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    • 7. 发明专利
    • 圖案形成方法、積層體及觸控面板製造方法
    • 图案形成方法、积层体及触摸皮肤制造方法
    • TW201910911A
    • 2019-03-16
    • TW107126094
    • 2018-07-27
    • 日商富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 漢那慎一KANNA, SHINICHI有冨隆志ARIDOMI, TAKASHI
    • G03F1/76G03F1/80H01L21/302H05K3/46
    • 本發明提供一種圖案形成方法、積層體或觸控面板製造方法,該圖案形成方法依次具有:準備基材之製程,該基材在兩面具有相對於曝光波長為透明的被蝕刻層,且相對於曝光波長為透明;在上述基材的兩面的上述被蝕刻層上分別形成感光性樹脂層之製程,該感光性樹脂層的相對於曝光波長的光學濃度為0.50以上且2.50以下;對上述感光性樹脂層進行圖案曝光之製程;藉由對上述感光性樹脂層進行顯影而在兩面形成抗蝕劑圖案之製程;去除未被上述抗蝕劑圖案被覆之部分的上述被蝕刻層之製程;及剝離上述抗蝕劑圖案之製程。
    • 本发明提供一种图案形成方法、积层体或触摸皮肤制造方法,该图案形成方法依次具有:准备基材之制程,该基材在两面具有相对于曝光波长为透明的被蚀刻层,且相对于曝光波长为透明;在上述基材的两面的上述被蚀刻层上分别形成感光性树脂层之制程,该感光性树脂层的相对于曝光波长的光学浓度为0.50以上且2.50以下;对上述感光性树脂层进行图案曝光之制程;借由对上述感光性树脂层进行显影而在两面形成抗蚀剂图案之制程;去除未被上述抗蚀剂图案被覆之部分的上述被蚀刻层之制程;及剥离上述抗蚀剂图案之制程。