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2. 发明专利

TW201214566A 雷射光束定位系統 LASER BEAM POSITIONING SYSTEM 审中-公开
简体标题：激光光束定位系统 LASER BEAM POSITIONING SYSTEM
公开(公告)号：TW201214566A
公开(公告)日：2012-04-01
申请号：TW100109187
申请日：2011-03-17
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：特提茲基李歐尼德M , 庫特尼爾克希那庫瑪 , 杭特亞倫 , 莫非特史帝夫
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B23K26/0066 , B23K26/0006 , B23K26/0823 , B23K26/0876 , B23K26/12 , B23K26/127 , B23K2201/40 , B23K2203/52 , B23K2203/56 , Y10T29/41
摘要：提供了一種用於標定(targeting)輻射光束的方法與設備。一導光反射鏡(beam steering mirror)與一捕光反射鏡(beam capture mirror)係以可移動方式置於一光學路徑上。一控制器係於一x-y平面中移動該導光反射鏡與該捕光反射鏡，並旋轉該等反射鏡，以將光束標定於一表面上之一靶材位置，同時為表面上所有靶材位置而使光學路徑長度保持為實質固定。藉由一旋轉致動器來旋轉表面，以使所有的靶材位置都為可由光束標定光學進入之位置。標定與光學路徑長度上的不精確性可由對位於光束進入點(beam entry point)之一致動光圈及/或一調焦鏡提供一光學範圍尋找偵測器而加以補償，致動光圈及調焦鏡皆與控制器連接。
简体摘要：提供了一种用于标定(targeting)辐射光束的方法与设备。一导光反射镜(beam steering mirror)与一捕光反射镜(beam capture mirror)系以可移动方式置于一光学路径上。一控制器系于一x-y平面中移动该导光反射镜与该捕光反射镜，并旋转该等反射镜，以将光束标定于一表面上之一靶材位置，同时为表面上所有靶材位置而使光学路径长度保持为实质固定。借由一旋转致动器来旋转表面，以使所有的靶材位置都为可由光束标定光学进入之位置。标定与光学路径长度上的不精确性可由对位于光束进入点(beam entry point)之一致动光圈及/或一调焦镜提供一光学范围寻找侦测器而加以补偿，致动光圈及调焦镜皆与控制器连接。

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