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1. 发明专利

TWI627379B 光學位置測量裝置有权
简体标题：光学位置测量设备
公开(公告)号：TWI627379B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW103130408
申请日：2014-09-03
申请人：德商強那斯海登翰博士有限公司 , DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
发明人：何塞菲沃夫崗 , HOLZAPFEL, WOLFGANG , 德瑞斯契裘格 , DRESCHER, JOERG , 凱歐納羅伯特 , KELLNER, ROBERT , 曼斯納馬克思 , MEISSNER, MARKUS
IPC分类号： G01B11/14 , G01D5/26 , G01J1/04

2. 发明专利

TW201527712A 光學位置測量裝置审中-公开
简体标题：光学位置测量设备
公开(公告)号：TW201527712A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103130408
申请日：2014-09-03
申请人：強那斯海登翰博士有限公司 , DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
发明人：何塞菲沃夫崗 , HOLZAPFEL, WOLFGANG , 德瑞斯契裘格 , DRESCHER, JOERG , 凱歐納羅伯特 , KELLNER, ROBERT , 曼斯納馬克思 , MEISSNER, MARKUS
IPC分类号： G01B11/14 , G01D5/26 , G01J1/04
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02049 , G01B9/02083 , G01D5/38
摘要：本發明關於用來偵測可彼此相對移動的二物體之位置的位置測量裝置，其具有接合於二物體中的一者的測量標準，以及用於掃描測量標準的掃描系統，該掃描系統係接合於二物體中的另一者。掃描系統允許同時決定物體之沿著第一側向位移方向和沿著垂直位移方向的位置。為此，在部分的掃描系統上，形成二條掃描束路徑，其中能夠在各情形下從干涉部分射線束而在輸出端產生一組相位移訊號。附帶而言，經由掃描系統，形成至少第三條掃描束路徑，藉此有可能決定物體之沿著第二側向位移方向的位置。來自光源的束能夠經由用於所有三條掃描束路徑之共同的第一光導和耦入光學器材而供應給掃描系統。三條掃描束路徑中所產生的干涉部分射線束能夠經由共同的耦出光學器材而耦合到供應這些射線束給偵測器系統的第二光導中。
简体摘要：本发明关于用来侦测可彼此相对移动的二物体之位置的位置测量设备，其具有接合于二物体中的一者的测量标准，以及用于扫描测量标准的扫描系统，该扫描系统系接合于二物体中的另一者。扫描系统允许同时决定物体之沿着第一侧向位移方向和沿着垂直位移方向的位置。为此，在部分的扫描系统上，形成二条扫描束路径，其中能够在各情形下从干涉部分射线束而在输出端产生一组相位移信号。附带而言，经由扫描系统，形成至少第三条扫描束路径，借此有可能决定物体之沿着第二侧向位移方向的位置。来自光源的束能够经由用于所有三条扫描束路径之共同的第一光导和耦入光学器材而供应给扫描系统。三条扫描束路径中所产生的干涉部分射线束能够经由共同的耦出光学器材而耦合到供应这些射线束给侦测器系统的第二光导中。

3. 发明专利

TWI633273B 將工具相對於工件而定位的系統有权
简体标题：将工具相对于工件而定位的系统
公开(公告)号：TWI633273B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：TW103128308
申请日：2014-08-18
申请人：強那斯海登翰博士有限公司 , DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
发明人：何塞菲沃夫崗 , HOLZAPFEL, WOLFGANG , 德瑞斯契裘格 , DRESCHER, JOERG , 陶茲艾登凱蒂 , DODDS-EDEN, KATIE , 慕許伯納德 , MUSCH, BERNHARD
IPC分类号： G01B11/00 , G01D5/26

4. 发明专利

TW201527711A 將工具相對於工件而定位的裝置审中-公开
简体标题：将工具相对于工件而定位的设备
公开(公告)号：TW201527711A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103128308
申请日：2014-08-18
申请人：強那斯海登翰博士有限公司 , DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
发明人：何塞菲沃夫崗 , HOLZAPFEL, WOLFGANG , 德瑞斯契裘格 , DRESCHER, JOERG , 陶茲艾登凱蒂 , DODDS-EDEN, KATIE , 慕許伯納德 , MUSCH, BERNHARD
IPC分类号： G01B11/00 , G01D5/26
CPC分类号： G01B11/14 , B23Q3/18 , G03F7/70775
摘要：將工具相對於工件而定位的系統，具有可運動平台(2)，用於容納工件(4)，該平台於該工件之處理期間在二主要運動方向(X,Y)中執行運動；及具有一或多個平面式測量基準(5)，其係以固定不動的方式繞著該工具(3)設置，且被延伸於該等主要運動方向(X,Y)之平面中；並具有掃描頭(1,1')，被安裝在該平台(2)的至少三個角落中，用以相對於該測量基準(5)偵測該平台(2)之位置，該平台(2)的位置係可藉由該掃描頭(1,1')於六個自由度(X,Y,Z,rX,rY,rZ)中決定。在該等角落之至少一者中，一或多個掃描頭(1,1')具有在三個獨立的空間方向(X,Y,Z)中被提供用於3-D位置偵測的總計至少三個測量軸。用於該3-D位置偵測之測量軸的靈敏度向量(v1,v2,v3,v4)位在既不平行於該X-Z平面也不平行於該Y-Z平面。以此方式，當該平台係在主要運動方向(X,Y)中運動時，所有測量軸供給周期性信號。
简体摘要：将工具相对于工件而定位的系统，具有可运动平台(2)，用于容纳工件(4)，该平台于该工件之处理期间在二主要运动方向(X,Y)中运行运动；及具有一或多个平面式测量基准(5)，其系以固定不动的方式绕着该工具(3)设置，且被延伸于该等主要运动方向(X,Y)之平面中；并具有扫描头(1,1')，被安装在该平台(2)的至少三个角落中，用以相对于该测量基准(5)侦测该平台(2)之位置，该平台(2)的位置系可借由该扫描头(1,1')于六个自由度(X,Y,Z,rX,rY,rZ)中决定。在该等角落之至少一者中，一或多个扫描头(1,1')具有在三个独立的空间方向(X,Y,Z)中被提供用于3-D位置侦测的总计至少三个测量轴。用于该3-D位置侦测之测量轴的灵敏度矢量(v1,v2,v3,v4)位在既不平行于该X-Z平面也不平行于该Y-Z平面。以此方式，当该平台系在主要运动方向(X,Y)中运动时，所有测量轴供给周期性信号。

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