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    • 2. 发明专利
    • 石英玻璃坩堝及其製造方法
    • 石英玻璃坩埚及其制造方法
    • TW201812119A
    • 2018-04-01
    • TW106131334
    • 2017-09-13
    • 日商勝高股份有限公司SUMCO CORPORATION
    • 岸弘史KISHI, HIROSHI福井正德FUKUI, MASANORI
    • C30B15/10
    • C30B29/06C03B20/00C30B15/10
    • 本發明之課題在於提供一種可耐受多重提拉等極長時間之單晶提拉步驟的石英玻璃坩堝及其製造方法。 本發明之石英玻璃坩堝1具備:高含鋁層14B,其包含鋁平均濃度相對較高之石英玻璃,且係以構成石英玻璃坩堝1之外表面10b之方式設置;及低含鋁層14A,其包含鋁平均濃度低於高含鋁層14B之石英玻璃,且設置於高含鋁層14B之內側;低含鋁層14A包含不透明層11,該不透明層11包含含有大量微小氣泡之石英玻璃,高含鋁層14B包含氣泡含有率較不透明層11降低之透明或半透明之石英玻璃。
    • 本发明之课题在于提供一种可耐受多重提拉等极长时间之单晶提拉步骤的石英玻璃坩埚及其制造方法。 本发明之石英玻璃坩埚1具备:高含铝层14B,其包含铝平均浓度相对较高之石英玻璃,且系以构成石英玻璃坩埚1之外表面10b之方式设置;及低含铝层14A,其包含铝平均浓度低于高含铝层14B之石英玻璃,且设置于高含铝层14B之内侧;低含铝层14A包含不透明层11,该不透明层11包含含有大量微小气泡之石英玻璃,高含铝层14B包含气泡含有率较不透明层11降低之透明或半透明之石英玻璃。