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    • 10. 发明专利
    • 感光性樹脂組成物及半導體裝置製造方法
    • 感光性树脂组成物及半导体设备制造方法
    • TW201736954A
    • 2017-10-16
    • TW105142282
    • 2016-12-20
    • 帝人股份有限公司TEIJIN LIMITED
    • 添田淳史SOEDA, JUNSHI池田吉紀IKEDA, YOSHINORI
    • G03F7/004G03F7/075G03F7/038G03F7/40H01L21/266
    • G03F7/004G03F7/075G03F7/09G03F7/20G03F7/40H01L21/265H01L21/266
    • 本發明係提供一種具有高溫耐熱性及導電性,無對半導體基材產生金屬雜質之疑慮,可形成圖型,並可適用於低成本且高溫之離子植入程序的感光性樹脂組成物及使用此種組成物的半導體裝置之製造方法。 本發明之感光性樹脂組成物係含有感光性樹脂、以及導電性材料及/或半導體材料的粒子。又,製造半導體裝置的本發明之方法係包含:將本發明之感光性樹脂組成物的膜之圖型(11)形成於半導體層或基材(2)上之步驟;對感光性樹脂組成物的膜之圖型進行燒成,而形成離子植入用遮罩(13)之步驟;透過離子植入用遮罩的圖型開口部(12),對半導體層或基材(2)植入離子之步驟;及去除離子植入用遮罩(13)之步驟。
    • 本发明系提供一种具有高温耐热性及导电性,无对半导体基材产生金属杂质之疑虑,可形成图型,并可适用于低成本且高温之离子植入进程的感光性树脂组成物及使用此种组成物的半导体设备之制造方法。 本发明之感光性树脂组成物系含有感光性树脂、以及导电性材料及/或半导体材料的粒子。又,制造半导体设备的本发明之方法系包含:将本发明之感光性树脂组成物的膜之图型(11)形成于半导体层或基材(2)上之步骤;对感光性树脂组成物的膜之图型进行烧成,而形成离子植入用遮罩(13)之步骤;透过离子植入用遮罩的图型开口部(12),对半导体层或基材(2)植入离子之步骤;及去除离子植入用遮罩(13)之步骤。