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    • 3. 发明专利
    • 半導體裝置之製造方法
    • 半导体设备之制造方法
    • TW201423853A
    • 2014-06-16
    • TW102137777
    • 2013-10-18
    • 富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 小山一郎KOYAMA, ICHIRO岩井悠IWAI, YU藤牧一廣FUJIMAKI, KAZUHIRO
    • H01L21/302H01L21/67
    • H01L21/31133H01L21/6835H01L2221/68318H01L2221/68327H01L2221/6834H01L2221/68381
    • 茲提供一種在對被處理構件(半導體晶圓等)實施機械或化學處理時,可確實且輕易地暫時支撐被處理構件,並且可輕易地解除對已處理構件之暫時支撐而不會損傷已處理構件的半導體裝置之製造方法。一種半導體裝置之製造方法,其係具有下述步驟(a)、(b)及(c):(a)使被處理構件的第1面與基板以夾著具有(A)剝離層及(B)接著性層之半導體裝置製造用暫時接合層的方式接著之步驟;(b)對與前述被處理構件的前述第1面相異的第2面實施機械或化學處理而得到已處理構件之步驟;及(c)使前述暫時接合層接觸剝離溶劑,而使前述已處理構件從前述接合層脫離之步驟,其係在使前述暫時接合層與前述剝離溶劑接觸時,進行藉由對剝離溶劑施加超音波、對前述暫時接合層噴射剝離溶劑、加熱剝離溶劑、攪拌剝離溶劑之任一種或此等之組合的剝離促進處理之步驟。
    • 兹提供一种在对被处理构件(半导体晶圆等)实施机械或化学处理时,可确实且轻易地暂时支撑被处理构件,并且可轻易地解除对已处理构件之暂时支撑而不会损伤已处理构件的半导体设备之制造方法。一种半导体设备之制造方法,其系具有下述步骤(a)、(b)及(c):(a)使被处理构件的第1面与基板以夹着具有(A)剥离层及(B)接着性层之半导体设备制造用暂时接合层的方式接着之步骤;(b)对与前述被处理构件的前述第1面相异的第2面实施机械或化学处理而得到已处理构件之步骤;及(c)使前述暂时接合层接触剥离溶剂,而使前述已处理构件从前述接合层脱离之步骤,其系在使前述暂时接合层与前述剥离溶剂接触时,进行借由对剥离溶剂施加超音波、对前述暂时接合层喷射剥离溶剂、加热剥离溶剂、搅拌剥离溶剂之任一种或此等之组合的剥离促进处理之步骤。