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    • 3. 发明专利
    • 使用標準化載體以形成嵌入式晶圓級晶片尺寸封裝的半導體裝置及方法
    • 使用标准化载体以形成嵌入式晶圆级芯片尺寸封装的半导体设备及方法
    • TW201820553A
    • 2018-06-01
    • TW107106172
    • 2013-11-04
    • 新加坡商史達晶片有限公司STATS CHIPPAC, LTD.
    • 韓丙濬HAN, BYUNG JOON沈一權SHIM, IL KWON林耀劍LIN, YAOJIAN瑪莉姆蘇 潘迪CMARIMUTHU, PANDI C.
    • H01L23/28H01L21/56
    • 本發明提供一種半導體裝置,該半導體裝置包含一標準化載體。一半導體晶圓包含複數個半導體晶粒以及一基底半導體材料。該半導體晶圓會被單體化裁切貫穿該基底半導體材料的一第一部分,以便分離該些半導體晶粒。該些半導體晶粒被設置在該標準化載體上方。該標準化載體的大小和半導體晶粒的大小無關。一囊封體會被沉積於該標準化載體上方以及半導體晶粒周圍。一互連結構會被形成於半導體晶粒上方,同時讓該囊封體不會有該互連結構。該半導體裝置會被單體化裁切貫穿該囊封體。囊封體會殘留設置在該半導體晶粒的一側邊上。或者,該半導體裝置會被單體化裁切貫穿該基底半導體的一第二部分並且貫穿該囊封體,以便從半導體晶粒的該側邊處移除該基底半導體的該第二部分和囊封體。
    • 本发明提供一种半导体设备,该半导体设备包含一标准化载体。一半导体晶圆包含复数个半导体晶粒以及一基底半导体材料。该半导体晶圆会被单体化裁切贯穿该基底半导体材料的一第一部分,以便分离该些半导体晶粒。该些半导体晶粒被设置在该标准化载体上方。该标准化载体的大小和半导体晶粒的大小无关。一囊封体会被沉积于该标准化载体上方以及半导体晶粒周围。一互链接构会被形成于半导体晶粒上方,同时让该囊封体不会有该互链接构。该半导体设备会被单体化裁切贯穿该囊封体。囊封体会残留设置在该半导体晶粒的一侧边上。或者,该半导体设备会被单体化裁切贯穿该基底半导体的一第二部分并且贯穿该囊封体,以便从半导体晶粒的该侧边处移除该基底半导体的该第二部分和囊封体。