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2. 发明专利

TW201635426A 用於垂直電流金屬沈積之基板固持器审中-公开
简体标题：用于垂直电流金属沉积之基板固持器
公开(公告)号：TW201635426A
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW104142807
申请日：2015-12-18
申请人：德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
发明人：芬荳阿諾夫 , FENDEL, ARNULF , 勞恩布許瑞夫 , RAUENBUSCH, RALPH , 布森尼爾斯托比亞斯 , BUSSENIUS, TOBIAS
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： C25D17/06 , C25D17/001 , C25D17/004 , C25D17/005 , H01L21/2885 , H01L21/67126 , H01L21/68721 , H01L21/68757 , H01L21/68764
摘要：本發明揭示一種用於在待處理之一基板上之垂直電流金屬沈積之基板固持器，該金屬較佳地為銅，該基板固持器包括一第一基板固持器部分及一第二基板固持器部分，其中兩個基板固持器部分包括一內部含金屬部分及一外部非金屬部分，該基板固持器之特徵在於其進一步包括i)在各基板固持器部分中之至少一個懸掛元件，其用於將該基板固持器機械連接至一處理容器，ii)在各基板固持器部分中之至少一個第一密封元件，其經配置於待處理之該基板與該各自基板固持器部分之間，iii)該整個基板固持器之至少一個第二密封元件，其經配置於該基板固持器之該內部含金屬部分與該基板固持器之該外部非金屬部分之間，iv)至少一個緊固系統，其用於將兩個基板固持器部分彼此可拆卸地緊固以用於固持待處理之該基板，v)在各基板固持器部分中之至少一個第一接觸元件，其用於將電流自一外部源轉送通過該懸掛元件至至少第二接觸元件，及 vi)在各基板固持器部分中之至少一個第二接觸元件，其用於將電流自該至少第一接觸元件轉送至待處理之該基板。
简体摘要：本发明揭示一种用于在待处理之一基板上之垂直电流金属沉积之基板固持器，该金属较佳地为铜，该基板固持器包括一第一基板固持器部分及一第二基板固持器部分，其中两个基板固持器部分包括一内部含金属部分及一外部非金属部分，该基板固持器之特征在于其进一步包括i)在各基板固持器部分中之至少一个悬挂组件，其用于将该基板固持器机械连接至一处理容器，ii)在各基板固持器部分中之至少一个第一密封组件，其经配置于待处理之该基板与该各自基板固持器部分之间，iii)该整个基板固持器之至少一个第二密封组件，其经配置于该基板固持器之该内部含金属部分与该基板固持器之该外部非金属部分之间，iv)至少一个紧固系统，其用于将两个基板固持器部分彼此可拆卸地紧固以用于固持待处理之该基板，v)在各基板固持器部分中之至少一个第一接触组件，其用于将电流自一外部源转送通过该悬挂组件至至少第二接触组件，及 vi)在各基板固持器部分中之至少一个第二接触组件，其用于将电流自该至少第一接触组件转送至待处理之该基板。

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