收集器之母线方向之长度(L2)设置为栅极之母线方向之长度(L1)之6%~80%的范围内，并构成为将在离子收集器之母线方向的两端部处之粒子放出区域作省略。

5. 发明专利

TWI626435B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI626435B
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32

6. 发明专利

TW201643397A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643397A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。又，係更進而具備有：燈絲點燈用之電源(E1)、和對於柵極而將較燈絲而更高之電位對於此柵極作賦予的柵極用之電源(E2)、和將燈絲之電位設為較離子收集器之電位而更高的電源(E3)。將對於燈絲之供給電力設為4W以下，並以使燈絲和柵極之間之射出電流成為2mA~10mA之範圍的方式來進行控制。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。又，系更进而具备有：灯丝点灯用之电源(E1)、和对于栅极而将较灯丝而更高之电位对于此栅极作赋予的栅极用之电源(E2)、和将灯丝之电位设为较离子收集器之电位而更高的电源(E3)。将对于灯丝之供给电力设为4W以下，并以使灯丝和栅极之间之射出电流成为2mA~10mA之范围的方式来进行控制。

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