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热词
    • 1. 发明专利
    • 傳送系統
    • 发送系统
    • TW201347937A
    • 2013-12-01
    • TW102101495
    • 2013-01-15
    • 安川電機股份有限公司KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI
    • 南孝MINAMI, TAKASHI勝田信一KATSUDA, SHINICHI
    • B25J9/18
    • B25J9/0084B25J9/1682G05B2219/45031G05B2219/50036H01L21/67766H01L21/681Y10S414/137
    • 本發明提供一種傳送系統,該傳送系統包括:基板定位裝置;具有第一機器人與第二機器人的機器人;以及機器人控制裝置,該機器人控制裝置包括第一機器人控制裝置與第二機器人控制裝置,該第一機器人與該基板定位裝置連接至該第一機器人控制裝置,該第二機器人連接至該第二機器人控制裝置。該第一機器人控制裝置包括獲取單元以及傳輸單元,該獲取單元構造成從該基板定位裝置至少獲取該安裝台的旋轉中心與被定位的基板的中心位置之間的絕對偏差量,該傳輸單元構造成根據由該獲取單元獲取的絕對偏差量向該第二機器人所連接的該第二機器人控制裝置傳輸校正資訊。
    • 本发明提供一种发送系统,该发送系统包括:基板定位设备;具有第一机器人与第二机器人的机器人;以及机器人控制设备,该机器人控制设备包括第一机器人控制设备与第二机器人控制设备,该第一机器人与该基板定位设备连接至该第一机器人控制设备,该第二机器人连接至该第二机器人控制设备。该第一机器人控制设备包括获取单元以及传输单元,该获取单元构造成从该基板定位设备至少获取该安装台的旋转中心与被定位的基板的中心位置之间的绝对偏差量,该传输单元构造成根据由该获取单元获取的绝对偏差量向该第二机器人所连接的该第二机器人控制设备传输校正信息。
    • 4. 发明专利
    • 基板定位裝置
    • 基板定位设备
    • TW201340243A
    • 2013-10-01
    • TW101141013
    • 2012-11-05
    • 安川電機股份有限公司KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI
    • 勝田信一KATSUDA, SHINICHI
    • H01L21/68
    • H01L21/681
    • 本發明提供了一種基板定位裝置,所述基板定位裝置包括:支承單元,所述支承單元用於將基板支承就位;光發射單元和光接收單元,所述光發射單元和所述光接收單元分別佈置在所述基板的主面兩側並彼此相對;發光控制單元,所述發光控制單元被配置為依據控制值控制所述光發射單元的發光量;以及檢測單元,所述檢測單元用於檢測由所述光接收單元接收到的光接收量。所述基板定位裝置還包括調節單元,所述調節單元用於在所述基板沒有被所述支承單元支承時依據所述光接收量來控制所述控制值。
    • 本发明提供了一种基板定位设备,所述基板定位设备包括:支承单元,所述支承单元用于将基板支承就位;光发射单元和光接收单元,所述光发射单元和所述光接收单元分别布置在所述基板的主面两侧并彼此相对;发光控制单元,所述发光控制单元被配置为依据控制值控制所述光发射单元的发光量;以及检测单元,所述检测单元用于检测由所述光接收单元接收到的光接收量。所述基板定位设备还包括调节单元,所述调节单元用于在所述基板没有被所述支承单元支承时依据所述光接收量来控制所述控制值。