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1. 发明专利

TWI670767B 晶圓之表面處理方法及用於該方法之組合物有权
简体标题：晶圆之表面处理方法及用于该方法之组合物
公开(公告)号：TWI670767B
公开(公告)日：2019-09-01
申请号：TW107112874
申请日：2018-04-16
申请人：日商中央硝子股份有限公司 , CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
发明人：高田朋宏 , TAKATA, TOMOHIRO , 照井貴陽 , TERUI, YOSHIHARU
IPC分类号： H01L21/306 , C09K3/18

2. 发明专利

TW201843731A 晶圓之表面處理方法及用於該方法之組合物审中-公开
简体标题：晶圆之表面处理方法及用于该方法之组合物
公开(公告)号：TW201843731A
公开(公告)日：2018-12-16
申请号：TW107112874
申请日：2018-04-16
申请人：日商中央硝子股份有限公司 , CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
发明人：高田朋宏 , TAKATA, TOMOHIRO , 照井貴陽 , TERUI, YOSHIHARU
IPC分类号： H01L21/306 , C09K3/18
摘要：本發明之晶圓之表面處理方法之特徵在於：其包含於在表面具有凹凸圖案且至少於該凹部具有Si元素之晶圓之洗淨中，於在上述凹凸圖案之至少凹部保持有液體之狀態下，將組合物之蒸氣供至上述凹凸圖案表面，於晶圓表面使該蒸氣狀態變化為上述組合物之液體狀態，將上述凹部所保持之液體置換為該組合物之液體並保持，藉此至少於上述凹部表面形成撥水性保護膜之步驟，且上述組合物包含：下述通式[1]所表示之矽烷化劑；及沸點低於上述矽烷化劑之沸點之下述通式[2]所表示之含氟醚於總量100質量%之中為99.8～100質量%之溶劑，上述矽烷化劑之量相對於該矽烷化劑與溶劑之總量為2～30質量%，上述組合物發揮與先前同等之撥水性賦予效果，並且能夠於無引起作為保護膜形成成分之矽烷化劑之熱分解之虞的溫度下蒸氣化，即便矽烷化劑之濃度為2質量%以上，亦能夠抑制不溶物之析出或沈澱。
简体摘要：本发明之晶圆之表面处理方法之特征在于：其包含于在表面具有凹凸图案且至少于该凹部具有Si元素之晶圆之洗净中，于在上述凹凸图案之至少凹部保持有液体之状态下，将组合物之蒸气供至上述凹凸图案表面，于晶圆表面使该蒸气状态变化为上述组合物之液体状态，将上述凹部所保持之液体置换为该组合物之液体并保持，借此至少于上述凹部表面形成拨水性保护膜之步骤，且上述组合物包含：下述通式[1]所表示之硅烷化剂；及沸点低于上述硅烷化剂之沸点之下述通式[2]所表示之含氟醚于总量100质量%之中为99.8～100质量%之溶剂，上述硅烷化剂之量相对于该硅烷化剂与溶剂之总量为2～30质量%，上述组合物发挥与先前同等之拨水性赋予效果，并且能够于无引起作为保护膜形成成分之硅烷化剂之热分解之虞的温度下蒸气化，即便硅烷化剂之浓度为2质量%以上，亦能够抑制不溶物之析出或沈淀。

3. 发明专利

TW201715010A 晶圓之洗淨方法及用於該洗淨方法之藥液审中-公开
简体标题：晶圆之洗净方法及用于该洗净方法之药液
公开(公告)号：TW201715010A
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW105126435
申请日：2016-08-18
申请人：中央硝子股份有限公司 , CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
发明人：齋尾崇 , SAIO, TAKASHI , 奧村雄三 , OKUMURA, YUZO , 福井由季 , FUKUI, YUKI , 深澤宏紀 , FUKAZAWA, HIROKI , 高田朋宏 , TAKATA, TOMOHIRO , 公文創一 , KUMON, SOICHI , 阿部一之 , ABE, KAZUYUKI , 渡辺翔太 , WATANABE, SHOTA , 井町昌義 , IMACHI, MASAYOSHI
IPC分类号： C09K3/00 , B08B3/04 , H01L21/304 , H01L21/3105 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/304
摘要：本發明提供一種使用含有氯乙烯樹脂作為接液構件之洗淨裝置之晶圓之洗淨方法中所使用之撥水性保護膜形成用藥液。本發明使用如下藥液，該藥液含有：下述通式[1]所表示之烷氧基矽烷、及選自由下述通式[2]所表示之磺酸、該磺酸之酐、該磺酸之鹽及下述通式[3]所表示之磺酸衍生物所組成之群中之至少一種、以及稀釋溶劑；且上述稀釋溶劑含有選自由烴、醚及硫醇所組成之群中之至少一種溶劑。 (R1)aSi(H)b(OR2)4-a-b[1] R3-S(=O)2OH [2] R3-S(=O)2O-Si(H)3-c(R4)c[3]
简体摘要：本发明提供一种使用含有氯乙烯树脂作为接液构件之洗净设备之晶圆之洗净方法中所使用之拨水性保护膜形成用药液。本发明使用如下药液，该药液含有：下述通式[1]所表示之烷氧基硅烷、及选自由下述通式[2]所表示之磺酸、该磺酸之酐、该磺酸之盐及下述通式[3]所表示之磺酸衍生物所组成之群中之至少一种、以及稀释溶剂；且上述稀释溶剂含有选自由烃、醚及硫醇所组成之群中之至少一种溶剂。 (R1)aSi(H)b(OR2)4-a-b[1] R3-S(=O)2OH [2] R3-S(=O)2O-Si(H)3-c(R4)c[3]

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