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1. 发明专利

TWI638151B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI638151B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04

2. 发明专利

TWI693383B 壓力測定系統有权
简体标题：压力测定系统
公开(公告)号：TWI693383B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW108125513
申请日：2019-07-19
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：佐藤貴伸 , SATO, TAKANOBU , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO , 吉澤秀樹 , YOSHIZAWA, HIDEKI
IPC分类号： G01L21/02

3. 发明专利

TW201910765A 四極型質量分析計及其感度降低之判定方法审中-公开
简体标题：四极型质量分析计及其感度降低之判定方法
公开(公告)号：TW201910765A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107112848
申请日：2018-04-16
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 田中領太 , TANAKA, RYOTA , 黒川裕次郎 , KUROKAWA, YUJIRO , 松崎純 , MATSUZAKI, JUN , 猿渡治郎 , ENDO, JIRO
IPC分类号： G01N27/62 , H01J41/00
摘要： [課題] 提供一種能夠盡可能地迅速判定離子源之感度降低的低成本之四極型質量分析計及其感度降低之判定方法。　　[解決手段] 對於試驗體內之氣體成分進行分析之四極型質量分析計(MA)，係具備有：離子源(4)，係具有燈絲(41)以及柵極(43)，並將氣體離子化；和四極部(3)，係將4根的柱狀電極(31)在周方向上以特定間隔作配置所成；和第1離子收集器(2)，係將通過了四極部(3)後的特定質量數之氣體離子作捕集；和第2離子收集器(6)，係將藉由離子源(4)所產生的氣體離子作捕集，構成為根據在第1離子收集器(2)處所流動的第1離子電流值來測定試驗體內之特定質量數之氣體分壓，並且根據在第2離子收集器(6)處所流動的第2離子電流值來測定試驗體內之全壓，該四極型質量分析計，係具備有：判定手段，係將不會對於氣體成分之分析造成影響的特定範圍內之感度設為基準感度，若是相對於第2離子電流值之第1離子電流值之比成為基於基準感度所設定的判定值之同等以下，則判定為感度降低。
简体摘要： [课题] 提供一种能够尽可能地迅速判定离子源之感度降低的低成本之四极型质量分析计及其感度降低之判定方法。　　[解决手段] 对于试验体内之气体成分进行分析之四极型质量分析计(MA)，系具备有：离子源(4)，系具有灯丝(41)以及栅极(43)，并将气体离子化；和四极部(3)，系将4根的柱状电极(31)在周方向上以特定间隔作配置所成；和第1离子收集器(2)，系将通过了四极部(3)后的特定质量数之气体离子作捕集；和第2离子收集器(6)，系将借由离子源(4)所产生的气体离子作捕集，构成为根据在第1离子收集器(2)处所流动的第1离子电流值来测定试验体内之特定质量数之气体分压，并且根据在第2离子收集器(6)处所流动的第2离子电流值来测定试验体内之全压，该四极型质量分析计，系具备有：判定手段，系将不会对于气体成分之分析造成影响的特定范围内之感度设为基准感度，若是相对于第2离子电流值之第1离子电流值之比成为基于基准感度所设置的判定值之同等以下，则判定为感度降低。

4. 发明专利

TW201643396A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643396A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106151
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。將離子收集器之母線方向之長度(L2)設定為柵極之母線方向之長度(L1)之6%~80%的範圍內，並構成為將在離子收集器之母線方向的兩端部處之粒子放出區域作省略。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。将离子收集器之母线方向之长度(L2)设置为栅极之母线方向之长度(L1)之6%~80%的范围内，并构成为将在离子收集器之母线方向的两端部处之粒子放出区域作省略。

5. 发明专利

TW202022338A 壓力測定系統审中-公开
简体标题：压力测定系统
公开(公告)号：TW202022338A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108125513
申请日：2019-07-19
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：佐藤貴伸 , SATO, TAKANOBU , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO , 吉澤秀樹 , YOSHIZAWA, HIDEKI
IPC分类号： G01L21/02
摘要：提供一種構成為能夠簡單地對於設定值作設定、變更的真空計，以及具備有此真空計之壓力測定系統。真空計(PG)，係具備有被裝著於測定對象物(Vc)處之本體(1)，並對於其之內部的壓力作測定，於本體內，具備有接受電力供給並動作之感測器部(20)、和對於感測器部之動作作控制並且對從此感測器部而來之輸入進行處理而輸出特定之訊號之控制部(30)、和從外部電源(41)而接受電力供給並對於控制部和感測器部供給電力之第1電源電路部(40)，在本體內，係更進而具備有：藉由有線或無線而被與終端機(Mt)作連接並從此終端機而接受電力供給並且至少對於控制部進行電力供給之第2電源電路部(50)、和若是控制部經由第1電源電路部和第2電源電路部之其中一者而被進行電力供給，則將控制部經由通訊線路(61)來可自由通訊地與終端機作連接之通訊電路部(60)。
简体摘要：提供一种构成为能够简单地对于设置值作设置、变更的真空计，以及具备有此真空计之压力测定系统。真空计(PG)，系具备有被装着于测定对象物(Vc)处之本体(1)，并对于其之内部的压力作测定，于本体内，具备有接受电力供给并动作之传感器部(20)、和对于传感器部之动作作控制并且对从此传感器部而来之输入进行处理而输出特定之信号之控制部(30)、和从外部电源(41)而接受电力供给并对于控制部和传感器部供给电力之第1电源电路部(40)，在本体内，系更进而具备有：借由有线或无线而被与终端机(Mt)作连接并从此终端机而接受电力供给并且至少对于控制部进行电力供给之第2电源电路部(50)、和若是控制部经由第1电源电路部和第2电源电路部之其中一者而被进行电力供给，则将控制部经由通信线路(61)来可自由通信地与终端机作连接之通信电路部(60)。

6. 发明专利

TWI647450B 四極型質量分析計及其感度降低之判定方法有权
简体标题：四极型质量分析计及其感度降低之判定方法
公开(公告)号：TWI647450B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW107112848
申请日：2018-04-16
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 田中領太 , TANAKA, RYOTA , 黒川裕次郎 , KUROKAWA, YUJIRO , 松崎純 , MATSUZAKI, JUN , 猿渡治郎 , ENDO, JIRO
IPC分类号： G01N27/62 , H01J41/00

7. 发明专利

TWI626435B 三極管型離子真空計有权
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TWI626435B
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32

8. 发明专利

TW201643397A 三極管型離子真空計审中-公开
简体标题：三极管型离子真空计
公开(公告)号：TW201643397A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105106152
申请日：2016-03-01
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：宮下剛 , MIYASHITA, TAKESHI , 中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 福原万沙洋 , FUKUHARA, MASAHIRO
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：提供一種能夠減少從離子收集器表面所放出的粒子之影響而不會出現測定誤差地來測定測定對象物之壓力的三極管型離子真空計。三極管型離子真空計(IG)，係具備有燈絲(2)、和被配置在燈絲之周圍的具有筒狀之輪廓之柵極(3)；和在柵極之周圍而被同心地作了配置的筒狀之離子收集器(4)。又，係更進而具備有：燈絲點燈用之電源(E1)、和對於柵極而將較燈絲而更高之電位對於此柵極作賦予的柵極用之電源(E2)、和將燈絲之電位設為較離子收集器之電位而更高的電源(E3)。將對於燈絲之供給電力設為4W以下，並以使燈絲和柵極之間之射出電流成為2mA~10mA之範圍的方式來進行控制。
简体摘要：提供一种能够减少从离子收集器表面所放出的粒子之影响而不会出现测定误差地来测定测定对象物之压力的三极管型离子真空计。三极管型离子真空计(IG)，系具备有灯丝(2)、和被配置在灯丝之周围的具有筒状之轮廓之栅极(3)；和在栅极之周围而被同心地作了配置的筒状之离子收集器(4)。又，系更进而具备有：灯丝点灯用之电源(E1)、和对于栅极而将较灯丝而更高之电位对于此栅极作赋予的栅极用之电源(E2)、和将灯丝之电位设为较离子收集器之电位而更高的电源(E3)。将对于灯丝之供给电力设为4W以下，并以使灯丝和栅极之间之射出电流成为2mA~10mA之范围的方式来进行控制。

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