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1. 发明专利

TW201351559A 具有即時熱區調節能力的高溫靜電夾具审中-公开
简体标题：具有实时热区调节能力的高温静电夹具
公开(公告)号：TW201351559A
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：TW102114621
申请日：2013-04-24
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：路布米斯基德米崔 , LUBOMIRSKY, DMITRY , 孫語南 , SUN, JENNIFER Y. , 薩奇山恩 , THACH, SENH , 林興 , LIN, XING , 威爾維斯麥克D , WILLWERTH MICHAEL D. , 馬可拉契夫空斯坦汀 , MAKHRATCHEV, KONSTANTIN
IPC分类号： H01L21/687 , C23C16/52
CPC分类号： H02N13/00 , B23B31/28 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6831 , H01L21/68792
摘要：本發明的實施例提供用於在高溫下操作之靜電夾具。本發明的一個實施例提供用於靜電夾具之介電夾具體。介電夾具體包括基板支撐板、電極及軸，該基板支撐板具有用於接收基板之頂表面及與頂表面相對的背表面，該電極嵌入基板支撐板中，該軸具有第一端及與該第一端相對的第二端，該第一端附接於基板支撐板的背表面。第二端經設置以接觸冷卻底座及提供溫度控制至基板支撐板。軸為中空的，具有包圍中心開口的側壁及兩個或兩個以上通路，該兩個或兩個以上通路穿過側壁形成且自第一端延伸至第二端。
简体摘要：本发明的实施例提供用于在高温下操作之静电夹具。本发明的一个实施例提供用于静电夹具之介电夹具体。介电夹具体包括基板支撑板、电极及轴，该基板支撑板具有用于接收基板之顶表面及与顶表面相对的背表面，该电极嵌入基板支撑板中，该轴具有第一端及与该第一端相对的第二端，该第一端附接于基板支撑板的背表面。第二端经设置以接触冷却底座及提供温度控制至基板支撑板。轴为中空的，具有包围中心开口的侧壁及两个或两个以上通路，该两个或两个以上通路穿过侧壁形成且自第一端延伸至第二端。

2. 发明专利

TWI358198B 電漿反應器加熱靜電吸座用之高交流電高ＲＦ功率之ＡＣ-ＲＦ去耦合濾波器 HIGH AC CURRENT HIGH RF POWER AC-RF DECOUPLING FILTER FOR PLASMA REACTOR HEATED ELECTROSTATIC CHUCK 有权
简体标题：等离子反应器加热静电吸座用之高交流电高ＲＦ功率之ＡＣ-ＲＦ去耦合滤波器 HIGH AC CURRENT HIGH RF POWER AC-RF DECOUPLING FILTER FOR PLASMA REACTOR HEATED ELECTROSTATIC CHUCK
公开(公告)号：TWI358198B
公开(公告)日：2012-02-11
申请号：TW096113821
申请日：2007-04-19
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：杜德羅范倫提N , 威爾維斯麥克D , 派特森亞歷山大M , 海契布萊恩K , 塞蒙斯詹姆斯E 三世 , 荷倫約翰P
IPC分类号： H03H , H01L
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32706 , H03H1/0007
摘要：本發明公開了一種射頻阻斷濾波器，其隔絕兩相交流電功率源以及至少2千伏特峰值對峰值的高頻功率，該高頻功率係反應性耦合至電阻加熱元件。濾波器同時將來自兩相交流電源的數千瓦之60Hz的交流電功率提供給電阻加熱元件，而不會產生過熱現象。兩相交流電功率源具有一對接頭，並且電阻加熱元件亦具有一對接頭。濾波器包括：一對圓柱形的非導電封套，各個封套之內徑介於約1到2英寸之間；以及各自為複數個之熔融鐵粉的環形線圈，該些環形線圈係同軸堆疊在該對圓柱形封套的各個封套中，並且具有大約10的磁性滲透率，其中環形線圈的外徑與各個封套的內徑大致相同。一對直徑在3毫米到3.5毫米之間的金屬線導體係螺旋狀地纏繞在其相應之該對封套之一上，從而針對各個封套形成匝數介於約16匝到24匝範圍內的各自電感器線圈，各個導體具有輸入端和輸出端。
简体摘要：本发明公开了一种射频阻断滤波器，其隔绝两相交流电功率源以及至少2千伏特峰值对峰值的高频功率，该高频功率系反应性耦合至电阻加热组件。滤波器同时将来自两相交流电源的数千瓦之60Hz的交流电功率提供给电阻加热组件，而不会产生过热现象。两相交流电功率源具有一对接头，并且电阻加热组件亦具有一对接头。滤波器包括：一对圆柱形的非导电封套，各个封套之内径介于约1到2英寸之间；以及各自为复数个之熔融铁粉的环形线圈，该些环形线圈系同轴堆栈在该对圆柱形封套的各个封套中，并且具有大约10的磁性渗透率，其中环形线圈的外径与各个封套的内径大致相同。一对直径在3毫米到3.5毫米之间的金属线导体系螺旋状地缠绕在其相应之该对封套之一上，从而针对各个封套形成匝数介于约16匝到24匝范围内的各自电感器线圈，各个导体具有输入端和输出端。

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