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1. 发明专利

TW201305531A 圖案量測裝置及圖案量測方法审中-公开
简体标题：图案量测设备及图案量测方法
公开(公告)号：TW201305531A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101121007
申请日：2012-06-13
申请人：愛德萬測試股份有限公司 , ADVANTEST CORPORATION , 凸版印刷股份有限公司 , TOPPAN PRINTING CO., LTD.
发明人：松本純 , MATSUMOTO, JUN , 深谷洋 , FUKAYA, HIROSHI , 米倉勳 , YONEKURA, ISAO , 波木井秀充 , HAKII, HIDEMITSU
IPC分类号： G01B15/00 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2446 , H01J2237/24495 , H01J2237/24592
摘要：一種圖案量測裝置，其係用電子束掃描樣本表面的觀測區以及在該電子束的照射下，使用配置於電子束之光軸四周的多個電子偵測器偵測由該樣本表面射出的二次電子。在與圖案延伸方向正交而且對於該光軸是彼此相對的兩個方向取得影像。然後，由該等影像提取與每個邊緣正交的線輪廓，以及取得該等線輪廓的差集以得到差集輪廓。偵測每個邊緣之上端的位置係基於該差集輪廓的下降部份，以及偵測邊緣下端的位置基於該等線輪廓中之一者的上升部份或下降部份。
简体摘要：一种图案量测设备，其系用电子束扫描样本表面的观测区以及在该电子束的照射下，使用配置于电子束之光轴四周的多个电子侦测器侦测由该样本表面射出的二次电子。在与图案延伸方向正交而且对于该光轴是彼此相对的两个方向取得影像。然后，由该等影像提取与每个边缘正交的线轮廓，以及取得该等线轮廓的差集以得到差集轮廓。侦测每个边缘之上端的位置系基于该差集轮廓的下降部份，以及侦测边缘下端的位置基于该等线轮廓中之一者的上升部份或下降部份。

2. 发明专利

TW200942800A 圖案測長裝置及圖案測長方法失效
简体标题：图案测长设备及图案测长方法
公开(公告)号：TW200942800A
公开(公告)日：2009-10-16
申请号：TW098105962
申请日：2009-02-25
申请人：愛德萬測試股份有限公司
发明人：松本純 , 小木曾祥明
IPC分类号： G01N , H01J
CPC分类号： H01J37/222 , G03F1/84 , G03F1/86 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24592 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817
摘要：本發明係提供一種圖案之邊緣間距離之重現性良好且可以高精度進行測定之圖案測長裝置及圖案測長方法。前述圖案測長裝置包含：電子束照射部，可朝試料上掃瞄並照射電子束；影像資料取得部，可依據由已藉電子束之照射而形成有圖案之試料上產生之電子之電子量而取得前述圖案之影像；測定對象領域設定部，可設定包含圖案之影像之邊緣之一對測定領域；及，控制部，可檢出測定領域內之圖案之邊緣形狀，並算出一對測定領域內之圖案之邊緣間之距離。控制部可以預定移動平均寬度將以預定間隔之測定點之位置座標顯示測定領域內之圖案邊緣所得之邊緣輪廓移動平均而算出邊緣特性曲線，並以邊緣特性曲線之峰值位置作為測定領域內之圖案之邊緣位置。
简体摘要：本发明系提供一种图案之边缘间距离之重现性良好且可以高精度进行测定之图案测长设备及图案测长方法。前述图案测长设备包含：电子束照射部，可朝试料上扫瞄并照射电子束；影像数据取得部，可依据由已藉电子束之照射而形成有图案之试料上产生之电子之电子量而取得前述图案之影像；测定对象领域设置部，可设置包含图案之影像之边缘之一对测定领域；及，控制部，可检出测定领域内之图案之边缘形状，并算出一对测定领域内之图案之边缘间之距离。控制部可以预定移动平均宽度将以预定间隔之测定点之位置座标显示测定领域内之图案边缘所得之边缘轮廓移动平均而算出边缘特性曲线，并以边缘特性曲线之峰值位置作为测定领域内之图案之边缘位置。

3. 发明专利

TWI375786B 圖案測長裝置及圖案測長方法失效
简体标题：图案测长设备及图案测长方法
公开(公告)号：TWI375786B
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW098105962
申请日：2009-02-25
申请人：愛德萬測試股份有限公司
发明人：松本純 , 小木曾祥明
IPC分类号： G01B , H01J
CPC分类号： H01J37/222 , G03F1/84 , G03F1/86 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24592 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817
摘要：本發明係提供一種圖案之邊緣間距離之重現性良好且可以高精度進行測定之圖案測長裝置及圖案測長方法。
前述圖案測長裝置包含：電子束照射部，可朝試料上掃瞄並照射電子束；影像資料取得部，可依據由已藉電子束之照射而形成有圖案之試料上產生之電子之電子量而取得前述圖案之影像；測定對象領域設定部，可設定包含圖案之影像之邊緣之一對測定領域；及，控制部，可檢出測定領域內之圖案之邊緣形狀，並算出一對測定領域內之圖案之邊緣間之距離。控制部可以預定移動平均寬度將以預定間隔之測定點之位置座標顯示測定領域內之圖案邊緣所得之邊緣輪廓移動平均而算出邊緣特性曲線，並以邊緣特性曲線之峰值位置作為測定領域內之圖案之邊緣位置。
简体摘要：本发明系提供一种图案之边缘间距离之重现性良好且可以高精度进行测定之图案测长设备及图案测长方法。前述图案测长设备包含：电子束照射部，可朝试料上扫瞄并照射电子束；影像数据取得部，可依据由已藉电子束之照射而形成有图案之试料上产生之电子之电子量而取得前述图案之影像；测定对象领域设置部，可设置包含图案之影像之边缘之一对测定领域；及，控制部，可检出测定领域内之图案之边缘形状，并算出一对测定领域内之图案之边缘间之距离。控制部可以预定移动平均宽度将以预定间隔之测定点之位置座标显示测定领域内之图案边缘所得之边缘轮廓移动平均而算出边缘特性曲线，并以边缘特性曲线之峰值位置作为测定领域内之图案之边缘位置。

4. 发明专利

TWI344188B 圖案尺寸測量裝置及圖案面積測量方法 PATTERN DIMENSION MEASURING APPARATUS AND PATTERN AREA MEASURING METHOD 失效
简体标题：图案尺寸测量设备及图案面积测量方法 PATTERN DIMENSION MEASURING APPARATUS AND PATTERN AREA MEASURING METHOD
公开(公告)号：TWI344188B
公开(公告)日：2011-06-21
申请号：TW096133689
申请日：2007-09-10
申请人：愛德萬測試股份有限公司
发明人：松本純
IPC分类号： H01L , H01J
CPC分类号： G06K9/00 , G06K2209/19 , G06T7/0006 , G06T7/62 , G06T2207/10061 , G06T2207/20168 , G06T2207/30148
摘要：一種圖案面積測量方法，其係包含下列步驟：擷取一圖案的影像資料；把該圖案分成數個部份圖案；計算出該等部份圖案的面積；以及，藉由加總該等部份圖案的面積計算出該圖案的面積。把該圖案分成數個部份圖案的步驟可進一步包含下列步驟：把該圖案分成各具有為預定值之圓心角的該等扇形部份圖案；對於每一部份圖案，在一與該圖案之中心點及該圖案之一邊緣相交的直線上產生該線輪廓；產生一微分輪廓；以及，利用該線輪廓與該微分輪廓來偵測該部份圖案之一邊緣位置，然後由該中心位置與該邊緣位置導出一半徑。
简体摘要：一种图案面积测量方法，其系包含下列步骤：截取一图案的影像数据；把该图案分成数个部份图案；计算出该等部份图案的面积；以及，借由加总该等部份图案的面积计算出该图案的面积。把该图案分成数个部份图案的步骤可进一步包含下列步骤：把该图案分成各具有为预定值之圆心角的该等扇形部份图案；对于每一部份图案，在一与该图案之中心点及该图案之一边缘相交的直在线产生该线轮廓；产生一微分轮廓；以及，利用该线轮廓与该微分轮廓来侦测该部份图案之一边缘位置，然后由该中心位置与该边缘位置导出一半径。

5. 发明专利

TW201222618A 圖案量測裝置及圖案量測方法 PATTERN MEASURING APPARATUS AND PATTERN MEASURING METHOD 审中-公开
简体标题：图案量测设备及图案量测方法 PATTERN MEASURING APPARATUS AND PATTERN MEASURING METHOD
公开(公告)号：TW201222618A
公开(公告)日：2012-06-01
申请号：TW100128190
申请日：2011-08-08
申请人：愛德萬測試股份有限公司
发明人：松本純
IPC分类号： H01J , G01B
CPC分类号： G01B15/04 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/24495 , H01J2237/24578
摘要：本發明係提供能夠容易使一線圖案及一空間圖案彼此區分而不受圖案亮度所影響之一圖案量測裝置及一圖案量測方法。該圖案量測裝置係包括：輻照單元，其用於以一電子束輻照一樣本；第一電子偵測器及第二電子偵測器，其間配置有電子束的一光學軸線；影像處理器，其用於產生圖案的影像資料；線輪廓產生器，其用於產生圖案的一線輪廓；及控制器，其用於造成影像處理器以對應於由第一電子偵測器所偵測的一信號及由第二電子偵測器所偵測的一信號之間的差異之一電子數量為基礎產生圖案的影像資料。控制器可藉由以第一電子偵測器所偵測的信號及第二電子偵測器所偵測的信號之間的差異為基礎所產生之線輪廓來決定圖案中的上升及下降，並量測圖案的線寬度。
简体摘要：本发明系提供能够容易使一线图案及一空间图案彼此区分而不受图案亮度所影响之一图案量测设备及一图案量测方法。该图案量测设备系包括：辐照单元，其用于以一电子束辐照一样本；第一电子侦测器及第二电子侦测器，其间配置有电子束的一光学轴线；影像处理器，其用于产生图案的影像数据；线轮廓产生器，其用于产生图案的一线轮廓；及控制器，其用于造成影像处理器以对应于由第一电子侦测器所侦测的一信号及由第二电子侦测器所侦测的一信号之间的差异之一电子数量为基础产生图案的影像数据。控制器可借由以第一电子侦测器所侦测的信号及第二电子侦测器所侦测的信号之间的差异为基础所产生之线轮廓来决定图案中的上升及下降，并量测图案的线宽度。

6. 发明专利

TW201027029A 圖案測量裝置及圖案測量方法审中-公开
简体标题：图案测量设备及图案测量方法
公开(公告)号：TW201027029A
公开(公告)日：2010-07-16
申请号：TW098137570
申请日：2009-11-05
申请人：愛德萬測試股份有限公司
发明人：松本純
IPC分类号： G01B , H01J
CPC分类号： G01B15/00 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22 , H01J2237/24578 , H01J2237/2817 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：本發明係提供一種圖案測量裝置及圖案測量方法，即便圖案之邊緣部分之寬度小於光束直徑，亦可正確進行圖案之測長。本發明之圖案測量裝置包含有：光束強度分布製作部，可對邊緣部分形成直角之基準圖案掃瞄帶電粒子光束而製作線廓，並製作基準光束強度分布；邊緣寬度檢測部，可對包含已形成各種傾斜角度之邊緣之圖案之模型使用基準光束之強度分布而求出線廓，並算出包含基準光束之寬度之影響之邊緣寬度；對應圖表製作部，可由已算出之邊緣寬度與圖案之模型算出對應邊緣位置之修正值，並製作邊緣寬度與修正值已成相關關係之對應圖表。基準光束強度分布係合成基準圖案之上升點或下降點之強度分布中未形成有圖案之側之分布而製作者。
简体摘要：本发明系提供一种图案测量设备及图案测量方法，即便图案之边缘部分之宽度小于光束直径，亦可正确进行图案之测长。本发明之图案测量设备包含有：光束强度分布制作部，可对边缘部分形成直角之基准图案扫瞄带电粒子光束而制作线廓，并制作基准光束强度分布；边缘宽度检测部，可对包含已形成各种倾斜角度之边缘之图案之模型使用基准光束之强度分布而求出线廓，并算出包含基准光束之宽度之影响之边缘宽度；对应图表制作部，可由已算出之边缘宽度与图案之模型算出对应边缘位置之修正值，并制作边缘宽度与修正值已成相关关系之对应图表。基准光束强度分布系合成基准图案之上升点或下降点之强度分布中未形成有图案之侧之分布而制作者。

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