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    • 8. 发明专利
    • 具有減少的電弧作用之靜電夾盤 ELECTROSTATIC CHUCK WITH REDUCED ARCING
    • 具有减少的电弧作用之静电夹盘 ELECTROSTATIC CHUCK WITH REDUCED ARCING
    • TW201130084A
    • 2011-09-01
    • TW099139813
    • 2010-11-18
    • 應用材料股份有限公司
    • 威沃斯麥克D帕拉葛西維里大衛布希博格二世道格拉斯A千范麥可G
    • H01L
    • H01L21/6833Y10T279/23
    • 在此提供靜電夾盤的實施例。在一些實施例中,靜電夾盤可包括:一主體,其具有一具凹口的上周邊邊緣,該邊緣是由一第一表面與一階梯狀第二表面所界定,該第一表面垂直於一主體側壁,該階梯狀第二表面配置在該第一表面及一主體上表面之間,該主體尚具有複數個孔洞,該等孔洞配置在沿該第一表面穿過主體處;複數個緊固件,該等緊固件配置成穿過該複數個孔洞,以將該主體耦接配置在該主體下方的一基座;一介電構件,該介電構件配置在該主體上表面之上以靜電式固持一基材;一絕緣環,其在該具凹口的上周邊邊緣內繞該主體配置,並且具有一階梯狀內側壁,該階梯狀內側壁接合該階梯狀第二表面以界定該二表面之間的一非線性界面;以及一邊緣環,其配置在該絕緣環之上,該非線性界面限制該邊緣環與該緊固件之間的電弧作用。
    • 在此提供静电夹盘的实施例。在一些实施例中,静电夹盘可包括:一主体,其具有一具凹口的上周边边缘,该边缘是由一第一表面与一阶梯状第二表面所界定,该第一表面垂直于一主体侧壁,该阶梯状第二表面配置在该第一表面及一主体上表面之间,该主体尚具有复数个孔洞,该等孔洞配置在沿该第一表面穿过主体处;复数个紧固件,该等紧固件配置成穿过该复数个孔洞,以将该主体耦接配置在该主体下方的一基座;一介电构件,该介电构件配置在该主体上表面之上以静电式固持一基材;一绝缘环,其在该具凹口的上周边边缘内绕该主体配置,并且具有一阶梯状内侧壁,该阶梯状内侧壁接合该阶梯状第二表面以界定该二表面之间的一非线性界面;以及一边缘环,其配置在该绝缘环之上,该非线性界面限制该边缘环与该紧固件之间的电弧作用。