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1. 发明专利

TW201643396A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643396A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。將離子收集器之母線方向之長度(L2)設定為柵極之母線方向之長度(L1)之6%~80%的範圍內，並構成為將在離子收集器之母線方向的兩端部處之粒子放出區域作省略。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。将离子收集器之母线方向之长度(L2)设置为栅极之母线方向之长度(L1)之6%~80%的范围内，并构成为将在离子收集器之母线方向的两端部处之粒子放出区域作省略。

2. 发明专利

TWI418771B 用於嚴厲環境中維持熱陰極發射能力之方法及設備有权
简体标题：用于严厉环境中维持热阴极发射能力之方法及设备
公开(公告)号：TWI418771B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：TW096122448
申请日：2007-06-22
申请人：布魯克機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：賴利K. 卡麥克 , CARMICHAEL, LARRY K. , 麥可D. 波斯坦恩 , BORENSTEIN, MICHAEL D. , 保羅C. 阿諾 , ARNOLD, PAUL C. , 史蒂芬C. 布朗屈 , BLOUCH, STEPHEN C. , 理查A. 克諾特 , KNOTT, RICHARD A.
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： H01J41/04

3. 发明专利

TWI638151B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI638151B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04

4. 发明专利

TWI626435B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI626435B
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32

5. 发明专利

TW201643397A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643397A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。又，係更進而具備有：燈絲點燈用之電源(E1)、和對於柵極而將較燈絲而更高之電位對於此柵極作賦予的柵極用之電源(E2)、和將燈絲之電位設為較離子收集器之電位而更高的電源(E3)。將對於燈絲之供給電力設為4W以下，並以使燈絲和柵極之間之射出電流成為2mA~10mA之範圍的方式來進行控制。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。又，系更进而具备有：灯丝点灯用之电源(E1)、和对于栅极而将较灯丝而更高之电位对于此栅极作赋予的栅极用之电源(E2)、和将灯丝之电位设为较离子收集器之电位而更高的电源(E3)。将对于灯丝之供给电力设为4W以下，并以使灯丝和栅极之间之射出电流成为2mA~10mA之范围的方式来进行控制。

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